[實用新型]門體組件聯(lián)動結(jié)構(gòu)和原子沉積裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821621391.9
• 申請日: 2018-09-30
• 公開（公告）號: CN208883986U
• 公開（公告）日: 2019-05-21
• 發(fā)明（設計）人: 李丙科;陳慶敏
• 申請（專利權(quán)）人: 無錫松煜科技有限公司
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455
• 代理公司: 無錫市匯誠永信專利代理事務所(普通合伙) 32260
• 代理人: 王闖;葛莉華

本實用新型公開了一種門體組件聯(lián)動結(jié)構(gòu)和原子沉積裝置。門體組件聯(lián)動結(jié)構(gòu)用于和原子沉積裝置中的雙層加熱腔室配合，包括安裝臺和門體組件，安裝臺上設置有滑軌和驅(qū)動電機，驅(qū)動電機通過絲杠帶動門體組件在滑軌上運動。安裝臺靠近雙層加熱腔室位置設置有滾輪組件和頂升板，頂升板比滾輪組件距離雙層加熱腔室更近。本實用新型實施方式中的門體組件聯(lián)動結(jié)構(gòu)中，頂升板和滾輪組件頂起載舟板，避免滿載的載舟板因承重發(fā)生形變而與雙層加熱腔室難以對接的情況，同時，滾輪組件能協(xié)助門體組件更順暢地進入到雙層加熱腔室內(nèi)部。

技術(shù)領域

本實用新型涉及原子層沉積領域，尤其涉及一種門體組件聯(lián)動結(jié)構(gòu)和原子沉積裝置。

背景技術(shù)

在相關(guān)技術(shù)中，載舟板滿載后通常會產(chǎn)生一定量的形變，不僅影響門體組件和加熱腔室之間的配合，長此以往，還產(chǎn)生了一些不可逆的形變，影響裝載硅片。

實用新型內(nèi)容

本實用新型實施方式提供的一種門體組件聯(lián)動結(jié)構(gòu)，用于和原子沉積裝置中的雙層加熱腔室配合，包括安裝臺和門體組件，所述安裝臺上設置有滑軌和驅(qū)動電機，所述驅(qū)動電機通過絲杠帶動所述門體組件在所述滑軌上運動，

所述安裝臺靠近所述雙層加熱腔室位置設置有滾輪組件和頂升板，所述頂升板比所述滾輪組件距離所述雙層加熱腔室更近。

本實用新型實施方式中的門體組件聯(lián)動結(jié)構(gòu)中，頂升板和滾輪組件頂起載舟板，避免滿載的載舟板因承重發(fā)生形變而與雙層加熱腔室難以對接的情況，同時，滾輪組件能協(xié)助門體組件更順暢地進入到雙層加熱腔室內(nèi)部。

在某些實施方式中，所述門體組件包括載舟板，所述載舟板和所述門體組件固定連接且和所述安裝臺間隔設置。

在某些實施方式中，所述滾輪組件包括在所述門體組件的運動方向上轉(zhuǎn)動的滾輪，所述滾輪和所述載舟板接觸。

在某些實施方式中，所述安裝臺上設置有固定座，所述驅(qū)動電機和所述絲杠設置在所述固定座上，所述固定座上還設置有伸縮結(jié)構(gòu)，所述伸縮結(jié)構(gòu)連接所述門體組件，所述伸縮結(jié)構(gòu)關(guān)于所述絲杠對稱。

在某些實施方式中，還包括行走履帶，所述行走履帶固定連接所述門體組件。

本實用新型實施方式提供一種原子沉積裝置，包括如上任一實施方式所述的門體組件聯(lián)動結(jié)構(gòu)。

本實用新型實施方式的附加方面和優(yōu)點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本實用新型的實踐了解到。

附圖說明

本實用新型的上述和/或附加的方面和優(yōu)點從結(jié)合下面附圖對實施方式的描述中將變得明顯和容易理解，其中：

圖1是本實用新型實施方式的門體組件聯(lián)動結(jié)構(gòu)的立體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是圖1中的門體組件聯(lián)動結(jié)構(gòu)在I處的放大示意圖。

具體實施方式

下面詳細描述本實用新型的實施方式，所述實施方式的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實施方式是示例性的，僅用于解釋本實用新型，而不能理解為對本實用新型的限制。