[實用新型]一種單晶爐用的對中調(diào)節(jié)裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201821628048.7 | 申請日： | 2018-10-08 |
| 公開（公告）號： | CN209114036U | 公開（公告）日： | 2019-07-16 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 王維 | 申請（專利權(quán)）人： | 北京北方華創(chuàng)真空技術(shù)有限公司 |
| 主分類號： | C30B29/06 | 分類號： | C30B29/06;C30B15/02 |
| 代理公司： | 北京路浩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002 | 代理人： | 魏雪梅;麻雪梅 |
| 地址： | 100015 北京市*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 座板 調(diào)平 對中調(diào)節(jié)裝置 底板 單晶爐 焊接波紋管 縱向調(diào)節(jié)孔 部件設(shè)置 橫向通孔 板支撐 外邊沿 止擋部 本實用新型 底板縱向 內(nèi)部構(gòu)造 平面調(diào)節(jié) 相對設(shè)置 縱向調(diào)節(jié) 縱向位置 對中性 上端面 坩堝軸 上端 產(chǎn)率 搭接 單晶 軟軸 提拉 開口 支撐 | ||
1.一種單晶爐用的對中調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，包括：
底板；
調(diào)平座板，設(shè)置在所述底板的上方并與所述底板縱向相對設(shè)置并且間隔開，在所述調(diào)平座板的外邊沿構(gòu)造有縱向調(diào)節(jié)孔；
焊接波紋管，設(shè)置在所述底板和所述調(diào)平座板之間；
座板支撐，設(shè)置在所述底板和所述調(diào)平座板之間并位于所述焊接波紋管的外側(cè)，所述調(diào)平座板的外邊沿搭接在所述座板支撐的上端面，在所述座板支撐的上端面的外側(cè)邊沿構(gòu)造有止擋部，在所述止擋部的內(nèi)部構(gòu)造有開口朝向所述調(diào)平座板的外側(cè)面的橫向通孔；
平面調(diào)節(jié)部件，設(shè)置在所述橫向通孔內(nèi)并能調(diào)節(jié)所述調(diào)平座板在水平面內(nèi)的前、后、左以及右方向上的運動；以及
縱向調(diào)節(jié)部件，設(shè)置在所述縱向調(diào)節(jié)孔內(nèi)并能調(diào)節(jié)所述調(diào)平座板的縱向位置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐用的對中調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，在所述調(diào)平座板的中間區(qū)域構(gòu)造有第一通孔，在所述底板的中間區(qū)域構(gòu)造有第二通孔，所述焊接波紋管的上端嵌入所述第一通孔內(nèi)，所述焊接波紋管的下端通過法蘭上的法蘭孔與所述第二通孔連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的單晶爐用的對中調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，在所述第二通孔內(nèi)安裝有定位管，所述定位管位于所述焊接波紋管的正下方。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐用的對中調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，在所述調(diào)平座板上構(gòu)造有安裝孔，所述安裝孔位于所述縱向調(diào)節(jié)孔的內(nèi)側(cè)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的單晶爐用的對中調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，在所述縱向調(diào)節(jié)孔內(nèi)安裝有調(diào)節(jié)墊，在所述調(diào)節(jié)墊的內(nèi)部構(gòu)造有第一縱向定位孔，在所述座板支撐的上端面構(gòu)造有第二縱向定位孔，其中，通過轉(zhuǎn)動所述平面調(diào)節(jié)部件，從而使得所述第一縱向定位孔的中心軸線與所述第二縱向定位孔的中心軸線重合。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的單晶爐用的對中調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，在所述定位管的外圍從上至下依次套設(shè)有多個環(huán)形進(jìn)氣管道，其中，相鄰層的所述環(huán)形進(jìn)氣管道彼此連通。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的單晶爐用的對中調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，在所述底板的上端面安裝有進(jìn)氣彎管，所述對中調(diào)節(jié)裝置還包括惰性氣體室，其中，所述進(jìn)氣彎管的進(jìn)氣口與所述惰性氣體室的出口連通，所述進(jìn)氣彎管的出氣口與靠近所述底板的所述環(huán)形進(jìn)氣管道的進(jìn)氣口連通。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的單晶爐用的對中調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，在各個所述環(huán)形進(jìn)氣管道的底壁上沿周向均呈等距式構(gòu)造有多個出氣口，其中，位于下層的所述環(huán)形進(jìn)氣管道的底壁上的出氣口的數(shù)量是位于上層的所述環(huán)形進(jìn)氣管道的底壁上的出氣口的數(shù)量的偶數(shù)倍。
9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的單晶爐用的對中調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，在所述焊接波紋管的上端和所述第一通孔之間安裝有密封部件。
10.根據(jù)權(quán)利要求1至9中任一項所述的單晶爐用的對中調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述座板支撐為多個并分別沿周向呈間隔式設(shè)置。
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