[實用新型]一種壓電薄膜麥克風結構

有效

• 申請號: 201821645804.7
• 申請日: 2018-10-11
• 公開（公告）號: CN208987176U
• 公開（公告）日: 2019-06-14
• 發明（設計）人: 羅超;何維嵩
• 申請（專利權）人: 東莞希越電子有限公司
• 主分類號: H04R17/02
• 分類號: H04R17/02
• 代理公司: 東莞市創益專利事務所 44249
• 代理人: 許彬

1.一種壓電薄膜麥克風結構，其特征在于：具有硅晶圓襯底（1），該硅晶圓襯底（1）設有貫通的空腔（11），在空腔（11）的一端頭上覆蓋第一壓電薄膜（2），該第一壓電薄膜（2）構成振動板；以及在第一壓電薄膜（2）的上表面附設感知壓電信號的壓電疊層（3），所述壓電疊層（3）至少具有一層第二壓電薄膜（31）及設在第二壓電薄膜（31）上下表面的電極層（32）。

2.根據權利要求1所述的一種壓電薄膜麥克風結構，其特征在于：所述壓電疊層（3）具有多層第二壓電薄膜（31），相鄰第二壓電薄膜（31）之間電極被該相鄰第二壓電薄膜所共有。

3.根據權利要求1或2所述的一種壓電薄膜麥克風結構，其特征在于：所述第二壓電薄膜（31）的厚度小于5微米。

4.根據權利要求1所述的一種壓電薄膜麥克風結構，其特征在于：所述覆蓋在空腔（11）上的第一壓電薄膜（2）以及在第一壓電薄膜（2）上的壓電疊層（3）一起分割形成多個一端連接硅晶圓襯底（1）的懸臂梁，所有懸臂梁上的電信號根據使用要求被串聯或者并聯輸出；所有懸臂梁的自由端由覆蓋膜（4）連接在一起。

5.根據權利要求4所述的一種壓電薄膜麥克風結構，其特征在于：所述第一壓電薄膜（2）為圓形、橢圓形或多邊形，第一壓電薄膜（2）以及在第一壓電薄膜（2）上的壓電疊層（3）被第一壓電薄膜（2）中心到各個圓弧點或頂點的連線位置分割成多個懸臂梁，并于第一壓電薄膜（2）中心位置附近將懸臂梁的自由端用覆蓋膜（4）連接起來。