[實用新型]一種新型二維掃描微鏡

有效

• 申請號: 201821614531.X
• 申請日: 2018-09-30
• 公開（公告）號: CN208872943U
• 公開（公告）日: 2019-05-17
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 上海芯惠科技有限公司
• 主分類號: G02B26/10
• 分類號: G02B26/10
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫;賈允

本實用新型公開了一種新型二維掃描微鏡，包括鏡面和多組支撐裝置，所述支撐裝置通過彈性部件與所述鏡面相連；單組所述支撐裝置包括導向梁和第一梳齒對，所述導向梁為T形結構，所述導向梁由第一導向梁和第二導向梁組成，所述第一導向梁的一端由所述第二導向梁中部延伸出，另一端通過所述彈性部件與所述鏡面相連。本實用新型的二維掃描微鏡，通過設置多組支撐裝置，且在支撐裝置中設置了T形導向梁用于連接鏡面和動梳齒，從而實現鏡面的二維運動，不需要驅動額外的可動框架，不需要采用填充式電隔離槽，減少了制作工序，降低了制作成本。

技術領域

本實用新型涉及微機電系統技術領域，尤其涉及一種新型二維掃描微鏡。

背景技術

自1980年第一款掃描式硅鏡發布以來，微機電系統，micro electromechanicalsystems，以下簡稱MEMS，被廣泛應用于光學掃描領域，并發展出大量的技術及產品。光學掃描領域已經成為了MEMS研究的重要方向。而隨著技術的發展，在過去的十年間，微型投影技術和眾多的醫學成像技術的應用，成為了當前MEMS光學掃描裝置，尤其是激光掃描裝置發展的主要方向。微型投影技術的發展，促使了一系列新型產品的出現，比如手機大小的微型激光投影儀或者帶有激光投影功能的智能手機、駕駛車輛時車內放置的可用于顯示導航信息的抬頭顯示器HUD，虛擬現實技術VR、增強現實技術AR等在內的各種可穿戴設備等。

靜電驅動是MEMS微鏡的主要驅動方式之一。工作時，通過周期性的電信號驅動微鏡，產生靜電力，使微鏡的鏡面作周期性運動。

現有的靜電驅動式二維微鏡，通過在一維可動鏡面的外部再增加一個可動的框架來實現。可動框架和鏡面均位于微鏡裝置的空腔上方，懸空設置。可動框架與固定框架一樣，均設置有電隔離槽以劃分出若干電勢相互獨立的區域。但是，可動框架上排布的電隔離槽必須為填充式電隔離槽，在制作時需經過溝槽刻蝕、絕緣層淀積/氧化、多晶硅填充等多道工序，這大大增大了生產工藝的復雜度，增加了生產成本。同時，為了驅動新增的可動框架，需要提供更大的驅動力，消耗更多的能量。

因此，有必要對現有的二維掃描微鏡進行改進。

實用新型內容

本實用新型的目的是針對現有技術的不足，提供一種新型二維掃描微鏡。

本實用新型是通過以下技術方案實現的：

本實用新型提供了一種新型二維掃描微鏡，包括鏡面和多組支撐裝置，多組所述支撐裝置圍繞所述鏡面的中心等間距分布，所述支撐裝置通過彈性部件與所述鏡面相連；

單組所述支撐裝置包括導向梁和第一梳齒對，所述導向梁為T形結構，所述導向梁由第一導向梁和第二導向梁組成，所述第一導向梁的一端由所述第二導向梁中部延伸出，另一端通過所述彈性部件與所述鏡面相連；所述第一梳齒對包括第一動梳齒和第一靜梳齒，所述第一動梳齒設置于所述第二導向梁兩側。

進一步地，單組所述支撐裝置還包括第二梳齒對，所述第二梳齒對包括第二動梳齒和第二靜梳齒，所述第二動梳齒設置于所述第一導向梁兩側。

可選地，所述第二靜梳齒與所述第一靜梳齒之間保持電隔離。

可選地，所述第二靜梳齒與所述第一靜梳齒電連接。

進一步地，還包括固定框架，所述固定框架設置于所述鏡面四周，所述第一靜梳齒與所述第二靜梳齒均固定設置于所述固定框架上。

進一步地，所述第一動梳齒與所述第一靜梳齒相互交錯排布，所述第二動梳齒與所述第二靜梳齒相互交錯排布。

進一步地，所述固定框架靠近所述鏡面一側設置有錨點，所述錨點四周設置有電隔離槽，所述錨點與所述固定框架電隔離。

進一步地，所述電隔離槽將所述固定框架分隔成多個電勢獨立的區域，每個所述電勢獨立的區域中均設置有一組所述支撐裝置。