[實用新型]小容量SPI FLASH芯片的檢測裝置

有效

• 申請號: 201821611443.4
• 申請日: 2018-09-30
• 公開（公告）號: CN208970177U
• 公開（公告）日: 2019-06-11
• 發明（設計）人: 徐四九
• 申請（專利權）人: 嘉興威伏半導體有限公司
• 主分類號: G11C29/56
• 分類號: G11C29/56
• 代理公司: 嘉興永航專利代理事務所(普通合伙) 33265
• 代理人: 俞培鋒

1.小容量SPI FLASH芯片的檢測裝置，包括具有工作臺的機體，所述的工作臺上設置有用于放置晶圓的承載臺，其特征在于，所述的工作臺與承載臺之間設置有能夠調節承載臺與工作臺相對位置的調節定位機構，所述的承載臺中設置有能夠將晶圓芯片在承載臺中進行定位的安裝定位機構；所述的工作臺上設置有能夠對晶圓進行進行電性性能測試的探針卡，所述的探針卡包括具有探針過孔的PCB板，所述的探針過孔中依次設置有矩形狀的第一針座、第二針座、第三針座和第四針座，第一針座、第二針座、第三針座和第四針座中均具有若干矩陣排列供安裝測試探針的卡槽，卡槽中設置有測試探針；第一針座與第二針座上的測試探針交錯設置，第三針座與第四針座上的測試探針交錯設置，第一針座與第三針座上的測試探針對應設置，第二針座與第四針座上的測試探針對應設置，所述的工作臺與機體之間設置有能夠調節工作臺高度的升降定位機構。

2.根據權利要求1所述的小容量SPI FLASH芯片的檢測裝置，其特征在于，所述的調節定位機構包括固定在工作臺上的橫向導軌，橫向導軌上滑動設置有能夠沿著橫向導軌滑動的橫向滑塊，所述的橫向滑塊與一驅動電機一相連；所述的橫向滑塊上設置有縱向導軌，縱向導軌上滑動設置有能夠沿著縱向導軌滑動的縱向滑塊，所述的縱向滑塊與一驅動電機二相連；所述的縱向滑塊上通過周向轉動軸向固定的方式設置有轉軸，所述的轉軸與一能夠驅動其向指定方向按指定角度旋轉的驅動電機三相連，上述的承載臺固定在轉軸的上端。

3.根據權利要求1所述的小容量SPI FLASH芯片的檢測裝置，其特征在于，所述的安裝定位機構包括開設在承載臺上呈圓形的安裝槽，安裝槽的底部開設有若干吸附孔，若干吸附孔均通過通道與一處于承載臺側部的吸附總管相連通，所述的吸附總管與一能夠使其形成負壓的吸附結構相連；所述的安裝槽的側壁上設有能使晶圓定位在安裝槽中心的定位結構。

4.根據權利要求3所述的小容量SPI FLASH芯片的檢測裝置，其特征在于，所述的吸附結構包括連接管和真空泵，所述的真空泵固定在工作臺上，連接管的一端與真空泵相連通，連接管的另一端與上述吸附總管相連通。

5.根據權利要求4所述的小容量SPI FLASH芯片的檢測裝置，其特征在于，所述的吸附孔中均可拆卸配合安裝有吸盤。

6.根據權利要求4所述的小容量SPI FLASH芯片的檢測裝置，其特征在于，所述的吸附孔中均可拆卸配合安裝有能夠將吸附孔堵住的堵頭。

7.根據權利要求3所述的小容量SPI FLASH芯片的檢測裝置，其特征在于，所述的定位結構包括若干開設在安裝槽側壁的容納槽，所述的容納槽中設有能夠從中伸出并自動調整晶圓中心的自動定位臂。

8.根據權利要求1所述的小容量SPI FLASH芯片的檢測裝置，其特征在于，所述的PCB板上開設有豎直設置的調節槽一、調節槽二、調節槽三和調節槽四，上述的第一針座、第二針座、第三針座和第四針座分別設置在調節槽一、調節槽二、調節槽三和調節槽四中，所述的調節槽一、調節槽二、調節槽三和調節槽四中分別設置有能夠分別切換第一針座、第二針座、第三針座和第四針座工作狀態的撥動開關一、撥動開關二、撥動開關三和撥動開關四。

9.根據權利要求1所述的小容量SPI FLASH芯片的檢測裝置，其特征在于，所述的升降定位結構包括固定在機體上的若干立柱和絲杠電機，絲杠電機的機體固定在機體上，絲杠電機的絲桿上設置有滾珠，滾珠的外套上設置有連接座，所述的連接座固連在工作臺上；所述的工作臺上開設有若干與所述立柱相對應的安裝孔，所述的立柱對應設置在所述安裝孔中。