[實(shí)用新型]一種自動(dòng)調(diào)節(jié)測(cè)試機(jī)對(duì)接高度的裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821616362.3
• 申請(qǐng)日: 2018-09-30
• 公開（公告）號(hào): CN208738207U
• 公開（公告）日: 2019-04-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周杰;侯天宇;李寧;田茂
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 德淮半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/68
• 分類號(hào): H01L21/68;H01L21/67
• 代理公司: 上海思捷知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31295
• 代理人: 王宏婧

1.一種自動(dòng)調(diào)節(jié)測(cè)試機(jī)對(duì)接高度的裝置，其特征在于，包括測(cè)試頭以及探針機(jī)；

所述探針機(jī)包括探針卡、探針卡固定器、第一對(duì)接設(shè)備以及第二對(duì)接設(shè)備；

所述測(cè)試頭與所述探針機(jī)通過(guò)所述第一對(duì)接設(shè)備和第二對(duì)接設(shè)備可拆卸連接；

所述第一對(duì)接設(shè)備包括第一驅(qū)動(dòng)設(shè)備、第一對(duì)接槽以及第一底座，所述第一對(duì)接設(shè)備與所述測(cè)試頭通過(guò)所述第一對(duì)接槽連接，所述第一驅(qū)動(dòng)設(shè)備設(shè)置在所述第一底座上；

所述第二對(duì)接設(shè)備包括第二驅(qū)動(dòng)設(shè)備、第二對(duì)接槽以及第二底座，所述第二對(duì)接設(shè)備與所述測(cè)試頭通過(guò)所述第二對(duì)接槽連接，所述第二驅(qū)動(dòng)設(shè)備設(shè)置在所述第二底座上；

所述第一驅(qū)動(dòng)設(shè)備與所述第二驅(qū)動(dòng)設(shè)備分別用于驅(qū)動(dòng)所述第一對(duì)接槽和所述第二對(duì)接槽運(yùn)動(dòng)以使所述測(cè)試頭沿靠近或遠(yuǎn)離所述第一底座的方向運(yùn)動(dòng)。

2.如權(quán)利要求1所述的一種自動(dòng)調(diào)節(jié)測(cè)試機(jī)對(duì)接高度的裝置，其特征在于，所述第一驅(qū)動(dòng)設(shè)備包括第一動(dòng)力設(shè)備以及第一從動(dòng)設(shè)備；

所述第一底座上開設(shè)有第一凹槽用于放置所述第一動(dòng)力設(shè)備，所述第一底座上開設(shè)有第二凹槽用于放置所述第一從動(dòng)設(shè)備；

所述第一動(dòng)力設(shè)備用于驅(qū)動(dòng)所述第一從動(dòng)設(shè)備，所述第一從動(dòng)設(shè)備用于帶動(dòng)所述第一對(duì)接槽運(yùn)動(dòng)；

所述第二驅(qū)動(dòng)設(shè)備包括第二動(dòng)力設(shè)備以及第二從動(dòng)設(shè)備；

所述第二底座上開設(shè)有第三凹槽用于放置所述第二動(dòng)力設(shè)備，所述第二底座上開設(shè)有第四凹槽用于放置所述第二從動(dòng)設(shè)備；

所述第二動(dòng)力設(shè)備用于驅(qū)動(dòng)所述第二從動(dòng)設(shè)備，所述第二從動(dòng)設(shè)備用于帶動(dòng)所述第二對(duì)接槽運(yùn)動(dòng)。

3.如權(quán)利要求2所述的一種自動(dòng)調(diào)節(jié)測(cè)試機(jī)對(duì)接高度的裝置，其特征在于，所述第一動(dòng)力設(shè)備包括第一馬達(dá)，所述第一馬達(dá)上設(shè)置有第一轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)備，所述第一馬達(dá)驅(qū)動(dòng)所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)備，所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)備驅(qū)動(dòng)所述第一從動(dòng)設(shè)備，所述第一馬達(dá)設(shè)置在所述第一凹槽內(nèi)；

所述第二動(dòng)力設(shè)備包括第二馬達(dá)，所述第二馬達(dá)上設(shè)置有第二轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)備，所述第二馬達(dá)驅(qū)動(dòng)所述第二轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)備，所述第二轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)備驅(qū)動(dòng)所述第二從動(dòng)設(shè)備，所述第二馬達(dá)設(shè)置在所述第三凹槽內(nèi)。

4.如權(quán)利要求3所述的一種自動(dòng)調(diào)節(jié)測(cè)試機(jī)對(duì)接高度的裝置，其特征在于，所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)備通過(guò)第一傳動(dòng)設(shè)備驅(qū)動(dòng)所述第一從動(dòng)設(shè)備；

所述第二轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)備通過(guò)第二傳動(dòng)設(shè)備驅(qū)動(dòng)所述第二從動(dòng)設(shè)備。

5.如權(quán)利要求4所述的一種自動(dòng)調(diào)節(jié)測(cè)試機(jī)對(duì)接高度的裝置，其特征在于，所述第一從動(dòng)設(shè)備包括第一絲杠和第三轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)備，所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)備通過(guò)所述第一傳動(dòng)設(shè)備驅(qū)動(dòng)所述第三轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)備運(yùn)動(dòng)，所述第三轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)備運(yùn)動(dòng)帶動(dòng)所述第一絲杠運(yùn)動(dòng)，所述第一絲杠的一端設(shè)置于所述第二凹槽內(nèi)，所述第一絲杠的另一端與所述第一對(duì)接槽轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述第一絲杠運(yùn)動(dòng)帶動(dòng)所述第一對(duì)接槽運(yùn)動(dòng)；

所述第二從動(dòng)設(shè)備包括第二絲杠和第四轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)備，所述第二轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)備通過(guò)所述第二傳動(dòng)設(shè)備驅(qū)動(dòng)所述第四轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)備運(yùn)動(dòng)，所述第四轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)備運(yùn)動(dòng)帶動(dòng)所述第二絲杠運(yùn)動(dòng)，所述第二絲杠的一端設(shè)置于所述第四凹槽內(nèi)，所述第二絲杠的另一端與所述第二對(duì)接槽轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述第二絲杠運(yùn)動(dòng)帶動(dòng)所述第二對(duì)接槽運(yùn)動(dòng)。

6.如權(quán)利要求5所述的一種自動(dòng)調(diào)節(jié)測(cè)試機(jī)對(duì)接高度的裝置，其特征在于，在所述第一對(duì)接槽與所述第二對(duì)接槽上分別設(shè)置第一距離傳感器以及第二距離傳感器。

7.如權(quán)利要求5所述的一種自動(dòng)調(diào)節(jié)測(cè)試機(jī)對(duì)接高度的裝置，其特征在于，所述第一凹槽與所述第三凹槽為方形凹槽，所述第一凹槽尺寸與所述第一馬達(dá)尺寸相等，所述第三凹槽尺寸與所述第二馬達(dá)尺寸相等。

8.如權(quán)利要求5所述的一種自動(dòng)調(diào)節(jié)測(cè)試機(jī)對(duì)接高度的裝置，其特征在于，所述第二凹槽與所述第四凹槽為圓形凹槽，所述第二凹槽尺寸與所述第一絲杠尺寸相等，所述第四凹槽尺寸與所述第二絲杠尺寸相等。

9.如權(quán)利要求5所述的一種自動(dòng)調(diào)節(jié)測(cè)試機(jī)對(duì)接高度的裝置，其特征在于，所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)備、所述第二轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)備、所述第三轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)備以及所述第四轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)備均為帶輪，所述第一傳動(dòng)設(shè)備與所述第二傳動(dòng)設(shè)備均為柔性帶。

10.如權(quán)利要求5所述的一種自動(dòng)調(diào)節(jié)測(cè)試機(jī)對(duì)接高度的裝置，其特征在于，所述第一從動(dòng)設(shè)備與所述第一對(duì)接槽之間以及第二從動(dòng)設(shè)備與所述第二對(duì)接槽之間通過(guò)螺紋連接；

所述第一絲杠與所述第一底座之間、所述第二絲杠與所述第二底座之間、所述第一馬達(dá)與所述第一底座之間、以及所述第二馬達(dá)與所述第二底座之間均通過(guò)螺紋連接。