[實(shí)用新型]一種自動(dòng)調(diào)節(jié)測(cè)試機(jī)對(duì)接高度的裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821616362.3
• 申請(qǐng)日: 2018-09-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN208738207U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-04-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周杰;侯天宇;李寧;田茂
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 德淮半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/68
• 分類號(hào): H01L21/68;H01L21/67
• 代理公司: 上海思捷知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31295
• 代理人: 王宏婧

本實(shí)用新型提供了一種自動(dòng)調(diào)節(jié)測(cè)試機(jī)對(duì)接高度的裝置，通過(guò)在探針機(jī)上面加裝馬達(dá)部件控制對(duì)接槽的高度來(lái)調(diào)節(jié)測(cè)試頭下降的高度來(lái)取代當(dāng)前技術(shù)需要更換探針機(jī)固定器的方法。在對(duì)接槽附近安裝馬達(dá)，其中馬達(dá)可使用程序并按照預(yù)先設(shè)定的高度來(lái)自動(dòng)控制馬達(dá)，使對(duì)接槽上升或下降，以達(dá)到調(diào)整測(cè)試頭高度的目的。并且所選用的馬達(dá)帶有自鎖功能，保證在異常斷電情況下保持測(cè)試頭的位置不變。為了更好的檢測(cè)高度，使用了距離傳感器，只要物體上升或下降到設(shè)定的高度時(shí)傳感器就發(fā)出信號(hào)讓馬達(dá)停止命令，以達(dá)到位置的精準(zhǔn)。該發(fā)明為自動(dòng)調(diào)整高度裝置，只需要使用一種類型的探針卡固定器，解決了當(dāng)前人工更換探針卡的繁瑣工作，同時(shí)提高了測(cè)試機(jī)的利用率。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種自動(dòng)調(diào)節(jié)測(cè)試機(jī)對(duì)接高度的裝置。

背景技術(shù)

一般在在晶圓測(cè)試設(shè)備中，在同一測(cè)試機(jī)上會(huì)根據(jù)測(cè)試通道的多少來(lái)設(shè)計(jì)不同厚度PCB的探針卡。雖然探針機(jī)的廠商也會(huì)根據(jù)針卡規(guī)格提供相應(yīng)厚度的探針卡固定器，但是切換不同厚度探針卡時(shí)必須更換相應(yīng)的固定器。并且由于測(cè)試頭的位置是固定的，若沒(méi)有及時(shí)更換固定器，測(cè)試機(jī)Pogopin可能會(huì)造成Pin和探針卡電路板上面的Pad損壞或?qū)е翽ogo pin和探針卡接觸不良。為保證探針卡的接觸品質(zhì)，每次更換固定器都需進(jìn)行固定器水平度的調(diào)整，現(xiàn)行方法會(huì)造成測(cè)試機(jī)利用率的下降。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種自動(dòng)調(diào)節(jié)測(cè)試機(jī)對(duì)接高度的裝置，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中需要人工更換探針卡的繁瑣工作，并且為保證探針卡的接觸品質(zhì)，每次更換固定器都需進(jìn)行固定器水平度的調(diào)整，這樣做會(huì)造成測(cè)試機(jī)利用率的下降等問(wèn)題。

為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種自動(dòng)調(diào)節(jié)測(cè)試機(jī)對(duì)接高度的裝置，包括測(cè)試頭以及探針機(jī)；

所述探針機(jī)包括探針卡、探針卡固定器、第一對(duì)接設(shè)備以及第二對(duì)接設(shè)備；

所述測(cè)試頭與所述探針機(jī)通過(guò)所述第一對(duì)接設(shè)備和第二對(duì)接設(shè)備可拆卸連接；

所述第一對(duì)接設(shè)備包括第一驅(qū)動(dòng)設(shè)備、第一對(duì)接槽以及第一底座，所述第一對(duì)接設(shè)備與所述測(cè)試頭通過(guò)所述第一對(duì)接槽連接，所述第一驅(qū)動(dòng)設(shè)備設(shè)置在所述第一底座上；

所述第二對(duì)接設(shè)備包括第二驅(qū)動(dòng)設(shè)備、第二對(duì)接槽以及第二底座，所述第二對(duì)接設(shè)備與所述測(cè)試頭通過(guò)所述第二對(duì)接槽連接，所述第二驅(qū)動(dòng)設(shè)備設(shè)置在所述第二底座上；

所述第一驅(qū)動(dòng)設(shè)備與所述第二驅(qū)動(dòng)設(shè)備分別用于驅(qū)動(dòng)所述第一對(duì)接槽和所述第二對(duì)接槽運(yùn)動(dòng)以使所述測(cè)試頭沿靠近或遠(yuǎn)離所述第一底座的方向運(yùn)動(dòng)。

可選的，所述第一驅(qū)動(dòng)設(shè)備包括第一動(dòng)力設(shè)備以及第一從動(dòng)設(shè)備；

所述第一底座上開(kāi)設(shè)有第一凹槽用于放置所述第一動(dòng)力設(shè)備，所述第一底座上開(kāi)設(shè)有第二凹槽用于放置所述第一從動(dòng)設(shè)備；

所述第一動(dòng)力設(shè)備用于驅(qū)動(dòng)所述第一從動(dòng)設(shè)備，所述第一從動(dòng)設(shè)備用于帶動(dòng)所述第一對(duì)接槽運(yùn)動(dòng)；

所述第二驅(qū)動(dòng)設(shè)備包括第二動(dòng)力設(shè)備以及第二從動(dòng)設(shè)備；

所述第二底座上開(kāi)設(shè)有第三凹槽用于放置所述第二動(dòng)力設(shè)備，所述第二底座上開(kāi)設(shè)有第四凹槽用于放置所述第二從動(dòng)設(shè)備；

所述第二動(dòng)力設(shè)備用于驅(qū)動(dòng)所述第二從動(dòng)設(shè)備，所述第二從動(dòng)設(shè)備用于帶動(dòng)所述第二對(duì)接槽運(yùn)動(dòng)。

可選的，所述第一動(dòng)力設(shè)備包括第一馬達(dá)，所述第一馬達(dá)上設(shè)置有第一轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)備，所述第一馬達(dá)驅(qū)動(dòng)所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)備，所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)備驅(qū)動(dòng)所述第一從動(dòng)設(shè)備，所述第一馬達(dá)設(shè)置在所述第一凹槽內(nèi)；

所述第二動(dòng)力設(shè)備包括第二馬達(dá)，所述第二馬達(dá)上設(shè)置有第二轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)備，所述第二馬達(dá)驅(qū)動(dòng)所述第二轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)備，所述第二轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)備驅(qū)動(dòng)所述第二從動(dòng)設(shè)備，所述第二馬達(dá)設(shè)置在所述第三凹槽內(nèi)。