[實用新型]一種電子束對中檢測管以及電子束對中檢測裝置

有效

• 申請號: 201821645801.3
• 申請日: 2018-10-11
• 公開（公告）號: CN208818160U
• 公開（公告）日: 2019-05-03
• 發明（設計）人: 王巖;趙偉霞;劉俊標;殷伯華;董增雅;王麗娟;韓立
• 申請（專利權）人: 中國科學院電工研究所
• 主分類號: G01B7/312
• 分類號: G01B7/312
• 代理公司: 北京高沃律師事務所 11569
• 代理人: 程華

本實用新型公開了一種電子束對中檢測管以及電子束對中檢測裝置。電子束對中檢測管，包括：絕緣件、輸出電極以及檢測感應片；絕緣件與輸出電極采用釬焊方式焊接在一起；多個檢測感應片圍成一個中空結構；絕緣件包裹于中空結構的上部；中空結構置于電子束管內；輸出電極與檢測感應片一一對應；輸出電極沿著絕緣件的內壁穿出，與外部的電信號檢測裝置相連接；電子束管內的電子束與感應片相接觸時產生電信號，電信號通過輸出電極傳輸至電信號檢測裝置，若電信號檢測裝置接收到電信號時，則電子束未處于合軸狀態，對電子束對中校正調試。采用本實用新型所提供的電子束對中檢測管以及電子束對中檢測裝置能夠降低電子束對中校正調試難度，縮短調試時間。

技術領域

本實用新型涉及電子束對中檢測領域，特別是涉及一種電子束對中檢測管以及電子束對中檢測裝置。

背景技術

目前，在磁透鏡中，電子束的對中校正都依賴于其內部的偏轉線圈裝置，包括：電子槍的對中、照明束的平移、傾斜調整，還有掃描電子顯微鏡中的電子束掃描。偏轉線圈裝置是電子束進行合軸對中的重要執行元件。

通常情況下，磁透鏡的聚焦線圈都處于大氣中，需要在內部加入電子束管,為電子束提供良好的真空環境，偏轉線圈安裝在電子束管的上部，當成像系統發現電子束處于未合軸狀態時，可以調整偏轉線圈內的電流，通過磁場的變化達到電子束的最佳合軸狀態。但是，當電子束軌跡接觸到電子束管道內壁上時，底部探測器無法接收信號，因此，成像系統無法正常成像，此時電子束只能通過盲調進行對中校正，給對中校正的調試造成困難，延長調試的時間。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種電子束對中檢測裝置，以解決電子束對中校正調試困難，調試時間長的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供了如下方案：

一種電子束對中檢測管，包括：絕緣件、輸出電極以及檢測感應片；

所述絕緣件與所述輸出電極采用釬焊方式焊接在一起；

所述輸出電極包括多個；所述檢測感應片包括多個；多個所述檢測感應片圍成一個中空結構；

所述絕緣件包裹于所述中空結構的上部；所述絕緣件用于避免電流信號對所述電子束對中檢測管進行干擾；所述中空結構置于電子束管內；

所述輸出電極與所述檢測感應片一一對應且一個所述輸出電極只與一個所述檢測感應片相對應；相對應的所述輸出電極以及所述檢測感應片焊接在一起；

所述輸出電極沿著所述絕緣件的內壁穿出，與外部的電信號檢測裝置相連接；所述電子束管內的電子束與感應片相接觸時，產生電信號，所述電信號通過所述輸出電極傳輸至所述電信號檢測裝置，若所述電信號檢測裝置接收到所述電信號時，則確定所述電子束未處于合軸狀態，對所述電子束進行對中校正調試。

可選的，所述檢測感應片為四象限檢測感應片；相對的兩個所述四象限檢測感應片為一組四象限檢測感應片組，共四組，每組所述四象限檢測感應片組為一個象限區域；四組所述四象限檢測感應片組處于同一水平面內且處于不同的圓周半徑上。

可選的，所述四象限檢測感應片的材料為耐高溫導電金屬。

可選的，所述絕緣件的材料為絕緣耐高溫材料；

所述絕緣件的材料的熱膨脹系數與所述輸出電極的材料的熱膨脹系數相同。

可選的，所述輸出電極與所述絕緣件焊接在一起，焊接后所述電子束對中檢測管的真空漏率低于1×10^-8Pa·m³/s。

一種電子束對中檢測裝置，包括：電子束管、電子束管安裝法蘭、光闌片、電子束對中檢測管以及偏轉線圈；