[實用新型]一種新型二維掃描微鏡

有效

• 申請號: 201821614531.X
• 申請日: 2018-09-30
• 公開（公告）號: CN208872943U
• 公開（公告）日: 2019-05-17
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 上海芯惠科技有限公司
• 主分類號: G02B26/10
• 分類號: G02B26/10
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫;賈允

1.一種新型二維掃描微鏡，其特征在于，包括鏡面(101)和多組支撐裝置，多組所述支撐裝置圍繞所述鏡面(101)的中心等間距分布，所述支撐裝置通過彈性部件(102)與所述鏡面(101)相連；

單組所述支撐裝置包括導向梁(103)和第一梳齒對(104)，所述導向梁(103)為T形結構，所述導向梁(103)由第一導向梁(103a)和第二導向梁(103b)組成，所述第一導向梁(103a)的一端由所述第二導向梁(103b)中部延伸出，另一端通過所述彈性部件(102)與所述鏡面(101)相連；所述第一梳齒對(104)包括第一動梳齒(104b)和第一靜梳齒(104a)，所述第一動梳齒(104b)設置于所述第二導向梁(103b)兩側。

2.根據權利要求1所述的一種新型二維掃描微鏡，其特征在于，單組所述支撐裝置還包括第二梳齒對(204)，所述第二梳齒對(204)包括第二動梳齒(204b)和第二靜梳齒(204a)，所述第二動梳齒(204b)設置于所述第一導向梁(103a)兩側。

3.根據權利要求2所述的一種新型二維掃描微鏡，其特征在于，所述第二靜梳齒(204a)與所述第一靜梳齒(104a)之間保持電隔離。

4.根據權利要求2所述的一種新型二維掃描微鏡，其特征在于，所述第二靜梳齒(204a)與所述第一靜梳齒(104a)電連接。

5.根據權利要求3或4所述的一種新型二維掃描微鏡，其特征在于，還包括固定框架(107)，所述固定框架(107)設置于所述鏡面(101)四周，所述第一靜梳齒(104a)與所述第二靜梳齒(204a)均固定設置于所述固定框架(107)上。

6.根據權利要求5所述的一種新型二維掃描微鏡，其特征在于，所述固定框架(107)靠近所述鏡面(101)一側設置有錨點(106)，所述錨點(106)四周設置有電隔離槽(108)，所述錨點(106)與所述固定框架(107)電隔離；所述電隔離槽(108)將所述固定框架(107)分隔成多個電勢獨立的區域，每個所述電勢獨立的區域中均設置有一組所述支撐裝置。

7.根據權利要求6所述的一種新型二維掃描微鏡，其特征在于，所述支撐裝置還包括扭轉軸(105)，所述第二導向梁(103b)兩端均通過所述扭轉軸(105)與所述錨點(106)相連。

8.根據權利要求7所述的一種新型二維掃描微鏡，其特征在于，沿X軸方向的所述第二導向梁(103b)的寬度為D1，沿Y軸方向的所述第二導向梁(103b)的寬度為D2，且D1＜D2，沿X軸方向的所述扭轉軸(105)的長度為L1，寬度為W1；沿Y軸方向的所述扭轉軸(105)的長度為L2，寬度為W2，且L1≥L2，W1≤W2。

9.根據權利要求8所述的一種新型二維掃描微鏡，其特征在于，所述錨點(106)與所述固定框架(107)上均設置有焊盤(109)，所述微鏡采用SOI晶圓制成，所述SOI晶圓由一層或多層單晶硅器件層、一層或多層二氧化硅掩埋層和單晶硅襯底層依次堆疊而成；所述SOI晶圓中設置有空腔(110)，所述鏡面(101)、所述彈性部件(102)與所述支撐裝置均設置于所述空腔(110)上方。

10.根據權利要求1或8所述的一種新型二維掃描微鏡，其特征在于，所述支撐裝置有四組。