[實用新型]蒸鍍裝置有效
| 申請號: | 201821649501.2 | 申請日: | 2018-10-11 |
| 公開(公告)號: | CN209113980U | 公開(公告)日: | 2019-07-16 |
| 發明(設計)人: | 魯玉泉 | 申請(專利權)人: | 北京鉑陽頂榮光伏科技有限公司 |
| 主分類號: | C23C14/24 | 分類號: | C23C14/24 |
| 代理公司: | 北京華進京聯知識產權代理有限公司 11606 | 代理人: | 趙永輝 |
| 地址: | 100176 北京市大興區北京*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 保護層 坩堝 外側面 第一保護層 蒸鍍裝置 腐蝕 覆蓋 側面 第二保護層 蒸發物料 所述壁 溢出 腐蝕性物料 坩堝整體 交界處 蒸發物 壁面 申請 | ||
1.一種蒸鍍裝置(100),其特征在于,包括:
坩堝(10),包圍形成具有開口的容納腔(11),所述坩堝(10)具有內側面(12)、外側面(13)以及沿所述坩堝(10)厚度方向內側面(12)與外側面(13)交界處的壁面(14);
第一保護層(21)覆蓋所述內側面(12),所述第一保護層(21)的厚度為0.6μm-150μm,用于防止蒸發物料腐蝕所述內側面(12);
第二保護層(22),覆蓋所述外側面(13);以及
第三保護層(23),覆蓋所述壁面(14)。
2.根據權利要求1所述的蒸鍍裝置(100),其特征在于,所述第二保護層(22)的厚度為0.6μm-150μm,用于防止蒸發物料溢出后腐蝕所述外側面(13);
所述第三保護層(23)的厚度為0.6μm-150μm,用于防止蒸發物料溢出后腐蝕所述壁面(14)。
3.根據權利要求1所述的蒸鍍裝置(100),其特征在于,所述第一保護層(21)包括至少一個臺階(211),所述至少一個臺階(211)沿著第一方向布置,用于防止蒸發物料溢出。
4.根據權利要求3所述的蒸鍍裝置(100),其特征在于,所述至少一個臺階(211)沿著第二方向的寬度依次增加,所述第一方向和所述第二方向垂直。
5.根據權利要求1所述的蒸鍍裝置(100),其特征在于,所述第二保護層(22)包括至少一個鋸齒(221),所述至少一個鋸齒(221)沿著第一方向布置,所述至少一個鋸齒的一個端面與所述外側面(13)垂直,用于防止所述蒸發物料溢出后,腐蝕整個所述外側面(13)。
6.根據權利要求5所述的蒸鍍裝置(100),其特征在于,所述至少一個鋸齒(221)沿著第二方向的寬度依次增加,所述第二方向與所述第一方向垂直。
7.根據權利要求1所述的蒸鍍裝置(100),其特征在于,所述第三保護層(23)包括至少一個凹槽(231),所述至少一個凹槽(231)用于盛裝一部分溢出的蒸發物料。
8.根據權利要求1所述蒸鍍裝置(100),其特征在于,還包括:
蓋體(30),與所述坩堝(10)緊密蓋合,所述蓋體(30)上開設有通孔(31)。
9.根據權利要求8所述蒸鍍裝置(100),其特征在于,還包括:
第四保護層(24),密封所述蓋體(30),所述第四保護層(24)的厚度為0.6μm-150μm,用于防止蒸發物料腐蝕所述蓋體(30)。
10.根據權利要求8所述蒸鍍裝置(100),其特征在于,還包括:
引流管(40),穿過所述通孔(31),深入到所述容納腔(11)的內部,用于將蒸發后的蒸發物料導出。
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