[實用新型]一種用于離子注入機的校對裝置

有效

• 申請號: 201821620453.4
• 申請日: 2018-09-30
• 公開（公告）號: CN209298060U
• 公開（公告）日: 2019-08-23
• 發明（設計）人: 吳士偉
• 申請（專利權）人: 揚州信尚電子科技有限公司
• 主分類號: H01J37/317
• 分類號: H01J37/317;H01J37/304
• 代理公司: 南京常青藤知識產權代理有限公司 32286
• 代理人: 仲暉

1.一種用于離子注入機的校對裝置，包括機殼(1)和2XZ-1型真空泵(12)，其特征在于：所述機殼(1)頂部一側對應沖壓的兩個凹槽內部對應安裝有兩組離子源系統(2)，所述機殼(1)內側在兩組離子源系統(2)正下方安裝有放電室(3)，所述機殼(1)內側在放電室(3)的正下方開設為引出縫(4)，所述機殼(1)內側在引出縫(4)的正下方水平安裝有抑制電極(5)，所述機殼(1)內側在抑制電極(5)的正下方水平安裝有地電極(6)，所述機殼(1)內側在地電極(6)的正下方布設為真空室(7)，所述機殼(1)內側在真空室(7)的正下方嵌合安裝有閥門(10)，所述機殼(1)內側在閥門(10)的正下方設置為靶室(11)，所述靶室(11)底部遠離閥門(10)的一側安裝有2XZ-1型真空泵(12)，所述靶室(11)內部相對應于閥門(10)的位置水平安裝有校對機構(9)，所述機殼(1)在真空室(7)外側的兩側對應安裝有兩組凈化機構(8)，所述校對機構(9)包括校對靶(91)、絲桿(92)、絲桿螺母(93)、ZSY500減速器(94)和Y80M1-2型驅動電機(95)，所述校對靶(91)豎直焊接固定在絲桿螺母(93)的頂部，所述絲桿螺母(93)螺紋連接絲桿(92)，所述絲桿(92)的一端連接ZSY500減速器(94)的輸出軸，所述ZSY500減速器(94)的輸入軸連接Y80M1-2型驅動電機(95)的輸出軸。

2.根據權利要求1所述的一種用于離子注入機的校對裝置，其特征在于：所述校對機構(9)還包括機架(96)、SH180*1480型液壓缸(97)、滑座(98)、滑軌(99)和底板(910)，所述機架(96)的內側對應安裝有ZSY500減速器(94)和Y80M1-2型驅動電機(95)，所述機架(96)頂部的中心位置連接SH180*1480型液壓缸(97)的活塞桿末端，所述SH180*1480型液壓缸(97)豎直安裝在靶室(11)的外側，所述滑座(98)的一側轉動連接絲桿(92)的另一端，所述滑座(98)滑動安裝在滑軌(99)的一側，所述滑軌(99)的頂端螺栓連接靶室(11)外側的底部，所述底板(910)水平焊接在絲桿螺母(93)頂部的外側。

3.根據權利要求1所述的一種用于離子注入機的校對裝置，其特征在于：所述靶室(11)的底部對應于校對靶(91)的位置開設有條形孔(13)，所述校對靶(91)穿過條形孔(13)，所述條形孔(13)的長度等于底板(910)長度的四分之一。

4.根據權利要求1所述的一種用于離子注入機的校對裝置，其特征在于：所述凈化機構(8)包括保護殼(81)、MQ23120H型電磁鐵(82)和陶瓷板(83)，所述MQ23120H型電磁鐵(82)水平安裝在保護殼(81)的內部，所述陶瓷板(83)豎直安裝在保護殼(81)的一側。

5.根據權利要求4所述的一種用于離子注入機的校對裝置，其特征在于：所述MQ23120H型電磁鐵(82)的鐵芯一端與陶瓷板(83)的一側相接觸，所述保護殼(81)一端開口而另一單密封且陶瓷板(83)嵌合在開口內側，所述陶瓷板(83)的另一側與機殼(1)外表面相接觸。

6.根據權利要求1所述的一種用于離子注入機的校對裝置，其特征在于：所述2XZ-1型真空泵(12)連通靶室(11)內部，所述靶室(11)內部相對應于閥門(10)的位置焊接有靶片底座。

7.根據權利要求1所述的一種用于離子注入機的校對裝置，其特征在于：所述機殼(1)頂部相對應兩組離子源系統(2)的位置對應安裝有兩組天線，所述機殼(1)呈L狀。