[實用新型]串行EEPROM芯片的檢測裝置中的調(diào)節(jié)定位機構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821620140.9
• 申請日: 2018-09-30
• 公開（公告）號: CN209167478U
• 公開（公告）日: 2019-07-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 徐四九
• 申請（專利權(quán)）人: 嘉興威伏半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28;G01R1/04
• 代理公司: 嘉興永航專利代理事務(wù)所(普通合伙) 33265
• 代理人: 俞培鋒

1.串行EEPROM芯片的檢測裝置中的調(diào)節(jié)定位機構(gòu)，所述的檢測裝置包括具有工作臺的機體，所述的工作臺上設(shè)置有用于放置晶圓的承載臺，其特征在于，本調(diào)節(jié)定位機構(gòu)設(shè)置在工作臺與承載臺之間，包括固定在工作臺上的橫向?qū)к?，橫向?qū)к壣匣瑒釉O(shè)置有能夠沿著橫向?qū)к壔瑒拥臋M向滑塊，所述的橫向滑塊與一驅(qū)動電機一相連；所述的橫向滑塊上設(shè)置有縱向?qū)к墸v向?qū)к壣匣瑒釉O(shè)置有能夠沿著縱向?qū)к壔瑒拥目v向滑塊，所述的縱向滑塊與一驅(qū)動電機二相連；所述的縱向滑塊上通過周向轉(zhuǎn)動軸向固定的方式設(shè)置有轉(zhuǎn)軸，所述的轉(zhuǎn)軸與一能夠驅(qū)動其向指定方向按指定角度旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動電機三相連，轉(zhuǎn)軸的上端設(shè)置有承載臺；所述的承載臺上開設(shè)有呈圓形的安裝槽，安裝槽的底部開設(shè)有若干吸附孔，若干吸附孔均通過通道與一處于承載臺側(cè)部的吸附總管相連通，所述的吸附總管與一能夠使其形成負(fù)壓的吸附結(jié)構(gòu)相連。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的串行EEPROM芯片的檢測裝置中的調(diào)節(jié)定位機構(gòu)，其特征在于，所述的工作臺上開設(shè)有若干相互平行的嵌合槽一，上述的橫向?qū)к壒潭ㄔ谇逗喜垡恢小?/p>

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的串行EEPROM芯片的檢測裝置中的調(diào)節(jié)定位機構(gòu)，其特征在于，所述的橫向滑塊上固定有安裝臺一，所述的安裝臺一開設(shè)有若干嵌合槽二，上述的縱向?qū)к壒潭ㄔ谇逗喜鄱小?/p>

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的串行EEPROM芯片的檢測裝置中的調(diào)節(jié)定位機構(gòu)，其特征在于，所述的縱向滑塊上固定有安裝臺二，上述的轉(zhuǎn)軸通過軸承設(shè)置在安裝臺二上。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的串行EEPROM芯片的檢測裝置中的調(diào)節(jié)定位機構(gòu)，其特征在于，所述的轉(zhuǎn)軸的上端固定有安裝臺三，上述的承載臺固定在安裝臺三上。

6.根據(jù)權(quán)利要求1～5中任意一項所述的串行EEPROM芯片的檢測裝置中的調(diào)節(jié)定位機構(gòu)，其特征在于，所述的吸附結(jié)構(gòu)包括連接管和真空泵，所述的真空泵固定在工作臺上，連接管的一端與真空泵相連通，連接管的另一端與上述吸附總管相連通。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的串行EEPROM芯片的檢測裝置中的調(diào)節(jié)定位機構(gòu)，其特征在于，所述的吸附孔沿著圓形安裝槽的中心環(huán)形陣列設(shè)置。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的串行EEPROM芯片的檢測裝置中的調(diào)節(jié)定位機構(gòu)，其特征在于，所述的吸附孔中均可拆卸配合安裝有吸盤。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的串行EEPROM芯片的檢測裝置中的調(diào)節(jié)定位機構(gòu)，其特征在于，所述的吸附孔中均可拆卸配合安裝有能夠?qū)⑽娇锥伦〉亩骂^。