[實用新型]自動裝卸片裝置有效
| 申請號: | 201821621572.1 | 申請日: | 2018-09-30 |
| 公開(公告)號: | CN208753286U | 公開(公告)日: | 2019-04-16 |
| 發明(設計)人: | 鄧偉;張建峰;王森;朱元 | 申請(專利權)人: | 鹽城阿特斯協鑫陽光電力科技有限公司;蘇州阿特斯陽光電力科技有限公司;阿特斯陽光電力集團有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677 |
| 代理公司: | 蘇州威世朋知識產權代理事務所(普通合伙) 32235 | 代理人: | 楊林潔 |
| 地址: | 224400 江蘇省*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
| 權利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 傳送機構 硅片 支撐座 花籃 承載機構 自動裝卸 片裝置 上移動 傳送 本實用新型 橫向方向 自動化 承載 | ||
本實用新型提供了一種自動裝卸片裝置,其特征在于:包括支撐座、位于支撐座上且用于承載若干硅片的花籃、位于支撐座上用于在縱向方向上移動花籃的第一傳送機構、用于在橫向方向上傳送花籃中的若干硅片的第二傳送機構、用于收集第二傳送機構傳送出的硅片的承載機構及用于在縱向方向上移動承載機構的第三傳送機構。如此設置,增加硅片轉移的自動化。
技術領域
本實用新型涉及光伏技術領域,尤其涉及一種自動裝卸片裝置。
背景技術
在硅片制作各工序中多處需要進行硅片的轉移,實際中多數為花籃裝載硅片后人工轉移,或者是夾持裝置一片一片的進行轉移,自動化程度低,且耗時較久,不利于整個產線的生產制造及經濟性。
因此,有必要提供一種改進的自動裝卸片裝置以解決上述問題。
實用新型內容
本實用新型的目的在于提供一種可增強自動化的自動裝卸片裝置。
為實現上述實用新型目的,本實用新型提供了一種自動裝卸片裝置,包括支撐座、位于支撐座上且用于承載若干硅片的花籃、位于支撐座上用于在縱向方向上移動花籃的第一傳送機構、用于在橫向方向上傳送花籃中的若干硅片的第二傳送機構、用于收集第二傳送機構傳送出的硅片的承載機構及用于在縱向方向上移動承載機構的第三傳送機構。
作為本實用新型的進一步改進,所述第二傳送機構一端延伸至所述花籃內,另一端延伸至承載機構旁側,使得花籃在向下移動至使其內部的硅片貼靠第二傳送機構時,可通過第二傳送機構直接帶動花籃內的硅片移動至承載機構上。
作為本實用新型的進一步改進,所述第二傳送機構設置于所述支撐座和承載機構之間,所述自動裝卸片裝置還包括用于驅動花籃中的硅片進入第二傳送機構的驅動機構。
作為本實用新型的進一步改進,所述承載機構具有朝向第二傳送機構敞口設置的框架部及在縱向方向依次排布成多層以承載硅片的支撐部。
作為本實用新型的進一步改進,所述框架部具有相對設置的一對側壁,所述支撐部設置在一對所述側壁上,且位于一對側壁上的支撐部間隔設置且對應的支撐部高度一致。
作為本實用新型的進一步改進,所述支撐部為固定在側壁上的滾輪,所述滾輪可沿橫向方向滾動。
作為本實用新型的進一步改進,所述自動裝卸片裝置還包括用于轉移承載機構中的硅片的抓取裝置,所述抓取裝置具有用于夾持轉移硅片的夾爪。
作為本實用新型的進一步改進,所述夾爪具有用于夾取硅片的若干夾持部及設于夾持部之間的夾持位,所述夾持部排布對應所述承載機構的支撐部,以令承載機構中的若干硅片被夾持部同時夾取。
作為本實用新型的進一步改進,所述夾持位數量不少于所述承載機構的支撐部數量。
作為本實用新型的進一步改進,所述自動裝卸片裝置還包括用于承載硅片的石墨舟,所述石墨舟具有若干置放硅片的硅片位,所述承載機構的支撐部之間的間距與所述硅片位之間的間距一致。
本實用新型的有益效果是:本實用新型自動裝卸片裝置通過設置可上下移動的花籃和承載機構以及連接花籃和承載機構的第二傳送機構,使得花籃中的硅片可通過第二傳送機構傳送至承載機構中,承載機構中的硅片可被一次性同時取出轉移,操作簡便,省時省力,自動化程度高。
附圖說明
圖1是本實用新型自動裝卸片裝置的部分立體示意圖。
圖2是圖1中自動裝卸片裝置另一角度的部分立體示意圖。
圖3是本實用新型自動裝卸片裝置的夾爪的立體示意圖。
圖4是本實用新型自動裝卸片裝置的承載機構的示意圖。
圖5是本實用新型自動裝卸片裝置一種實施方式的傳送過程的示意圖。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息,商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于鹽城阿特斯協鑫陽光電力科技有限公司;蘇州阿特斯陽光電力科技有限公司;阿特斯陽光電力集團有限公司,未經鹽城阿特斯協鑫陽光電力科技有限公司;蘇州阿特斯陽光電力科技有限公司;阿特斯陽光電力集團有限公司許可,擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作,請聯系【客服】
本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/pat/books/201821621572.1/2.html,轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇:一種花籃內硅片的抓取裝置
- 下一篇:用于液體槽的晶圓傳輸裝置和晶圓清洗設備
- 同類專利
- 專利分類
H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





