[實用新型]脈沖激光沉積系統(tǒng)的靶材裝載裝置及系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821635929.1
• 申請日: 2018-10-09
• 公開（公告）號: CN209144243U
• 公開（公告）日: 2019-07-23
• 發(fā)明（設計）人: 朱新華;李炳坤;張曉軍;陳志強;方安安;姜鷺;潘恒;王巖;王峻嶺
• 申請（專利權）人: 深圳市矩陣多元科技有限公司
• 主分類號: C23C14/28
• 分類號: C23C14/28
• 代理公司: 深圳市華優(yōu)知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 44319
• 代理人: 余薇

1.一種脈沖激光沉積系統(tǒng)的靶材裝載裝置，其特征在于，包括靶材轉盤、至少一個靶座、靶座自轉齒輪、靶座自轉驅動齒輪、靶材擋板、靶材擋板單向軸承、靶材擋板單向軸承座、公轉主軸、靶材轉盤自轉齒輪、靶材轉盤單向軸承和驅動機構，所述靶座設置在所述靶材轉盤第一側面，所述靶座自轉齒輪設置在所述靶材轉盤第二側面與所述靶座的對應位置，所述靶材擋板設置有與所述靶座對應的靶材孔，所述靶材擋板安裝在所述靶材擋板單向軸承座上并通過所述靶材擋板單向軸承安裝在所述公轉主軸上，所述靶座自轉齒輪與所述靶座自轉驅動齒輪嚙合，所述靶材轉盤通過所述靶材轉盤單向軸承安裝在所述公轉主軸上且通過所述靶材轉盤自轉齒輪驅動自轉，所述驅動機構用于驅動所述公轉主軸轉動以帶動所述靶材轉盤轉動、驅動所述公轉主軸轉動帶動靶材擋板單向轉動以使所述靶材轉盤上的靶座可正對所述靶材擋板的靶材孔、以及驅動所述靶座自轉驅動齒輪帶動所述靶座自轉齒輪轉動以使所述靶座自轉。

2.根據(jù)權利要求1所述的脈沖激光沉積系統(tǒng)的靶材裝載裝置，其特征在于，所述驅動機構包括第一馬達、第一旋轉驅動部、第二馬達和第二旋轉驅動部，所述第一馬達用于驅動第一旋轉驅動部帶動所述公轉主軸轉動，所述第二馬達用于驅動所述第二旋轉驅動部帶動所述靶座自轉驅動齒輪轉動。

3.根據(jù)權利要求1所述的脈沖激光沉積系統(tǒng)的靶材裝載裝置，其特征在于，所述靶座均勻設置在所述靶材轉盤第一側面同一圓周上。

4.根據(jù)權利要求1所述的脈沖激光沉積系統(tǒng)的靶材裝載裝置，其特征在于，所述靶材孔和所述靶座半徑相同。

5.根據(jù)權利要求1所述的脈沖激光沉積系統(tǒng)的靶材裝載裝置，其特征在于，所述靶材孔和所述靶座的中心到所述公轉主軸的距離相同。

6.根據(jù)權利要求1所述的脈沖激光沉積系統(tǒng)的靶材裝載裝置，其特征在于，所述靶材擋板單向軸承配置為當所述公轉主軸向第一方向轉動時自鎖，以帶動所述靶材擋板向第二方向轉動。

7.根據(jù)權利要求6所述的脈沖激光沉積系統(tǒng)的靶材裝載裝置，其特征在于，所述第一方向、第二方向分別為順時針方向、逆時針方向。

8.根據(jù)權利要求1所述的脈沖激光沉積系統(tǒng)的靶材裝載裝置，其特征在于，所述驅動機構用于驅動所述公轉主軸逆時針方向轉動。

9.根據(jù)權利要求8所述的脈沖激光沉積系統(tǒng)的靶材裝載裝置，其特征在于，所述靶材擋板單向軸承配置為當所述公轉主軸向順時針方向轉動時自鎖。

10.一種脈沖激光沉積系統(tǒng)，其特征在于，包括激光發(fā)射裝置、真空腔和如權利要求1至9任一項所述的脈沖激光沉積系統(tǒng)的靶材裝載裝置，所述激光發(fā)射裝置發(fā)射的激光脈沖穿過所述真空腔的激光孔和所述脈沖激光沉積系統(tǒng)的靶材裝載裝置的靶材擋板的靶材孔而直射所述靶座內(nèi)的靶材。