[實用新型]一種薄膜旋涂系統

有效

• 申請號: 201821626572.0
• 申請日: 2018-10-08
• 公開（公告）號: CN209093783U
• 公開（公告）日: 2019-07-12
• 發明（設計）人: 陳晨;畢恩兵;黎星宇;陳漢
• 申請（專利權）人: 上海黎元新能源科技有限公司
• 主分類號: B05C5/02
• 分類號: B05C5/02;B05C11/08;B05C11/10
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 黨曉林;陳燁

1.一種薄膜旋涂系統，其特征在于，包括：

用于旋涂進料溶液的旋涂儀，所述旋涂儀上設置有基片；

進料裝置，所述進料裝置用于向所述旋涂儀提供進料溶液，所述進料裝置包括：

注射模塊和用于向所述注射模塊提供預定量的進料溶液的供液機構；

所述注射模塊包括：

用于容納進料溶液的槍頭，所述槍頭上設置有出口，

用于將所述進料溶液以預定速度從所述出口推射至所述基片中心的推射機構。

2.如權利要求1所述的薄膜旋涂系統，其特征在于，還包括中央控制器，所述中央控制器與所述推射機構、供液機構中的至少一個電性連接，所述中央控制器用于控制所述推射機構、供液機構的工作狀態。

3.如權利要求2所述的薄膜旋涂系統，其特征在于，所述槍頭包括：注射腔和注射端；所述注射腔用于盛裝固定量的進料溶液；所述注射端用于導出所述注射腔內的進料溶液，所述注射腔的橫截面積大于所述注射端的橫截面積，所述出口設置在所述注射端上，所述注射端中心線與水平面相垂直。

4.如權利要求3所述的薄膜旋涂系統，其特征在于，所述注射模塊具有相對的頂面、底面以及位于所述頂面和底面之間的側面，所述槍頭的注射端位于所述注射模塊的底面，所述注射模塊的側面設置有開口；

所述供液機構包括蠕動泵，所述開口與所述蠕動泵通過軟管相連通。

5.一種薄膜旋涂系統，其特征在于，包括：

用于旋涂進料溶液的旋涂儀，所述旋涂儀上設置有基片；

進料裝置，所述進料裝置用于向所述旋涂儀提供進料溶液，所述進料裝置包括：用于提供預定壓力的進料溶液的動力泵、與所述動力泵相連通的注射模塊；

所述注射模塊設置有預定截面積的出口，由所述動力泵提供的預定壓力的進料溶液通過所述出口輸出至所述基片的中心。

6.如權利要求5所述的薄膜旋涂系統，其特征在于，還包括與所述動力泵電性連接的中央控制器，所述中央控制器能在所述動力泵開啟預定時長后，關閉所述動力泵。

7.如權利要求6所述的薄膜旋涂系統，其特征在于，所述注射模塊包括：用于注射進料溶液的槍頭；所述槍頭包括注射腔和注射端；所述注射腔用于盛裝固定量的進料溶液；所述注射端用于導出所述注射腔內的進料溶液，所述出口設置在所述注射端上，所述注射端的中心線與水平面相垂直。

8.如權利要求7所述的薄膜旋涂系統，其特征在于，所述注射模塊包括：第一注射模塊和第二注射模塊；

所述進料裝置還包括步進電機，所述步進電機用于控制所述第一注射模塊和所述第二注射模塊進行移動。

9.如權利要求8所述的薄膜旋涂系統，其特征在于，所述步進電機包括絲桿，所述注射模塊與所述絲桿通過套設在所述絲桿上的滑動塊相連；所述注射模塊位于所述滑動塊的正下方。

10.如權利要求7所述的薄膜旋涂系統，其特征在于，所述薄膜旋涂系統還包括用于調節所述槍頭與所述旋涂儀之間高度距離的支架或移動平臺。