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[實用新型]蒸鍍裝置有效

專利信息
申請號: 201821649501.2 申請日: 2018-10-11
公開(公告)號: CN209113980U 公開(公告)日: 2019-07-16
發明(設計)人: 魯玉泉 申請(專利權)人: 北京鉑陽頂榮光伏科技有限公司
主分類號: C23C14/24 分類號: C23C14/24
代理公司: 北京華進京聯知識產權代理有限公司 11606 代理人: 趙永輝
地址: 100176 北京市大興區北京*** 國省代碼: 北京;11
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摘要:
搜索關鍵詞: 保護層 坩堝 外側面 第一保護層 蒸鍍裝置 腐蝕 覆蓋 側面 第二保護層 蒸發物料 所述壁 溢出 腐蝕性物料 坩堝整體 交界處 蒸發物 壁面 申請
【權利要求書】:

1.一種蒸鍍裝置(100),其特征在于,包括:

坩堝(10),包圍形成具有開口的容納腔(11),所述坩堝(10)具有內側面(12)、外側面(13)以及沿所述坩堝(10)厚度方向內側面(12)與外側面(13)交界處的壁面(14);

第一保護層(21)覆蓋所述內側面(12),所述第一保護層(21)的厚度為0.6μm-150μm,用于防止蒸發物料腐蝕所述內側面(12);

第二保護層(22),覆蓋所述外側面(13);以及

第三保護層(23),覆蓋所述壁面(14)。

2.根據權利要求1所述的蒸鍍裝置(100),其特征在于,所述第二保護層(22)的厚度為0.6μm-150μm,用于防止蒸發物料溢出后腐蝕所述外側面(13);

所述第三保護層(23)的厚度為0.6μm-150μm,用于防止蒸發物料溢出后腐蝕所述壁面(14)。

3.根據權利要求1所述的蒸鍍裝置(100),其特征在于,所述第一保護層(21)包括至少一個臺階(211),所述至少一個臺階(211)沿著第一方向布置,用于防止蒸發物料溢出。

4.根據權利要求3所述的蒸鍍裝置(100),其特征在于,所述至少一個臺階(211)沿著第二方向的寬度依次增加,所述第一方向和所述第二方向垂直。

5.根據權利要求1所述的蒸鍍裝置(100),其特征在于,所述第二保護層(22)包括至少一個鋸齒(221),所述至少一個鋸齒(221)沿著第一方向布置,所述至少一個鋸齒的一個端面與所述外側面(13)垂直,用于防止所述蒸發物料溢出后,腐蝕整個所述外側面(13)。

6.根據權利要求5所述的蒸鍍裝置(100),其特征在于,所述至少一個鋸齒(221)沿著第二方向的寬度依次增加,所述第二方向與所述第一方向垂直。

7.根據權利要求1所述的蒸鍍裝置(100),其特征在于,所述第三保護層(23)包括至少一個凹槽(231),所述至少一個凹槽(231)用于盛裝一部分溢出的蒸發物料。

8.根據權利要求1所述蒸鍍裝置(100),其特征在于,還包括:

蓋體(30),與所述坩堝(10)緊密蓋合,所述蓋體(30)上開設有通孔(31)。

9.根據權利要求8所述蒸鍍裝置(100),其特征在于,還包括:

第四保護層(24),密封所述蓋體(30),所述第四保護層(24)的厚度為0.6μm-150μm,用于防止蒸發物料腐蝕所述蓋體(30)。

10.根據權利要求8所述蒸鍍裝置(100),其特征在于,還包括:

引流管(40),穿過所述通孔(31),深入到所述容納腔(11)的內部,用于將蒸發后的蒸發物料導出。

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