[實(shí)用新型]一種芯片的拾取裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821632822.1
• 申請(qǐng)日: 2018-10-09
• 公開（公告）號(hào): CN208722860U
• 公開（公告）日: 2019-04-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 史賽;曹振軍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州華興源創(chuàng)科技股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/683
• 分類號(hào): H01L21/683;H01L21/66
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

本實(shí)用新型屬于芯片檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種芯片的拾取裝置。該芯片的拾取裝置包括：拾取機(jī)構(gòu)、豎直驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)及水平驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，拾取機(jī)構(gòu)包括若干固定拾取組件及若干活動(dòng)拾取組件，若干固定拾取組件及若干活動(dòng)拾取組件均用于拾取料盤中的芯片；豎直驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接于拾取機(jī)構(gòu)，豎直驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)能驅(qū)動(dòng)固定拾取組件和活動(dòng)拾取組件豎直上下移動(dòng)；水平驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接于活動(dòng)拾取組件，水平驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)能驅(qū)動(dòng)活動(dòng)拾取組件水平移動(dòng)，以調(diào)節(jié)活動(dòng)拾取組件與其相鄰的固定拾取組件之間的距離。該芯片的拾取裝置可以同時(shí)進(jìn)行多個(gè)芯片的拾取，節(jié)省了檢測(cè)時(shí)間，提高了檢測(cè)效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及芯片檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種芯片的拾取裝置。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體芯片是指在半導(dǎo)體片材上進(jìn)行浸蝕、布線，制成能實(shí)現(xiàn)某種功能的半導(dǎo)體器件，隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，芯片復(fù)雜度也越來越高，為了保證出廠芯片的質(zhì)量，需要在出廠前進(jìn)行功能性測(cè)試以確保芯片功能的完整性,以實(shí)現(xiàn)對(duì)芯片質(zhì)量的有效把控，促進(jìn)半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展。

芯片的檢測(cè)通常是依賴測(cè)試設(shè)備實(shí)現(xiàn)自動(dòng)檢測(cè)的目的，檢測(cè)前，芯片按照一定的規(guī)律和順序整齊地碼放在料盤內(nèi)，通過拾取機(jī)構(gòu)拾取芯片至檢測(cè)單元處進(jìn)行邏輯功能測(cè)試，通常每個(gè)料盤上具有五行兩列，一共十個(gè)容置單元，兩列容置單元的距離為列間距D。其中每個(gè)容置單元可以容納五行五列，一共二十五個(gè)芯片。現(xiàn)有技術(shù)的拾取機(jī)構(gòu)基本采用的都是單一拾取形式，亦即每次只能對(duì)一個(gè)芯片進(jìn)行拾取，因此需要多次重復(fù)工作，拾取速度緩慢，檢測(cè)檢測(cè)效率低下，從而對(duì)整條檢測(cè)線的檢測(cè)效率產(chǎn)生嚴(yán)重影響。

因此，鑒于以上問題，有必要提出一種新型的拾取裝置，以實(shí)現(xiàn)對(duì)芯片的批量抓取檢測(cè)，提高工作效率。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種芯片的拾取裝置，同時(shí)可以進(jìn)行多個(gè)芯片的拾取，縮短了檢測(cè)周期，提高了檢測(cè)效率。

為達(dá)此目的，本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案：

一種芯片的拾取裝置，包括：

拾取機(jī)構(gòu)，所述拾取機(jī)構(gòu)包括若干固定拾取組件及若干活動(dòng)拾取組件，若干所述固定拾取組件及若干所述活動(dòng)拾取組件均用于拾取料盤中的芯片；

豎直驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其連接于所述拾取機(jī)構(gòu)，所述豎直驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)能驅(qū)動(dòng)所述固定拾取組件和所述活動(dòng)拾取組件豎直上下移動(dòng)；

水平驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其連接于所述活動(dòng)拾取組件，所述水平驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)能驅(qū)動(dòng)所述活動(dòng)拾取組件水平移動(dòng)，以調(diào)節(jié)所述活動(dòng)拾取組件與其相鄰的所述固定拾取組件之間的距離。

作為優(yōu)選，相鄰兩個(gè)活動(dòng)拾取組件之間設(shè)置有一個(gè)固定拾取組件，相鄰兩個(gè)固定拾取組件之間的距離為列間距D。

作為優(yōu)選，所述豎直驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括豎直驅(qū)動(dòng)源，所述豎直驅(qū)動(dòng)源(21)為一個(gè)或與固定拾取組件及活動(dòng)拾取組件一一對(duì)應(yīng)的多個(gè)，采用多個(gè)豎直驅(qū)動(dòng)源(21)時(shí)，每一所述豎直驅(qū)動(dòng)源通過豎直傳動(dòng)組件對(duì)應(yīng)連接于一個(gè)固定拾取組件，以驅(qū)動(dòng)所述固定拾取組件豎直上下移動(dòng)，每一豎直驅(qū)動(dòng)源通過豎直傳動(dòng)組件對(duì)應(yīng)連接于一個(gè)活動(dòng)拾取組件，以驅(qū)動(dòng)所述活動(dòng)拾取組件豎直上下移動(dòng)。

作為優(yōu)選，所述豎直傳動(dòng)組件包括設(shè)置于所述豎直驅(qū)動(dòng)源輸出端的第一主動(dòng)輪、第一從動(dòng)輪及分別繞設(shè)于所述第一主動(dòng)輪和所述第一從動(dòng)輪的第一傳動(dòng)帶，所述第一傳動(dòng)帶通過第一連接組件連接于所述固定拾取組件，所述第一傳動(dòng)帶通過第二連接組件連接于所述活動(dòng)拾取組件。

作為優(yōu)選，所述第一連接組件包括連接于所述第一傳動(dòng)帶的第一固定座及第一連接桿，所述第一連接桿的一端連接于所述第一固定座，另一端連接于所述固定拾取組件。

作為優(yōu)選，所述第二連接組件包括連接于所述第一傳動(dòng)帶的第二固定座、設(shè)置于所述第二固定座上的調(diào)節(jié)片及第二連接桿，所述調(diào)節(jié)片沿水平方向開設(shè)有腰形孔，所述第二連接桿的一端滑動(dòng)設(shè)置于腰形孔內(nèi)，另一端連接于所述活動(dòng)拾取組件。