[實(shí)用新型]一種硅片涂膠裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821624903.7
• 申請(qǐng)日: 2018-10-09
• 公開（公告）號(hào): CN209423964U
• 公開（公告）日: 2019-09-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張淑云
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 天津天物金佰微電子有限公司
• 主分類號(hào): B05C5/02
• 分類號(hào): B05C5/02;B05C9/10;B05C11/10;B05C13/02;B05C15/00
• 代理公司: 天津?yàn)I海科緯知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 12211
• 代理人: 劉瑩

1.一種硅片涂膠裝置，包括廢膠托板及廢膠托盤上的真空吸片托盤，其特征在于：廢膠托盤及真空吸片托盤設(shè)置在保護(hù)罩內(nèi)；

在保護(hù)罩的側(cè)壁上還分別設(shè)置有第一機(jī)械臂和第二機(jī)械臂；

第一機(jī)械臂上設(shè)置有注膠管，注膠管伸入至真空吸片托盤上；

第二機(jī)械臂上設(shè)置有增粘劑管和氮?dú)獯祾吖埽稣硠┕芏瞬吭O(shè)置有增粘劑噴嘴，氮?dú)獯祾吖艽┻^保護(hù)罩側(cè)壁與氮?dú)馄窟B接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片涂膠裝置，其特征在于：第一機(jī)械臂為伸縮桿，第二機(jī)械臂為伸縮桿或擺臂。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種硅片涂膠裝置，其特征在于：第一機(jī)械臂與第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)連接，第二機(jī)械臂與第二驅(qū)動(dòng)電機(jī)連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片涂膠裝置，其特征在于：注膠管的管路上設(shè)置有控制閥門。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片涂膠裝置，其特征在于：廢膠托板底部設(shè)置有轉(zhuǎn)軸，轉(zhuǎn)軸穿過保護(hù)罩底部與第三驅(qū)動(dòng)電機(jī)連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片涂膠裝置，其特征在于：真空吸片托盤通過支撐懸架固定在廢膠托盤上。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片涂膠裝置，其特征在于：廢膠托板底部設(shè)置有中空孔，真空吸片托盤通過支撐懸架穿過蓋中空孔與轉(zhuǎn)軸連接，轉(zhuǎn)槽穿過保護(hù)罩底部與第三驅(qū)動(dòng)電機(jī)連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片涂膠裝置，其特征在于：氮?dú)獯祾吖芏瞬吭O(shè)置有吹掃噴嘴。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種硅片涂膠裝置，其特征在于：吹掃噴嘴為條狀噴管，條狀噴管長(zhǎng)度與真空吸片托板半徑相同，條狀噴管底部均勻設(shè)置有多個(gè)噴射口。