[實用新型]一種用于硅電池的二氧化硅膜在線生成系統

有效

• 申請號: 201821606787.6
• 申請日: 2018-09-29
• 公開（公告）號: CN208862007U
• 公開（公告）日: 2019-05-14
• 發明（設計）人: 崔水煒;萬肇勇;黃登強;吳章平
• 申請（專利權）人: 蘇州昊建自動化系統有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 北京三聚陽光知識產權代理有限公司 11250
• 代理人: 朱靜謙

本實用新型提供的一種用于硅電池的二氧化硅膜在線生成系統，包括：臭氧供給系統，用于供給適量濃度的臭氧和空氣混合氣體；噴淋裝置，位于生產線的硅片成型和氮化硅膜生成步驟之間，所述噴淋裝置與所述臭氧供給系統相連，所述硅片至于所述噴淋裝置內，表面與臭氧反應形成二氧化硅膜。從而實現在原有硅電池的氮化硅膜內增設二氧化硅膜，從而實現降低電位誘導衰減的效果，且該系統可實現在線生產，使生產效率更高。

技術領域

本實用新型涉及硅電池技術領域，具體涉及一種用于硅電池的二氧化硅膜在線生成系統。

背景技術

太陽能光伏電池(簡稱光伏電池)用于把太陽的光能直接轉化為電能。目前地面光伏系統大量使用的是以硅為基底的硅太陽能電池，可分為單晶硅、多晶硅、非晶硅太陽能電池。在能量轉換效率和使用壽命等綜合性能方面，單晶硅和多晶硅電池優于非晶硅電池。多晶硅比單晶硅轉換效率低，但價格更便宜。

但是現有的太陽能電池存在電位誘導衰減的問題，電位誘導衰減PID現象是指在高溫多濕環境下，高電壓流經太陽能電池單元便會導致輸出功率下降的現象，是光伏電池所特有的現象。在過去的幾十年里，由于系統偏壓而引起組件功率大幅衰減，有的衰減甚至超過50％。PID與環境因素、組件材料以及逆變器陣列接地方式等有關。

實用新型內容

因此，為了克服現有技術中，硅電池存在電位誘導衰減的問題，從而提供一種減少電位誘導衰減問題且能在線生產的用于硅電池的二氧化硅膜在線生成系統。

本實用新型的設計方案如下：

一種用于硅電池的二氧化硅膜在線生成系統，包括：臭氧供給系統，用于供給適量濃度的臭氧和空氣混合氣體；噴淋裝置，位于生產線的硅片成型和氮化硅膜生成步驟之間，所述噴淋裝置與所述臭氧供給系統相連，所述硅片至于所述噴淋裝置內，表面與臭氧反應形成二氧化硅膜。

優選的，所述臭氧供給系統包括氧氣輸入裝置、臭氧發生器、壓縮空氣輸入裝置和氣體混合射流器，所述氧氣輸入裝置向所述臭氧發生器輸入氧氣，所述臭氧發生器生成臭氧后輸入所述氣體混合射流器，所述壓縮空氣輸入裝置向所述氣體混合射流器內輸入壓縮空氣，所述氣體混合射流器將空氣與臭氧混合成適量濃度的臭氧和空氣混合氣體后供給至所述噴淋裝置。

優選的，還包括與所述氣體混合射流器相連的臭氧濃度監測系統，包括臭氧濃度檢測裝置、警報裝置和臭氧濃度調節裝置。

優選的，所述噴淋裝置包括:噴淋腔體，為設于電池流水線的中空腔體，所述噴淋腔體內具有臭氧輸送管路，所述臭氧輸送管路上具有若干臭氧出口，所述噴淋腔體朝向所述流水線具有均勻分布的噴淋孔；排風罩，對應所述噴淋腔體設置，與所述噴淋腔體共同組成封閉空間，所述排風罩設有排風口，所述排風口與排風風機接通。

優選的，所述噴淋裝置與抽風監測和調節裝置相連，用于調節所述排風風機的功率以控制所述噴淋裝置內的臭氧使用量。

優選的，所述臭氧濃度檢測裝置使用紫外線式光學檢測。

優選的，系統氣體管路采用耐臭氧全氟管。

本實用新型技術方案，具有如下優點：

1、本實用新型提供的一種用于硅電池的二氧化硅膜在線生成系統，包括：臭氧供給系統，用于供給適量濃度的臭氧和空氣混合氣體；噴淋裝置，位于生產線的硅片成型和氮化硅膜生成步驟之間，所述噴淋裝置與所述臭氧供給系統相連，所述硅片至于所述噴淋裝置內，表面與臭氧反應形成二氧化硅膜。從而實現在原有硅電池的氮化硅膜內增設二氧化硅膜，從而實現降低電位誘導衰減的效果，且該系統可實現在線生產，使生產效率更高。