[實用新型]一種硅片涂膠裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821624903.7
• 申請日: 2018-10-09
• 公開（公告）號: CN209423964U
• 公開（公告）日: 2019-09-24
• 發(fā)明（設計）人: 張淑云
• 申請（專利權）人: 天津天物金佰微電子有限公司
• 主分類號: B05C5/02
• 分類號: B05C5/02;B05C9/10;B05C11/10;B05C13/02;B05C15/00
• 代理公司: 天津濱海科緯知識產權代理有限公司 12211
• 代理人: 劉瑩

本實用新型提供了一種硅片涂膠裝置，包括廢膠托板及廢膠托盤上的真空吸片托盤，廢膠托盤及真空吸片托盤設置在保護罩內；在保護罩的側壁上還分別設置有第一機械臂和第二機械臂；第一機械臂上設置有注膠管，注膠管伸入至真空吸片托盤上；第二機械臂上設置有增粘劑管和氮氣吹掃管，增粘劑管端部設置有增粘劑噴嘴，氮氣吹掃管穿過保護罩側壁與氮氣瓶連接。本實用新型所述的裝置在甩膠前進行氮氣吹掃，吹掉硅片表面的灰塵，防止光刻后形成針孔，通過注膠管及第一機械臂的配合實現(xiàn)注膠位置的定位，進一步的通過控制閥門實現(xiàn)注膠量恒定控制，對于返工片，可噴入增粘劑以保證返工硅片和膠水之間的粘附性，保證光刻質量。

技術領域

本實用新型屬于硅片制造技術領域，尤其是涉及一種硅片涂膠裝置。

背景技術

現(xiàn)有的硅片涂膠機采用手動滴膠，對工人的經驗和能力都有較高的要求，在涂膠過程中還存在如下問題，涂膠前需要對真空吸片托盤進行人工清潔，否則難以保證硅片涂膠環(huán)境的清潔；除了手動滴膠，還需要手動注入增粘劑，對工人要求更高，且工作強度也更大，很容易出現(xiàn)滴膠膠量不均勻，增粘劑注入量不均勻等問題。

發(fā)明內容

有鑒于此，本實用新型旨在提出一種硅片涂膠裝置，以解決現(xiàn)有涂膠機結構簡單、功能單一的問題。

為達到上述目的，本實用新型的技術方案是這樣實現(xiàn)的：

一種硅片涂膠裝置，包括廢膠托板及廢膠托盤上的真空吸片托盤，廢膠托盤及真空吸片托盤設置在保護罩內；

在保護罩的側壁上還分別設置有第一機械臂和第二機械臂；

第一機械臂上設置有注膠管，注膠管伸入至真空吸片托盤上；

第二機械臂上設置有增粘劑管和氮氣吹掃管，增粘劑管端部設置有增粘劑噴嘴，氮氣吹掃管穿過保護罩側壁與氮氣瓶連接。

進一步的，所述第一機械臂為伸縮桿，第二機械臂為伸縮桿或擺臂。

進一步的，所述第一機械臂與第一驅動電機連接，第二機械臂與第二驅動電機連接。

進一步的，所述注膠管的管路上設置有控制閥門。

進一步的，所述廢膠托板底部設置有轉軸，轉軸穿過保護罩底部與第三驅動電機連接。

進一步的，所述真空吸片托盤通過支撐懸架固定在廢膠托盤上。

進一步的，所述廢膠托板底部設置有中空孔，真空吸片托盤通過支撐懸架穿過蓋中空孔與轉軸連接，轉槽穿過保護罩底部與第三驅動電機連接。

進一步的，所述氮氣吹掃管端部設置有吹掃噴嘴。

進一步的，所述吹掃噴嘴為條狀噴管，條狀噴管長度與真空吸片托板半徑相同，條狀噴管底部均勻設置有多個噴射口。

相對于現(xiàn)有技術，本實用新型所述的硅片涂膠裝置具有以下優(yōu)勢：涂膠裝置增加了保護罩，避免硅片放到真空吸片托盤上后，環(huán)境中的灰塵落到硅片表面形成污染，在甩膠前進行氮氣吹掃，吹掉硅片表面的灰塵，防止光刻后形成針孔，通過注膠管及第一機械臂的配合實現(xiàn)注膠位置的定位，進一步的通過控制閥門實現(xiàn)注膠量恒定控制，對于返工片，可噴入增粘劑以保證返工硅片和膠水之間的粘附性，保證光刻質量，通過增粘劑管及第二機械臂的配合可實現(xiàn)增粘劑導入量的均勻恒定。裝置整體結構簡單、控制準確快捷，設備成本低。

附圖說明

構成本發(fā)明創(chuàng)造的一部分的附圖用來提供對本發(fā)明創(chuàng)造的進一步理解，本發(fā)明創(chuàng)造的示意性實施例及其說明用于解釋本發(fā)明創(chuàng)造，并不構成對本發(fā)明創(chuàng)造的不當限定。在附圖中：

圖1為本實用新型實施例所述的硅片涂膠裝置的結構示意圖；

附圖標記說明：