[實(shí)用新型]一種電子束對(duì)中檢測(cè)管以及電子束對(duì)中檢測(cè)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821645801.3
• 申請(qǐng)日: 2018-10-11
• 公開（公告）號(hào): CN208818160U
• 公開（公告）日: 2019-05-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王巖;趙偉霞;劉俊標(biāo);殷伯華;董增雅;王麗娟;韓立
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院電工研究所
• 主分類號(hào): G01B7/312
• 分類號(hào): G01B7/312
• 代理公司: 北京高沃律師事務(wù)所 11569
• 代理人: 程華

1.一種電子束對(duì)中檢測(cè)管，其特征在于，包括：絕緣件、輸出電極以及檢測(cè)感應(yīng)片；

所述絕緣件與所述輸出電極采用釬焊方式焊接在一起；

所述輸出電極包括多個(gè)；所述檢測(cè)感應(yīng)片包括多個(gè)；多個(gè)所述檢測(cè)感應(yīng)片圍成一個(gè)中空結(jié)構(gòu)；

所述絕緣件包裹于所述中空結(jié)構(gòu)的上部；所述絕緣件用于避免電流信號(hào)對(duì)所述電子束對(duì)中檢測(cè)管進(jìn)行干擾；所述中空結(jié)構(gòu)置于電子束管內(nèi)；

所述輸出電極與所述檢測(cè)感應(yīng)片一一對(duì)應(yīng)且一個(gè)所述輸出電極只與一個(gè)所述檢測(cè)感應(yīng)片相對(duì)應(yīng)；相對(duì)應(yīng)的所述輸出電極以及所述檢測(cè)感應(yīng)片焊接在一起；

所述輸出電極沿著所述絕緣件的內(nèi)壁穿出，與外部的電信號(hào)檢測(cè)裝置相連接；所述電子束管內(nèi)的電子束與感應(yīng)片相接觸時(shí)，產(chǎn)生電信號(hào)，所述電信號(hào)通過(guò)所述輸出電極傳輸至所述電信號(hào)檢測(cè)裝置，若所述電信號(hào)檢測(cè)裝置接收到所述電信號(hào)時(shí)，則確定所述電子束未處于合軸狀態(tài)，對(duì)所述電子束進(jìn)行對(duì)中校正調(diào)試。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子束對(duì)中檢測(cè)管，其特征在于，所述檢測(cè)感應(yīng)片為四象限檢測(cè)感應(yīng)片；相對(duì)的兩個(gè)所述四象限檢測(cè)感應(yīng)片為一組四象限檢測(cè)感應(yīng)片組，共四組，每組所述四象限檢測(cè)感應(yīng)片組為一個(gè)象限區(qū)域；四組所述四象限檢測(cè)感應(yīng)片組處于同一水平面內(nèi)且處于不同的圓周半徑上。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電子束對(duì)中檢測(cè)管，其特征在于，所述四象限檢測(cè)感應(yīng)片的材料為耐高溫導(dǎo)電金屬。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子束對(duì)中檢測(cè)管，其特征在于，所述絕緣件的材料為絕緣耐高溫材料；

所述絕緣件的材料的熱膨脹系數(shù)與所述輸出電極的材料的熱膨脹系數(shù)相同。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子束對(duì)中檢測(cè)管，其特征在于，所述輸出電極與所述絕緣件焊接在一起，焊接后所述電子束對(duì)中檢測(cè)管的真空漏率低于1×10^-8Pa·m³/s。

6.一種電子束對(duì)中檢測(cè)裝置，其特征在于，包括：電子束管、電子束管安裝法蘭、光闌片、電子束對(duì)中檢測(cè)管以及偏轉(zhuǎn)線圈；

所述電子束對(duì)中檢測(cè)管包括絕緣件、輸出電極以及檢測(cè)感應(yīng)片；所述絕緣件與所述輸出電極采用釬焊方式焊接在一起；所述輸出電極包括多個(gè)；所述檢測(cè)感應(yīng)片包括多個(gè)；多個(gè)所述檢測(cè)感應(yīng)片圍成一個(gè)中空結(jié)構(gòu)；所述絕緣件包裹于所述中空結(jié)構(gòu)的上部；所述絕緣件用于避免電流信號(hào)對(duì)所述電子束對(duì)中檢測(cè)管進(jìn)行干擾；所述中空結(jié)構(gòu)置于電子束管內(nèi)；所述輸出電極與所述檢測(cè)感應(yīng)片一一對(duì)應(yīng)且一個(gè)所述輸出電極只與一個(gè)所述檢測(cè)感應(yīng)片相對(duì)應(yīng)；相對(duì)應(yīng)的所述輸出電極以及所述檢測(cè)感應(yīng)片焊接在一起；所述輸出電極沿著所述絕緣件的內(nèi)壁穿出，與外部的電信號(hào)檢測(cè)裝置相連接；所述電子束管內(nèi)的電子束與感應(yīng)片相接觸時(shí)，產(chǎn)生電信號(hào)，所述電信號(hào)通過(guò)所述輸出電極傳輸至所述電信號(hào)檢測(cè)裝置，若所述電信號(hào)檢測(cè)裝置接收到所述電信號(hào)時(shí)，則確定所述電子束未處于合軸狀態(tài)，對(duì)所述電子束進(jìn)行對(duì)中校正調(diào)試；

所述電子束管安裝法蘭設(shè)于所述電子束管的上部，所述電子束管由所述電子束管安裝法蘭固定在磁透鏡中；所述光闌片的一端固定于在所述電子束管安裝法蘭的底部，所述光闌片的另一端固定于所述電子束對(duì)中檢測(cè)管的所述絕緣件內(nèi)；所述電子束對(duì)中檢測(cè)管的檢測(cè)管道設(shè)于所述電子束管的管道內(nèi)；

所述偏轉(zhuǎn)線圈設(shè)于所述電子束管的外表面且與所述電子束對(duì)中檢測(cè)管處于同一水平面上。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的電子束對(duì)中檢測(cè)裝置，其特征在于，所述電子束管的材料為低磁316L不銹鋼材料或無(wú)磁鈦合金材料。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的電子束對(duì)中檢測(cè)裝置，其特征在于，所述電子束對(duì)中檢測(cè)管與所述電子束管安裝法蘭的接觸層采用O型橡膠圈密封；所述電子束對(duì)中檢測(cè)管與所述電子束管道的接觸層采用O型橡膠圈密封。