[實用新型]灰階掩膜板

有效

• 申請號: 201821645011.5
• 申請日: 2018-10-10
• 公開（公告）號: CN208689359U
• 公開（公告）日: 2019-04-02
• 發明（設計）人: 萬志龍;楊鵬;莊崇營;譚曉彬;柳發霖;于春琦;李林
• 申請（專利權）人: 信利半導體有限公司
• 主分類號: G03F1/32
• 分類號: G03F1/32
• 代理公司: 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙) 11371
• 代理人: 唐維虎

1.一種灰階掩膜板，其特征在于，包括透光區、非透光區以及灰階區，所述灰階區包括呈多行多列排列的灰階圖案，每一行灰階圖案包括間隔設置的透光圖案和遮光圖案；

任意相鄰兩行的灰階圖案中，其中一行灰階圖案的遮光圖案與另一行灰階圖案的透光圖案至少部分邊緣重合；

任意相鄰兩列的灰階圖案中，其中一列灰階圖案的遮光圖案與另一列灰階圖案的透光圖案至少部分邊緣重合；

所述透光圖案的幾何中心點到相鄰的遮光圖案邊緣的距離，與所述遮光圖案的幾何中心點到相鄰的透光圖案邊緣的距離相等。

2.如權利要求1所述的灰階掩膜板，其特征在于，所述透光圖案與所述遮光圖案相同。

3.如權利要求2所述的灰階掩膜板，其特征在于，所述透光圖案和所述遮光圖案為正多邊形。

4.如權利要求3所述的灰階掩膜板，其特征在于，所述透光圖案和所述遮光圖案為正三角形；

每一行灰階圖案中相鄰的透光圖案與該相鄰的透光圖案之間的遮光圖案邊緣重合；

每一列灰階圖案中的透光圖案與遮光圖案相互間隔設置，所述透光圖案與相鄰的遮光圖案邊緣重合。

5.如權利要求3所述的灰階掩膜板，其特征在于，所述透光圖案和所述遮光圖案為正三角形；

每一行灰階圖案中相鄰的透光圖案與該相鄰的透光圖案之間的遮光圖案邊緣重合；

任意相鄰兩行的灰階圖案中，其中一行灰階圖案中的遮光圖案的邊緣與另一行灰階圖案中的兩個透光圖案的邊緣重合，其中與一個透光圖案邊緣重合部分的長度不小于邊緣長度與所述透光圖案的幾何中心點到各邊緣距離一半的差值，與另一個透光圖案邊緣重合部分的長度不大于所述透光圖案的幾何中心點到各邊緣距離一半。

6.如權利要求3所述的灰階掩膜板，其特征在于，所述透光圖案和所述遮光圖案為正方形；

每一行灰階圖案中相鄰的透光圖案與該相鄰的透光圖案之間的遮光圖案邊緣重合；

每一列灰階圖案中的透光圖案與遮光圖案相互間隔設置，相鄰的透光圖案與該相鄰的透光圖案之間的遮光圖案邊緣重合。

7.如權利要求3所述的灰階掩膜板，其特征在于，所述透光圖案和所述遮光圖案為正方形；

任意相鄰兩行的灰階圖案中，其中一行灰階圖案中的遮光圖案的邊緣與另一行灰階圖案中的一個對應的透光圖案的邊緣部分重合，與該對應的透光圖案邊緣重合部分的長度不小于正方形邊長的四分之三。

8.如權利要求3所述的灰階掩膜板，其特征在于，所述透光圖案和所述遮光圖案為正方形；

任意相鄰兩列的灰階圖案中，其中一列灰階圖案中的遮光圖案的邊緣與另一列灰階圖案中的一個對應的透光圖案的邊緣部分重合，與該對應的透光圖案邊緣重合部分的長度不小于正方形邊長的四分之三。

9.如權利要求3所述的灰階掩膜板，其特征在于，所述透光圖案和所述遮光圖案為正五邊形或正六邊形；

所述透光圖案與相鄰的遮光圖案邊緣重合。

10.如權利要求1-9中任意一項所述的灰階掩膜板，其特征在于：

間隔行和/或間隔列所對應的灰階圖案相同。