[實用新型]門體組件聯動結構和原子沉積裝置有效
| 申請號： | 201821621391.9 | 申請日： | 2018-09-30 |
| 公開（公告）號： | CN208883986U | 公開（公告）日： | 2019-05-21 |
| 發明（設計）人： | 李丙科;陳慶敏 | 申請（專利權）人： | 無錫松煜科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C16/455 | 分類號： | C23C16/455 |
| 代理公司： | 無錫市匯誠永信專利代理事務所(普通合伙) 32260 | 代理人： | 王闖;葛莉華 |
| 地址： | 214000 江蘇省無錫*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 門體組件 雙層加熱 滾輪組件 聯動結構 腔室 原子沉積 頂升板 本實用新型 驅動電機 安裝臺 滑軌 舟板 腔室內部 承重 形變 絲杠 滿載 配合 | ||
【權利要求書】：
1.一種門體組件聯動結構，用于和原子沉積裝置中的雙層加熱腔室配合，其特征在于，包括安裝臺和門體組件，所述安裝臺上設置有滑軌和驅動電機，所述驅動電機通過絲杠帶動所述門體組件在所述滑軌上運動，
所述安裝臺靠近所述雙層加熱腔室位置設置有滾輪組件和頂升板，所述頂升板比所述滾輪組件距離所述雙層加熱腔室更近。
2.根據權利要求1所述的門體組件聯動結構，其特征在于，所述門體組件包括載舟板，所述載舟板和所述門體組件固定連接且和所述安裝臺間隔設置。
3.根據權利要求2所述的門體組件聯動結構，其特征在于，所述滾輪組件包括在所述門體組件的運動方向上轉動的滾輪，所述滾輪和所述載舟板接觸。
4.根據權利要求1所述的門體組件聯動結構，其特征在于，所述安裝臺上設置有固定座，所述驅動電機和所述絲杠設置在所述固定座上，所述固定座上還設置有伸縮結構，所述伸縮結構連接所述門體組件，所述伸縮結構關于所述絲杠對稱。
5.根據權利要求4所述的門體組件聯動結構，其特征在于，還包括行走履帶，所述行走履帶固定連接所述門體組件。
6.一種原子沉積裝置，其特征在于，包括如權利要求1-5任一項所述的門體組件聯動結構。
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- 專利分類
C23 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制
C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆，例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆，例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
