[實用新型]一種薄膜旋涂系統

有效

• 申請號: 201821626572.0
• 申請日: 2018-10-08
• 公開（公告）號: CN209093783U
• 公開（公告）日: 2019-07-12
• 發明（設計）人: 陳晨;畢恩兵;黎星宇;陳漢
• 申請（專利權）人: 上海黎元新能源科技有限公司
• 主分類號: B05C5/02
• 分類號: B05C5/02;B05C11/08;B05C11/10
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 黨曉林;陳燁

本申請提供了一種薄膜旋涂系統，包括：用于旋涂進料溶液的旋涂儀，所述旋涂儀上設置有基片；進料裝置，所述進料裝置用于向所述旋涂儀提供進料溶液，其包括：注射模塊和用于向所述注射模塊提供預定量的進料溶液的供液機構；所述注射模塊包括：用于容納進料溶液的槍頭，所述槍頭上設置有出口；用于將所述進料溶液以預定速度從所述出口推射至所述基片中心的推射機構。本申請提供的薄膜旋涂系統能精確控制進料溶液的輸出流量，獲得厚度均一的薄膜，從而較佳地滿足薄膜制備的要求。

技術領域

本申請涉及旋涂領域，具體涉及一種薄膜旋涂系統。

背景技術

薄膜是發展信息技術、生物技術、能源技術等領域和國防建設等各種器件的重要表面材料，其具有厚度薄、質量小等優點。目前，制備薄膜通常采用旋涂法進行制備。而在利用旋涂法制備薄膜的過程中不可避免地用到旋涂儀。

一個典型的旋涂過程主要包括：進料、高速旋轉和干燥(溶劑揮發)三個步驟。首先，進料是將旋涂溶液滴注到放置在旋涂儀表面基片的中心位置上。同時開啟旋涂儀，利用旋涂儀在高速旋轉過程中的離心力將滴到基片表面的溶液鋪展開來，以形成較為均勻的薄膜。最后通過干燥除去剩余的溶劑，可得到穩定的薄膜。

由于薄膜特定的參數(結構、厚度、面積等)影響到器件的性能。因此在實際制備薄膜的過程中，需要改變初始工況，如：進料溶液的濃度、進料溶液量、進料時間等實驗條件，進行多次實驗來獲取薄膜，再將制備的薄膜器件的性能進行對比，從而確定效果最佳的薄膜材料。而薄膜的均勻性直接影響到各種器件的穩定性和可靠性。所以，在每次制備時，都需要獲得厚度均一的薄膜。

然而現有技術中，利用旋涂法在制備薄膜的過程中一般采用人工手段進行進料。利用人工手段進行進料往往無法控制進料速度，若進料速度過快，將導致在滴注進料溶液時產生的沖擊力過大，導致薄膜中心與薄膜四周的厚度不均勻，影響了薄膜表面的平整性。因此采用人工手段進料，無法獲得厚度均一的薄膜，不能滿足使用要求。

因此，有必要提供一種新的薄膜旋涂系統，獲得厚度均一的薄膜。

實用新型內容

為實現上述目的，本申請提供了如下的技術方案：

一種薄膜旋涂系統，包括：用于旋涂進料溶液的旋涂儀，所述旋涂儀上設置有基片；進料裝置，所述進料裝置用于向所述旋涂儀提供進料溶液，其包括：注射模塊和用于向所述注射模塊提供預定量的進料溶液的供液機構；所述注射模塊包括：用于容納進料溶液的槍頭，所述槍頭上設置有出口，用于將所述進料溶液以預定速度從所述出口推射至所述基片中心的推射機構。

作為一種優選的實施方式，還包括中央控制器，所述中央控制器與所述推射機構、供液機構中的至少一個電性連接，用于控制所述推射機構、供液機構的工作狀態。

作為一種優選的實施方式，所述槍頭包括：注射腔和注射端；所述注射腔用于盛裝固定量的進料溶液；所述注射端用于導出所述注射腔內的進料溶液，所述注射腔的橫截面積大于所述注射端的橫截面積，所述出口設置在所述注射端上，所述注射端的中心線與水平面相垂直。

作為一種優選的實施方式，所述注射模塊具有相對的頂面、底面以及位于所述頂面和底面之間的側面，所述槍頭的注射端位于所述注射模塊的底面，所述注射模塊的側面設置有開口；

所述供液機構包括蠕動泵，所述開口與所述蠕動泵通過軟管相連通。

一種薄膜旋涂系統，包括：用于旋涂進料溶液的旋涂儀，所述旋涂儀上設置有基片；進料裝置，所述進料裝置用于向所述旋涂儀提供進料溶液，其包括：用于提供預定壓力的進料溶液的動力泵、與所述動力泵相連通的注射模塊；所述注射模塊設置有預定截面積的出口，由所述動力泵提供的預定壓力的進料溶液通過所述出口輸出至所述基片的中心。

作為一種優選的實施方式，還包括與所述動力泵電性連接的中央控制器，所述中央控制器能在所述動力泵開啟預定時長后，關閉所述動力泵。