[實用新型]一種離子注入機的硅片公轉(zhuǎn)盤

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821651109.1
• 申請日: 2018-10-12
• 公開（公告）號: CN208796977U
• 公開（公告）日: 2019-04-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 丁桃寶;肖加政
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州晉宇達實業(yè)股份有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687;H01J37/317
• 代理公司: 北京匯捷知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11531
• 代理人: 李宏偉

本實用新型公開了一種離子注入機的硅片公轉(zhuǎn)盤，包括轉(zhuǎn)動安裝于擺動盤體內(nèi)的公轉(zhuǎn)盤體，所述擺動盤體上設(shè)置有驅(qū)動公轉(zhuǎn)盤體旋轉(zhuǎn)的公轉(zhuǎn)動力裝置，所述公轉(zhuǎn)盤體可拆卸安裝于擺動盤體上，公轉(zhuǎn)盤體上圓周均布有若干個自轉(zhuǎn)盤架，所述自轉(zhuǎn)盤架可拆卸安裝于公轉(zhuǎn)盤體上，每個自轉(zhuǎn)盤架均由自轉(zhuǎn)動力裝置驅(qū)動，所述自轉(zhuǎn)盤架上設(shè)置有用于放置硅片的放置區(qū)域，該自轉(zhuǎn)盤架上設(shè)置有用于卡緊或松開硅片邊緣的卡緊裝置。該硅片公轉(zhuǎn)盤可以方便安裝硅片，同時盡可能的節(jié)省了等待時間，提高離子注入機的注入效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種硅片公裝盤，用于使用在離子注入機上用于安裝硅片方便離子注入的硅片公裝盤。

背景技術(shù)

離子注入機是半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中所使用的一種設(shè)備，其原理是通過離子源產(chǎn)生多種離子，然后通過磁鐵分析儀對多種離子進行篩選，最終有用的目標離子形成離子束，離子束經(jīng)過加速磁場的加速作用后可以直接注入到硅片內(nèi)。然目前的硅片公裝盤包括包括轉(zhuǎn)動安裝于擺動盤體內(nèi)的公轉(zhuǎn)盤體，所述擺動盤體上設(shè)置有驅(qū)動公轉(zhuǎn)盤體旋轉(zhuǎn)的公轉(zhuǎn)動力裝置，擺動盤體是通過擺動機構(gòu)驅(qū)動在豎直位置和水平位置切換，擺動盤體在豎直位置時是與端蓋配合，此位置也是離子注入位置。然目前的硅片公轉(zhuǎn)盤存在以下缺點：1、硅片的安裝并不合理，由于公轉(zhuǎn)盤內(nèi)需要安裝多個硅片，因而公轉(zhuǎn)盤的尺寸相對較大，安裝比較麻煩，同時安裝硅片時，離子注入機會處于待機等待狀態(tài)，效率不高；2、目前的硅片在安裝后需要卡緊裝置壓緊才能方便公轉(zhuǎn)盤公轉(zhuǎn)時硅片不松動，而目前的骨片的卡緊裝置壓緊硅片不能過緊，過緊可能造成硅片破碎，而硅片在放入時由于需要克服卡緊裝置的卡緊力進行卡裝，因此在硅片放置時也可能存在破碎現(xiàn)象。

實用新型內(nèi)容

本實用新型所要解決的技術(shù)問題是：提供一種離子注入機的硅片公轉(zhuǎn)盤，該硅片公轉(zhuǎn)盤可以方便安裝硅片，同時盡可能的節(jié)省了等待時間，提高離子注入機的注入效率。

為解決上述技術(shù)問題，本實用新型的技術(shù)方案是：一種離子注入機的硅片公轉(zhuǎn)盤，包括轉(zhuǎn)動安裝于擺動盤體內(nèi)的公轉(zhuǎn)盤體，所述擺動盤體上設(shè)置有驅(qū)動公轉(zhuǎn)盤體旋轉(zhuǎn)的公轉(zhuǎn)動力裝置，所述公轉(zhuǎn)盤體可拆卸安裝于擺動盤體上，公轉(zhuǎn)盤體上圓周均布有若干個自轉(zhuǎn)盤架，所述自轉(zhuǎn)盤架可拆卸安裝于公轉(zhuǎn)盤體上，每個自轉(zhuǎn)盤架均由自轉(zhuǎn)動力裝置驅(qū)動，所述自轉(zhuǎn)盤架上設(shè)置有用于放置硅片的放置區(qū)域，該自轉(zhuǎn)盤架上設(shè)置有用于卡緊或松開硅片邊緣的卡緊裝置。

作為一種優(yōu)選的方案，所述卡緊裝置包括圓周均布于放置區(qū)域外周的至少三個卡緊塊，該卡緊塊水平彈性滑動安裝于自轉(zhuǎn)盤架上，所述卡緊塊上設(shè)置有向放置區(qū)域中心徑向延伸的傾斜端部，所述傾斜端部的底部與放置區(qū)域的底部之間具有與硅片厚度適配的間隙。

作為一種優(yōu)選的方案，所述卡緊塊包括卡緊塊本體和設(shè)置于卡緊塊本體上的導(dǎo)向桿，所述導(dǎo)向桿的自由端水平貫穿自轉(zhuǎn)盤架且露出，所述導(dǎo)向桿的自由端上設(shè)置有螺紋段且安裝有限位螺母，所述卡緊塊本體與自轉(zhuǎn)盤架之間設(shè)置有壓縮彈簧。

作為一種優(yōu)選的方案，所述卡緊塊本體的傾斜端部的邊角均為圓弧倒角，且傾斜端部的外部邊緣均設(shè)置有耐磨塑料層。

作為一種優(yōu)選的方案，所述卡緊塊包括卡緊塊本體和設(shè)置于卡緊塊本體上的至少兩個導(dǎo)向桿，該卡緊塊通過所述導(dǎo)向桿水平滑動安裝于自轉(zhuǎn)盤架上，所述卡緊塊本體上水平固定有調(diào)節(jié)螺桿，所述自轉(zhuǎn)盤架上轉(zhuǎn)動安裝有調(diào)節(jié)螺母，該調(diào)節(jié)螺母與調(diào)節(jié)螺桿螺紋連接。

作為一種優(yōu)選的方案，所述擺動盤體的中心處轉(zhuǎn)動安裝有中心軸，該中心軸由公轉(zhuǎn)動力裝置驅(qū)動，所述公轉(zhuǎn)盤體可拆卸固定于中心軸上。

作為一種優(yōu)選的方案，所述中心軸的上端由上而下設(shè)置有螺紋軸段和多邊形軸段，所述公轉(zhuǎn)盤體的中心設(shè)置有與多邊形軸段適配的多邊形孔，所述多邊形孔套裝于多邊形軸段，中心軸上的螺紋軸段上螺紋安裝有用于卡緊公轉(zhuǎn)盤體的壓帽。

作為一種優(yōu)選的方案，所述自轉(zhuǎn)盤架的放置區(qū)域內(nèi)設(shè)置有彈性填料塊。