[實用新型]一種芯片的拾取裝置

有效

• 申請號: 201821632822.1
• 申請日: 2018-10-09
• 公開（公告）號: CN208722860U
• 公開（公告）日: 2019-04-09
• 發明（設計）人: 史賽;曹振軍
• 申請（專利權）人: 蘇州華興源創科技股份有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H01L21/66
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

1.一種芯片的拾取裝置，其特征在于，包括：

拾取機構(1)，所述拾取機構(1)包括若干固定拾取組件(11)及若干活動拾取組件(12)，若干所述固定拾取組件(11)及若干所述活動拾取組件(12)均用于拾取料盤中的芯片；

豎直驅動機構(2)，其連接于所述拾取機構(1)，所述豎直驅動機構(2)能驅動所述固定拾取組件(11)和所述活動拾取組件(12)豎直上下移動；

水平驅動機構(3)，其連接于所述活動拾取組件(12)，所述水平驅動機構(3)能驅動所述活動拾取組件(12)水平移動，以調節所述活動拾取組件(12)與其相鄰的所述固定拾取組件(11)之間的距離。

2.根據權利要求1所述的芯片的拾取裝置，其特征在于，相鄰兩個活動拾取組件(12)之間設置有一個固定拾取組件(11)，相鄰兩個固定拾取組件(11)之間的距離為列間距D。

3.根據權利要求1所述的芯片的拾取裝置，其特征在于，所述豎直驅動機構(2)包括豎直驅動源(21)，所述豎直驅動源(21)為一個或與所述固定拾取組件(11)及所述活動拾取組件(12)一一對應的多個，采用多個所述豎直驅動源(21)時，每一所述豎直驅動源(21)通過豎直傳動組件(22)對應連接于一個固定拾取組件(11)，以驅動所述固定拾取組件(11)豎直上下移動，每一所述豎直驅動源(21)通過豎直傳動組件(22)對應連接于一個活動拾取組件(12)，以驅動所述活動拾取組件(12)豎直上下移動。

4.根據權利要求3所述的芯片的拾取裝置，其特征在于，所述豎直傳動組件(22)包括設置于所述豎直驅動源(21)輸出端的第一主動輪(221)、第一從動輪(222)及分別繞設于所述第一主動輪(221)和所述第一從動輪(222)的第一傳動帶(223)，所述第一傳動帶(223)通過第一連接組件(23)連接于所述固定拾取組件(11)，所述第一傳動帶(223)通過第二連接組件(24)連接于所述活動拾取組件(12)。

5.根據權利要求4所述的芯片的拾取裝置，其特征在于，所述第一連接組件(23)包括連接于所述第一傳動帶(223)的第一固定座(231)及第一連接桿(232)，所述第一連接桿(232)的一端連接于所述第一固定座(231)，另一端連接于所述固定拾取組件(11)。

6.根據權利要求4所述的芯片的拾取裝置，其特征在于，所述第二連接組件(24)包括連接于所述第一傳動帶(223)的第二固定座(241)、設置于所述第二固定座(241)上的調節片(242)及第二連接桿(244)，所述調節片(242)沿水平方向開設有腰形孔(243)，所述第二連接桿(244)的一端滑動設置于腰形孔(243)內，另一端連接于所述活動拾取組件(12)。

7.根據權利要求5所述的芯片的拾取裝置，其特征在于，所述豎直傳動組件(22)還包括第一導向座(25)，所述第一連接桿(232)與所述第一導向座(25)滑動設置。

8.根據權利要求6所述的芯片的拾取裝置，其特征在于，所述豎直傳動組件(22)還包括第二導向座(26)，所述第二連接桿(244)與所述第二導向座(26)滑動設置。

9.根據權利要求1所述的芯片的拾取裝置，其特征在于，所述水平驅動機構(3)包括水平驅動源(31)，所述水平驅動源(31)通過水平傳動組件連接于所述活動拾取組件(12)，以驅動所述活動拾取組件(12)水平移動。

10.根據權利要求5所述的芯片的拾取裝置，其特征在于，所述水平驅動機構(3)包括水平驅動源(31)、設置于所述水平驅動源(31)輸出端的第二主動輪(321)、第二從動輪(322)及分別繞設于所述第二主動輪(321)和所述第二從動輪(322)的第二傳動帶(323)，所述第二傳動帶(323)連接于所述活動拾取組件(12)。