[實用新型]一種用于離子注入機的校對裝置

有效

• 申請號: 201821620453.4
• 申請日: 2018-09-30
• 公開（公告）號: CN209298060U
• 公開（公告）日: 2019-08-23
• 發明（設計）人: 吳士偉
• 申請（專利權）人: 揚州信尚電子科技有限公司
• 主分類號: H01J37/317
• 分類號: H01J37/317;H01J37/304
• 代理公司: 南京常青藤知識產權代理有限公司 32286
• 代理人: 仲暉

本實用新型公開了一種用于離子注入機的校對裝置，包括機殼和2XZ?1型真空泵，機殼頂部一側對應沖壓的兩個凹槽內部對應安裝有兩組離子源系統，機殼內側在兩組離子源系統正下方安裝有放電室，機殼內側在引出縫的正下方水平安裝有抑制電極，本實用新型，利用校對機構內的Y80M1?2型驅動電機驅動絲桿轉動，由絲桿的轉動驅動絲桿螺母移動，絲桿螺母的移動調整校對靶的位置，便于獲得校對離子束移動軌跡，控制離子束的注入位置，提高離子注入質量；利用凈化機構內部的MQ23120H型電磁鐵工作吸附離子束內部的金屬離子，提高離子注入的質量；利用校對靶表面刻畫的多個分區，便于準確的獲得離子束的移動軌跡，便于校對離子注入位置。

技術領域

本實用新型涉及校對裝置相關技術領域，具體為一種用于離子注入機的校對裝置。

背景技術

高能離子注入的優勢多樣性：原則上任何元素都可以作為注入離子；形成的結構可不受熱力學參數(擴散、溶解度等)限制；不改變：不改變工件的原有尺寸和粗糙度等；適合于各類精密零件生產的最后一道工序；牢固性：注入離子直接和材料表面原子或分子結合，形成改性層，改性層和基底材料沒有清晰的界面，結合牢靠，不存在脫落的現象；不受限：注入過程在材料溫度低于零下、高到幾百上千度都可以進行；可對那些普通方法不能處理的材料進行表面強化，如塑料、回火溫度低的鋼材等。半導體進行加工時需要使用到離子注入機。現缺少離子注入機的校對裝置，不能保證離子注入的位置，影響注入質量，同時離子束內部混雜的金屬離子嚴重影響成品質量。為此本實用新型提出一種用于離子注入機的校對裝置用于解決上述問題。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種用于離子注入機的校對裝置，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種用于離子注入機的校對裝置，包括機殼和2XZ-1型真空泵，所述機殼頂部一側對應沖壓的兩個凹槽內部對應安裝有兩組離子源系統，所述機殼內側在兩組離子源系統正下方安裝有放電室，所述機殼內側在放電室的正下方開設為引出縫，所述機殼內側在引出縫的正下方水平安裝有抑制電極，所述機殼內側在抑制電極的正下方水平安裝有地電極，所述機殼內側在地電極的正下方布設為真空室，所述機殼內側在真空室的正下方嵌合安裝有閥門，所述機殼內側在閥門的正下方設置為靶室，所述靶室底部遠離閥門的一側安裝有2XZ-1型真空泵，所述靶室內部相對應于閥門的位置水平安裝有校對機構，所述機殼在真空室外側的兩側對應安裝有兩組凈化機構，所述校對機構包括校對靶、絲桿、絲桿螺母、ZSY500減速器和 Y80M1-2型驅動電機，所述校對靶豎直焊接固定在絲桿螺母的頂部，所述絲桿螺母螺紋連接絲桿，所述絲桿的一端連接ZSY500減速器的輸出軸，所述ZSY500 減速器的輸入軸連接Y80M1-2型驅動電機的輸出軸。

優選的，所述校對機構還包括機架、SH180*1480型液壓缸、滑座、滑軌和底板，所述機架的內側對應安裝有ZSY500減速器和Y80M1-2型驅動電機，所述機架頂部的中心位置連接SH180*1480型液壓缸的活塞桿末端，所述SH180*1480 型液壓缸豎直安裝在靶室的外側，所述滑座的一側轉動連接絲桿的另一端，所述滑座滑動安裝在滑軌的一側，所述滑軌的頂端螺栓連接靶室外側的底部，所述底板水平焊接在絲桿螺母頂部的外側。

優選的，所述靶室的底部對應于校對靶的位置開設有條形孔，所述校對靶穿過條形孔，所述條形孔的長度等于底板長度的四分之一。

優選的，所述凈化機構包括保護殼、MQ23120H型電磁鐵和陶瓷板，所述 MQ23120H型電磁鐵水平安裝在保護殼的內部，所述陶瓷板豎直安裝在保護殼的一側。

優選的，所述MQ23120H型電磁鐵的鐵芯一端與陶瓷板的一側相接觸，所述保護殼一端開口而另一單密封且陶瓷板嵌合在開口內側，所述陶瓷板的另一側與機殼外表面相接觸。

優選的，所述2XZ-1型真空泵連通靶室內部，所述靶室內部相對應于閥門的位置焊接有靶片底座。