[實(shí)用新型]一種用于定盤平坦度的測(cè)試裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201821611735.8 | 申請(qǐng)日： | 2018-09-30 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN208872267U | 公開（公告）日： | 2019-05-17 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 王鳴;賀賢漢 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 杭州中芯晶圓半導(dǎo)體股份有限公司;上海申和熱磁電子有限公司 |
| 主分類號(hào)： | G01B11/30 | 分類號(hào)： | G01B11/30 |
| 代理公司： | 上海順華專利代理有限責(zé)任公司 31203 | 代理人： | 顧蘭芳 |
| 地址： | 310000 浙江省杭州市蕭山區(qū)*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 激光位移傳感器 絲桿 控制裝置 定盤 信號(hào)輸出端 測(cè)試裝置 平坦度 支架 底座 本實(shí)用新型 信號(hào)接收端 導(dǎo)軌橫向 可伸縮的 絲桿連接 伺服機(jī)構(gòu) 智能終端 移動(dòng) 導(dǎo)軌 驅(qū)動(dòng) | ||
1.一種用于定盤平坦度的測(cè)試裝置，其特征在于，包括一底座，所述底座上方連接一可伸縮的支架，所述支架與絲桿連接，所述絲桿上設(shè)有導(dǎo)軌，所述絲桿的一端設(shè)有激光位移傳感器，所述激光位移傳感器沿所述導(dǎo)軌橫向移動(dòng)，所述絲桿上還設(shè)有用于驅(qū)動(dòng)激光位移傳感器移動(dòng)的絲桿伺服機(jī)構(gòu)；
所述絲桿的另一端設(shè)有一控制裝置，所述控制裝置的信號(hào)接收端連接所述激光位移傳感器的信號(hào)輸出端，所述控制裝置的信號(hào)輸出端連接智能終端；
所述激光位移傳感器的下方設(shè)有旋轉(zhuǎn)的定盤。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于定盤平坦度的測(cè)試裝置，其特征在于，所述底座呈三腳結(jié)構(gòu)，且所述底座是由鑄鐵制成。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于定盤平坦度的測(cè)試裝置，其特征在于，所述絲桿是由因瓦合金制成的。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于定盤平坦度的測(cè)試裝置，其特征在于，所述激光位移傳感器是精度為1um的距離傳感器。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于定盤平坦度的測(cè)試裝置，其特征在于，所述控制裝置與所述智能終端遠(yuǎn)程連接，所述控制裝置與所述智能終端無線連接或者有線連接。
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