[實用新型]一種用于硅電池的二氧化硅膜在線生成系統

有效

• 申請號: 201821606787.6
• 申請日: 2018-09-29
• 公開（公告）號: CN208862007U
• 公開（公告）日: 2019-05-14
• 發明（設計）人: 崔水煒;萬肇勇;黃登強;吳章平
• 申請（專利權）人: 蘇州昊建自動化系統有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 北京三聚陽光知識產權代理有限公司 11250
• 代理人: 朱靜謙

1.一種用于硅電池的二氧化硅膜在線生成系統，其特征在于，包括：

臭氧供給系統，用于供給適量濃度的臭氧和空氣混合氣體；

噴淋裝置，位于生產線的硅片成型和氮化硅膜生成步驟之間，所述噴淋裝置與所述臭氧供給系統相連，所述硅片至于所述噴淋裝置內，表面與臭氧反應形成二氧化硅膜。

2.根據權利要求1中所述的用于硅電池的二氧化硅膜在線生成系統，其特征在于，所述臭氧供給系統包括氧氣輸入裝置、臭氧發生器、壓縮空氣輸入裝置和氣體混合射流器，所述氧氣輸入裝置向所述臭氧發生器輸入氧氣，所述臭氧發生器生成臭氧后輸入所述氣體混合射流器，所述壓縮空氣輸入裝置向所述氣體混合射流器內輸入壓縮空氣，所述氣體混合射流器將空氣與臭氧混合成適量濃度的臭氧和空氣混合氣體后供給至所述噴淋裝置。

3.根據權利要求2中所述的用于硅電池的二氧化硅膜在線生成系統，其特征在于，還包括與所述氣體混合射流器相連的臭氧濃度監測系統，包括臭氧濃度檢測裝置、警報裝置和臭氧濃度調節裝置。

4.根據權利要求1中所述的用于硅電池的二氧化硅膜在線生成系統，其特征在于，所述噴淋裝置包括:

噴淋腔體，為設于電池流水線的中空腔體，所述噴淋腔體內具有臭氧輸送管路，所述臭氧輸送管路上具有若干臭氧出口，所述噴淋腔體朝向所述流水線具有均勻分布的噴淋孔；

排風罩，對應所述噴淋腔體設置，與所述噴淋腔體共同組成封閉空間，所述排風罩設有排風口，所述排風口與排風風機接通。

5.根據權利要求4中所述的用于硅電池的二氧化硅膜在線生成系統，其特征在于，所述噴淋裝置與抽風監測和調節裝置相連，用于調節所述排風風機的功率以控制所述噴淋裝置內的臭氧使用量。

6.根據權利要求3中所述的用于硅電池的二氧化硅膜在線生成系統，其特征在于，所述臭氧濃度檢測裝置使用紫外線式光學檢測。

7.根據權利要求1中所述的用于硅電池的二氧化硅膜在線生成系統，其特征在于，系統氣體管路采用耐臭氧全氟管。