[實用新型]一種單晶爐用的對中調節裝置

有效

• 申請號: 201821628048.7
• 申請日: 2018-10-08
• 公開（公告）號: CN209114036U
• 公開（公告）日: 2019-07-16
• 發明（設計）人: 王維
• 申請（專利權）人: 北京北方華創真空技術有限公司
• 主分類號: C30B29/06
• 分類號: C30B29/06;C30B15/02
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 魏雪梅;麻雪梅

1.一種單晶爐用的對中調節裝置，其特征在于，包括：

底板；

調平座板，設置在所述底板的上方并與所述底板縱向相對設置并且間隔開，在所述調平座板的外邊沿構造有縱向調節孔；

焊接波紋管，設置在所述底板和所述調平座板之間；

座板支撐，設置在所述底板和所述調平座板之間并位于所述焊接波紋管的外側，所述調平座板的外邊沿搭接在所述座板支撐的上端面，在所述座板支撐的上端面的外側邊沿構造有止擋部，在所述止擋部的內部構造有開口朝向所述調平座板的外側面的橫向通孔；

平面調節部件，設置在所述橫向通孔內并能調節所述調平座板在水平面內的前、后、左以及右方向上的運動；以及

縱向調節部件，設置在所述縱向調節孔內并能調節所述調平座板的縱向位置。

2.根據權利要求1所述的單晶爐用的對中調節裝置，其特征在于，在所述調平座板的中間區域構造有第一通孔，在所述底板的中間區域構造有第二通孔，所述焊接波紋管的上端嵌入所述第一通孔內，所述焊接波紋管的下端通過法蘭上的法蘭孔與所述第二通孔連接。

3.根據權利要求2所述的單晶爐用的對中調節裝置，其特征在于，在所述第二通孔內安裝有定位管，所述定位管位于所述焊接波紋管的正下方。

4.根據權利要求1所述的單晶爐用的對中調節裝置，其特征在于，在所述調平座板上構造有安裝孔，所述安裝孔位于所述縱向調節孔的內側。

5.根據權利要求4所述的單晶爐用的對中調節裝置，其特征在于，在所述縱向調節孔內安裝有調節墊，在所述調節墊的內部構造有第一縱向定位孔，在所述座板支撐的上端面構造有第二縱向定位孔，其中，通過轉動所述平面調節部件，從而使得所述第一縱向定位孔的中心軸線與所述第二縱向定位孔的中心軸線重合。

6.根據權利要求3所述的單晶爐用的對中調節裝置，其特征在于，在所述定位管的外圍從上至下依次套設有多個環形進氣管道，其中，相鄰層的所述環形進氣管道彼此連通。

7.根據權利要求6所述的單晶爐用的對中調節裝置，其特征在于，在所述底板的上端面安裝有進氣彎管，所述對中調節裝置還包括惰性氣體室，其中，所述進氣彎管的進氣口與所述惰性氣體室的出口連通，所述進氣彎管的出氣口與靠近所述底板的所述環形進氣管道的進氣口連通。

8.根據權利要求7所述的單晶爐用的對中調節裝置，其特征在于，在各個所述環形進氣管道的底壁上沿周向均呈等距式構造有多個出氣口，其中，位于下層的所述環形進氣管道的底壁上的出氣口的數量是位于上層的所述環形進氣管道的底壁上的出氣口的數量的偶數倍。

9.根據權利要求2所述的單晶爐用的對中調節裝置，其特征在于，在所述焊接波紋管的上端和所述第一通孔之間安裝有密封部件。

10.根據權利要求1至9中任一項所述的單晶爐用的對中調節裝置，其特征在于，所述座板支撐為多個并分別沿周向呈間隔式設置。