[實用新型]一種雙面曝光數字激光直寫設備

有效

• 申請號: 201821604570.1
• 申請日: 2018-09-29
• 公開（公告）號: CN208752392U
• 公開（公告）日: 2019-04-16
• 發明（設計）人: 朱道龍;劉金武;張雷
• 申請（專利權）人: 蘇州源卓光電科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京華仲龍騰專利代理事務所(普通合伙) 11548
• 代理人: 吳月琴

本實用新型公開了一種雙面曝光數字激光直寫設備，包括曝光系統A、曝光系統B、待曝光工件和設備平臺，設備平臺上左右兩側分別設有曝光系統A和曝光系統B，曝光系統A和曝光系統B中間位置處設有待曝光工件，本實用新型的一種雙面曝光數字激光直寫設備，曝光對位組件A和曝光對位組件B在各自運動軸的帶動下移動，當待曝光工件需要雙面曝光時，可同時從兩側完成對位曝光任務，由于曝光過程僅需一次裝夾和對位，生產效率明顯提高，解決了現有技術的曝光機只能單次單面曝光的現存缺陷和無法完成的任務，在雙面曝光上存在明顯優勢。

技術領域：

本實用新型涉及曝光設備技術領域，尤其涉及一種雙面曝光數字激光直寫設備。

背景技術：

目前，網版印刷技術在PCB行業、平板顯示行業、集成電路封裝、光伏等行業有著廣泛的應用。傳統的網版制作是采用菲林工藝，將要印刷的問題及圖形做在菲林底片上，再用菲林底片作為文字與圖案的掩模板，通過傳統的平行曝光機將文字、圖案曝光復制在涂有感光膠的絲網上，再通過顯影、清洗等工藝，在絲網上形成印刷母版用的文字及圖案。很顯然，傳統的制作方法存在工藝復雜且不易控制、菲林成本較高、產能低下等固有缺點。近些年來，基于數字微反射鏡為核心部件的激光直寫系統在光學及機械結構上已基本成形，并以其低廉的成本及高效清晰的打印效果等優勢正逐步替代傳統的菲林工藝。然而，現有的激光直寫式曝光機依然存在工作效率低、系統適應性不強等缺點。

實用新型內容：

針對上述問題，本實用新型要解決的技術問題是提供一種雙面曝光數字激光直寫設備，包括曝光系統A、曝光系統B、待曝光工件和設備平臺，所述設備平臺上左右兩側分別設有曝光系統A和曝光系統B，所述曝光系統A和曝光系統B中間位置處設有固定在設備平臺上的待曝光工件，所述曝光系統A上設有第一曝光對位組件、第一運動軸和第二運動軸，所述曝光系統B上設有第二曝光對位組件、第三運動軸和第四運動軸，所述第一曝光對位組件在第一運動軸的驅動下沿Y方向移動，在第二運動軸的驅動下沿X方向移動，所述第二曝光對位組件在第三運動軸的驅動下沿Y方向移動，在第四運動軸的驅動下沿X方向移動。

優選的，所述待曝光工件通過工件吸盤固定在設備平臺上。

優選的，所述待曝光工件通過夾具固定在設備平臺上。

本實用新型有益效果：本實用新型的一種雙面曝光數字激光直寫設備，曝光對位組件A和曝光對位組件B在各自運動軸的帶動下移動，設備各部件在統一控制和配合下進行各自動作，進而完成曝光任務，曝光系統A與曝光系統B為相同但相互獨立的結構系統，兩者可同時從兩側工作彼此不受干擾，提高了工作效率。當待曝光工件需要雙面曝光時，可同時從兩側完成對位曝光任務，由于曝光過程僅需一次裝夾和對位，曝光工序簡潔、生產效率明顯提高、曝光速度加快，曝光圖形的位置精度能達到一個相當高的水平，產品良品率大幅提升，解決了現有技術的曝光機只能單次單面曝光的現存缺陷和無法完成的任務，在雙面曝光上存在明顯優勢。

附圖說明：

為了易于說明，本實用新型由下述的具體實施及附圖作以詳細描述。

圖1為本實用新型整體結構圖；

圖2為曝光對位組件B結構示意圖；

圖3為原有的激光直寫式曝光機結構示意圖。

圖中：1-曝光系統A；2-曝光系統B；3-待曝光工件；4-設備平臺；5-第一曝光對位組件；6-第一運動軸；7-第二運動軸；8-第二曝光對位組件；9-第三運動軸；10-第四運動軸；11-工件吸盤。

具體實施方式：

為使本實用新型的目的、技術方案和優點更加清楚明了，下面通過附圖中示出的具體實施例來描述本實用新型。但是應該理解，這些描述只是示例性的，而并非要限制本實用新型的范圍。此外，在以下說明中，省略了對公知結構和技術的描述，以避免不必要地混淆本實用新型的概念。