[實用新型]一種用于晶圓生產環境的靜電檢測裝置

有效

• 申請號: 201821629198.X
• 申請日: 2018-10-08
• 公開（公告）號: CN209231368U
• 公開（公告）日: 2019-08-09
• 發明（設計）人: 王昌華
• 申請（專利權）人: 江蘇英銳半導體有限公司
• 主分類號: G01R1/02
• 分類號: G01R1/02;G01R29/24
• 代理公司: 常州市權航專利代理有限公司 32280
• 代理人: 袁興隆

本實用新型涉及靜電檢測附屬裝置的技術領域，特別是涉及一種用于晶圓生產環境的靜電檢測裝置；包括靜電檢測儀本體、連接導線和探槍，靜電檢測儀本體前側壁設置有顯示屏、控制鍵組和端口組，探槍上設置有探頭；還包括前連接柱、把手、連接架、前轉動柱、連接彈簧和后轉動柱；還包括兩組固定塊、兩組拉板、兩組連接桿、兩組套簧和兩組連接板，兩組固定塊上均設置有通口；還包括四組螺栓、四組螺母、四組支腿和四組轉動桿，四組轉動桿一端均可轉動設置有萬向輪，四組轉動桿另一端均設置有吸盤，四組支腿上均設置有第一通孔，四組轉動桿上均設置有第二通孔，四組螺母與四組轉動桿之間均設置有鎖緊墊。

技術領域

本實用新型涉及靜電檢測附屬裝置的技術領域，特別是涉及一種用于晶圓生產環境的靜電檢測裝置。

背景技術

眾所周知，用于晶圓生產環境的靜電檢測裝置是一種用于晶圓生產過程中，對生產環境進行靜電檢測，使晶圓更安全進行生產的輔助裝置，其在靜電檢測的領域中得到了廣泛的使用；現有的用于晶圓生產環境的靜電檢測裝置包括靜電檢測儀本體、連接導線和探槍，靜電檢測儀本體前側壁設置有顯示屏、控制鍵組和端口組，探槍通過連接導線與靜電檢測儀本體連接，探槍上設置有探頭；現有的用于晶圓生產環境的靜電檢測裝置使用時，通過探頭進行靜電檢測，通過顯示屏進行數據顯示，并通過控制鍵組對靜電檢測儀本體進行操作控制，通過端口組連接各類其他導線，靜電檢測儀本體、連接導線、探槍和探頭為市面常見電器件，買回使用時僅需按照一同購回的使用說明書相互電連接并與市電電連接即可進行使用，故在此不再贅述；現有的用于晶圓生產環境的靜電檢測裝置使用中發現，當連接導線過長時，不能方便進行纏繞整理，使其較易自相纏繞，導致其實用性較差；并且不能方便對探槍進行穩定放置，導致其使用較為不便；而且其整體不能方便進行移動，從而導致其適應能力較差。

實用新型內容

為解決上述技術問題，本實用新型提供一種其當連接導線過長時，可以方便進行纏繞整理，使其不易自相纏繞，提高其實用性；并且能夠方便對探槍進行穩定放置，使其使用較為方便；而且其整體可以方便進行移動，從而提高其適應能力的用于晶圓生產環境的靜電檢測裝置。

本實用新型的一種用于晶圓生產環境的靜電檢測裝置，包括靜電檢測儀本體、連接導線和探槍，靜電檢測儀本體前側壁設置有顯示屏、控制鍵組和端口組，探槍通過連接導線與靜電檢測儀本體連接，探槍上設置有探頭；還包括前連接柱、把手、連接架、前轉動柱、連接彈簧和后轉動柱，前連接柱安裝在靜電檢測儀本體頂端前方，把手安裝在連接架上，前轉動柱的前端與連接架連接，前轉動柱的后端穿過前連接柱并伸出至前連接柱后側與連接彈簧前端連接，連接彈簧后端與后轉動柱前端連接；還包括兩組固定塊、兩組拉板、兩組連接桿、兩組套簧和兩組連接板，兩組固定塊均安裝在靜電檢測儀本體左側壁前側和后側，兩組固定塊上均設置有通口，兩組連接桿一端分別與兩組拉板連接，兩組連接桿另一端分別穿過兩組通口并分別伸入至兩組固定塊的內側與兩組連接板連接，兩組套簧分別套裝在兩組連接桿外側，兩組套簧的一端分別與固定塊內側壁連接，兩組套簧的另一端分別與兩組連接板外側連接；還包括四組螺栓、四組螺母、四組支腿和四組轉動桿，四組支腿分別安裝在靜電檢測儀本體底端左前側、右前側、左后側和右后側，四組轉動桿一端均可轉動設置有萬向輪，四組轉動桿另一端均設置有吸盤，四組支腿上均設置有第一通孔，四組轉動桿上均設置有第二通孔，四組螺栓分別穿過四組第一通孔和四組第二通孔并分別插入且螺裝至四組螺母內部，四組螺母與四組轉動桿之間均設置有鎖緊墊，四組鎖緊墊分別套裝在四組螺栓外側。

本實用新型的一種用于晶圓生產環境的靜電檢測裝置，還包括保護殼，保護殼內部設置有保護腔，保護殼右側連通設置有保護口，保護殼蓋裝在探槍上，探頭位于保護腔內部，探槍頂端和底端均設置有限位柱，保護殼頂端和底端均設置有彈性繩，兩組彈性繩分別套裝在兩組限位柱外側。

本實用新型的一種用于晶圓生產環境的靜電檢測裝置，還包括后連接柱，后連接柱安裝在靜電檢測儀本體頂端后方，后連接柱前側壁上設置有放置槽，并在放置槽內部設置有滾珠軸承和限位片，放置槽前側設置有擋片，還包括轉動管，轉動管后側穿過擋片插入至滾珠軸承內部并與限位片連接。