[實用新型]一種用于定盤平坦度的測試裝置有效
| 申請號： | 201821611735.8 | 申請日： | 2018-09-30 |
| 公開（公告）號： | CN208872267U | 公開（公告）日： | 2019-05-17 |
| 發明（設計）人： | 王鳴;賀賢漢 | 申請（專利權）人： | 杭州中芯晶圓半導體股份有限公司;上海申和熱磁電子有限公司 |
| 主分類號： | G01B11/30 | 分類號： | G01B11/30 |
| 代理公司： | 上海順華專利代理有限責任公司 31203 | 代理人： | 顧蘭芳 |
| 地址： | 310000 浙江省杭州市蕭山區*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 激光位移傳感器 絲桿 控制裝置 定盤 信號輸出端 測試裝置 平坦度 支架 底座 本實用新型 信號接收端 導軌橫向 可伸縮的 絲桿連接 伺服機構 智能終端 移動 導軌 驅動 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于定盤平坦度的測試裝置，其特征在于，包括一底座，所述底座上方連接一可伸縮的支架，所述支架與絲桿連接，所述絲桿上設有導軌，所述絲桿的一端設有激光位移傳感器，所述激光位移傳感器沿所述導軌橫向移動，所述絲桿上還設有用于驅動激光位移傳感器移動的絲桿伺服機構；
所述絲桿的另一端設有一控制裝置，所述控制裝置的信號接收端連接所述激光位移傳感器的信號輸出端，所述控制裝置的信號輸出端連接智能終端；
所述激光位移傳感器的下方設有旋轉的定盤。
2.根據權利要求1所述的一種用于定盤平坦度的測試裝置，其特征在于，所述底座呈三腳結構，且所述底座是由鑄鐵制成。
3.根據權利要求1所述的一種用于定盤平坦度的測試裝置，其特征在于，所述絲桿是由因瓦合金制成的。
4.根據權利要求1所述的一種用于定盤平坦度的測試裝置，其特征在于，所述激光位移傳感器是精度為1um的距離傳感器。
5.根據權利要求1所述的一種用于定盤平坦度的測試裝置，其特征在于，所述控制裝置與所述智能終端遠程連接，所述控制裝置與所述智能終端無線連接或者有線連接。
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