[實(shí)用新型]蒸鍍裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821649501.2
• 申請(qǐng)日: 2018-10-11
• 公開（公告）號(hào): CN209113980U
• 公開（公告）日: 2019-07-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 魯玉泉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京鉑陽(yáng)頂榮光伏科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/24
• 分類號(hào): C23C14/24
• 代理公司: 北京華進(jìn)京聯(lián)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11606
• 代理人: 趙永輝

本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N蒸鍍裝置。所述蒸鍍裝置包括坩堝和覆蓋所述坩堝的保護(hù)層。所述坩堝具有內(nèi)側(cè)面、外側(cè)面以及沿所述坩堝厚度方向內(nèi)側(cè)面與外側(cè)面交界處的壁面。所述保護(hù)層包括第一保護(hù)層、第二保護(hù)層和第三保護(hù)層。所述第一保護(hù)層覆蓋所述內(nèi)側(cè)面，所述第一保護(hù)層的厚度為1μm?150μm，用于防止蒸發(fā)物腐蝕所述內(nèi)側(cè)面。所述第二保護(hù)層覆蓋所述外側(cè)面，用于防止蒸發(fā)物料溢出后腐蝕所述外側(cè)面。所述第三保護(hù)層覆蓋所述壁面，用于防止蒸發(fā)物料溢出后腐蝕所述壁面。所述坩堝整體覆蓋所述保護(hù)層能很好地保護(hù)所述坩堝，避免被腐蝕性物料腐蝕損壞。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請(qǐng)涉及蒸鍍裝置技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種蒸鍍裝置。

背景技術(shù)

光伏領(lǐng)域經(jīng)常需要用蒸鍍裝置向太陽(yáng)能基板上蒸鍍薄膜，而蒸鍍裝置大多為坩堝。但大多蒸發(fā)物料具有腐蝕性，當(dāng)蒸發(fā)物料在坩堝中高溫加熱時(shí)，蒸發(fā)物料可能與坩堝本身發(fā)生反應(yīng)。隨著時(shí)間的推移，可能導(dǎo)致坩堝表面腐蝕損壞。

現(xiàn)有的坩堝中，將坩堝置于富氧環(huán)境下，使坩堝氧化生成一層薄膜。但這種氧化層厚度極小，且容易脫落，很難起到保護(hù)作用。

實(shí)用新型內(nèi)容

基于此，有必要針對(duì)現(xiàn)有坩堝的極易被腐蝕損壞的問題，提供一種蒸鍍裝置。

一種蒸鍍裝置。所述蒸鍍裝置包括：

坩堝，包圍形成具有開口的容納腔，所述坩堝具有內(nèi)側(cè)面、外側(cè)面以及沿第一方向內(nèi)側(cè)面與外側(cè)面交界處的壁面；

第一保護(hù)層覆蓋所述內(nèi)側(cè)面，所述第一保護(hù)層的厚度為0.6μm-150μm，用于防止蒸發(fā)物料腐蝕所述內(nèi)側(cè)面；

第二保護(hù)層，覆蓋所述外側(cè)面；以及

第三保護(hù)層，覆蓋所述壁面。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述第二保護(hù)層的厚度為0.6μm-150μm，用于防止蒸發(fā)物料溢出后腐蝕所述外側(cè)面；

所述第三保護(hù)層的厚度為0.6μm-150μm，用于防止蒸發(fā)物料溢出后腐蝕所述壁面。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述第一保護(hù)層包括至少一個(gè)臺(tái)階，所述至少一個(gè)臺(tái)階沿著第一方向布置，用于防止蒸發(fā)物料溢出。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述至少一個(gè)臺(tái)階沿著第二方向的寬度依次增加，所述第一方向和所述第二方向垂直。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述第二保護(hù)層包括至少一個(gè)鋸齒，所述至少一個(gè)鋸齒沿著第一方向布置，所述至少一個(gè)鋸齒的一個(gè)端面與所述外側(cè)面垂直，用于防止所述蒸發(fā)物料溢出后，腐蝕整個(gè)所述外側(cè)面。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述至少一個(gè)鋸齒沿著第二方向的寬度依次增加，所述第二方向與所述第一方向垂直。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述第三保護(hù)層包括至少一個(gè)凹槽，所述至少一個(gè)凹槽用于盛裝一部分溢出的蒸發(fā)物料。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，還包括：

蓋體，與所述坩堝緊密蓋合，所述蓋體上開設(shè)有通孔。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，還包括：

第四保護(hù)層，密封所述蓋體，所述第四保護(hù)層的厚度為0.6μm-150μm，用于防止溢出的蒸發(fā)物料腐蝕所述蓋體。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，還包括：

引流管，穿過(guò)所述通孔，深入到所述容納腔的內(nèi)部，用于將蒸發(fā)后的蒸發(fā)物料導(dǎo)出。