[實用新型]一種用于晶圓生產環境的靜電檢測裝置

有效

• 申請號: 201821629198.X
• 申請日: 2018-10-08
• 公開（公告）號: CN209231368U
• 公開（公告）日: 2019-08-09
• 發明（設計）人: 王昌華
• 申請（專利權）人: 江蘇英銳半導體有限公司
• 主分類號: G01R1/02
• 分類號: G01R1/02;G01R29/24
• 代理公司: 常州市權航專利代理有限公司 32280
• 代理人: 袁興隆

1.一種用于晶圓生產環境的靜電檢測裝置，包括靜電檢測儀本體（1）、連接導線（2）和探槍（3），靜電檢測儀本體（1）前側壁設置有顯示屏（32）、控制鍵組（33）和端口組（34），探槍（3）通過連接導線（2）與靜電檢測儀本體（1）連接，探槍（3）上設置有探頭（4）；其特征在于，還包括前連接柱（5）、把手（6）、連接架（7）、前轉動柱（8）、連接彈簧和后轉動柱（9），前連接柱（5）安裝在靜電檢測儀本體（1）頂端前方，把手（6）安裝在連接架（7）上，前轉動柱（8）的前端與連接架（7）連接，前轉動柱（8）的后端穿過前連接柱（5）并伸出至前連接柱（5）后側與連接彈簧前端連接，連接彈簧后端與后轉動柱（9）前端連接；還包括兩組固定塊（10）、兩組拉板（11）、兩組連接桿（12）、兩組套簧（13）和兩組連接板（14），兩組固定塊（10）均安裝在靜電檢測儀本體（1）左側壁前側和后側，兩組固定塊（10）上均設置有通口，兩組連接桿（12）一端分別與兩組拉板（11）連接，兩組連接桿（12）另一端分別穿過兩組通口并分別伸入至兩組固定塊（10）的內側與兩組連接板（14）連接，兩組套簧（13）分別套裝在兩組連接桿（12）外側，兩組套簧（13）的一端分別與固定塊（10）內側壁連接，兩組套簧（13）的另一端分別與兩組連接板（14）外側連接；還包括四組螺栓（15）、四組螺母（16）、四組支腿（17）和四組轉動桿（18），四組支腿（17）分別安裝在靜電檢測儀本體（1）底端左前側、右前側、左后側和右后側，四組轉動桿（18）一端均可轉動設置有萬向輪，四組轉動桿（18）另一端均設置有吸盤，四組支腿（17）上均設置有第一通孔，四組轉動桿（18）上均設置有第二通孔，四組螺栓（15）分別穿過四組第一通孔和四組第二通孔并分別插入且螺裝至四組螺母（16）內部，四組螺母（16）與四組轉動桿（18）之間均設置有鎖緊墊（19），四組鎖緊墊（19）分別套裝在四組螺栓（15）外側。

2.如權利要求1所述的一種用于晶圓生產環境的靜電檢測裝置，其特征在于，還包括保護殼（20），保護殼（20）內部設置有保護腔，保護殼（20）右側連通設置有保護口，保護殼（20）蓋裝在探槍（3）上，探頭（4）位于保護腔內部，探槍（3）頂端和底端均設置有限位柱（21），保護殼（20）頂端和底端均設置有彈性繩（22），兩組彈性繩（22）分別套裝在兩組限位柱（21）外側。

3.如權利要求2所述的一種用于晶圓生產環境的靜電檢測裝置，其特征在于，還包括后連接柱（23），后連接柱（23）安裝在靜電檢測儀本體（1）頂端后方，后連接柱（23）前側壁上設置有放置槽，并在放置槽內部設置有滾珠軸承和限位片，放置槽前側設置有擋片（24），還包括轉動管（25），轉動管（25）后側穿過擋片（24）插入至滾珠軸承內部并與限位片連接。

4.如權利要求3所述的一種用于晶圓生產環境的靜電檢測裝置，其特征在于，轉動管（25）前側連通設置有連通口，還包括調節彈簧組和固定環（26），調節彈簧組一端與轉動管（25）內側連接，調節彈簧組另一端與固定環（26）連接，固定環（26）上設置有缺口，后轉動柱（9）后側卡裝在固定環（26）內部。

5.如權利要求4所述的一種用于晶圓生產環境的靜電檢測裝置，其特征在于，還包括固定柱（27）和保護蓋（28），固定柱（27）安裝在靜電檢測儀本體（1）前側，且固定柱（27）位于控制鍵組（33）和端口組（34）的上方，保護蓋（28）頂端與固定柱（27）鉸接，且控制鍵組（33）和端口組（34）均位于保護蓋（28）內部。

6.如權利要求5所述的一種用于晶圓生產環境的靜電檢測裝置，其特征在于，還包括扭力彈簧和固定夾（29），固定夾（29）通過扭力彈簧安裝在后轉動柱（9）側壁上。

7.如權利要求6所述的一種用于晶圓生產環境的靜電檢測裝置，其特征在于，還包括兩組提桿（30）和提手（31），提手（31）左側和右側分別與兩組提桿（30）上方連接，兩組提桿（30）下方均安裝在靜電檢測儀本體（1）頂端。

8.如權利要求7所述的一種用于晶圓生產環境的靜電檢測裝置，其特征在于，兩組彈性繩（22）分別套裝在兩組限位柱（21）外側時，兩組彈性繩（22）均處于拉伸狀態。