[實用新型]一種基片固定裝置

有效

• 申請號: 201821603924.0
• 申請日: 2018-09-29
• 公開（公告）號: CN208781877U
• 公開（公告）日: 2019-04-23
• 發明（設計）人: 宋永明
• 申請（專利權）人: 東泰高科裝備科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/683;C23C14/56
• 代理公司: 北京維澳專利代理有限公司 11252
• 代理人: 金海;周放

本實用新型提供了一種基片固定裝置，其包括載板、基片、壓緊裝置以及用于固定載板與壓緊裝置的鎖緊裝置，載板的一面上設有用于容納基片的安裝凹槽，壓緊裝置包括頂板、壓片以及彈性件，頂板的一面上設置有與安裝凹槽大小相對應的凸臺，彈性件設置在凸臺與壓片之間；壓緊裝置通過壓片將基片壓緊在安裝凹槽內；安裝凹槽處設有與凸臺的頂面相擋接的限位臺階面。本實用新型的基片固定裝置，其頂板與壓片之間設置有彈性件，使得載板上的基片受到的壓力能夠得到較好地緩沖，降低碎片率；同時通過安裝凹槽處的限位臺階面與頂板上的凸臺的頂面相擋接，能夠對頂板進行較好地限位，有效地避免了頂板繼續下壓，大大地降低了因基片被過度壓緊而造成的碎片率。

技術領域

本實用新型涉及太陽能電池技術領域，具體涉及一種基片固定裝置。

背景技術

隨著世界能源的逐漸減少，清潔能源、可再生資源將變為社會主流能源，也促進了相應行業的迅速發展，太陽能行業也是發展越來越快，物理氣相沉積(簡稱PVD)鍍膜是太陽能電池生產的重要環節，PVD技術其具體原理是，在真空條件下，采用低電壓、大電流的電弧放電技術，利用氣體放電使靶材蒸發，使被蒸發物質與氣體都發生電離，利用電場的加速作用，使被蒸發物質及反應物質沉積在工件上形成一層薄膜。

在臥式PVD鍍膜過程中，基片水平通過腔體，利用傳動機構勻速運動，陰極是從下至上或從上至下濺射鍍膜。為了提高產能，在太陽能行業一般采用多基片進多基片出同時鍍膜的方法。現市面上通常采用單基片壓塊的方法再用轉桿固定，但是此種方法對基片壓緊時沒有緩沖，導致基片的碎片率較高。因此，如何設計一種基片固定裝置，壓緊基片的同時還能降低碎片率成為本領域技術人員急需解決的技術問題。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種基片固定裝置，以解決現有技術中碎片率較高的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供了如下技術方案：

一種基片固定裝置，其包括載板、基片、壓緊裝置以及用于固定所述載板與所述壓緊裝置的鎖緊裝置，所述載板的一面上設置有用于容納所述基片的安裝凹槽，所述壓緊裝置包括頂板、壓片以及彈性件，所述頂板的一面上設置有與所述安裝凹槽大小相對應的凸臺，所述彈性件設置在所述凸臺與所述壓片之間；所述壓緊裝置通過所述壓片將所述基片壓緊在所述安裝凹槽內；所述安裝凹槽處設置有與所述凸臺的頂面相擋接的限位臺階面。

優選地，所述凸臺的頂面上設置有安裝盲孔，所述彈性件的一端與所述安裝盲孔的孔底相連，所述彈性件的另一端與所述壓片相連。

優選地，所述安裝盲孔的個數至少為一個，各所述安裝盲孔均勻分布在所述凸臺的頂面上；所述彈性件的個數與所述安裝盲孔的個數相對應，各所述彈性件與各所述安裝盲孔一一對應配合。

優選地，所述壓片的一面的中部位置設置有壓片凹槽。

優選地，所述載板的一面上均布有至少一個所述安裝凹槽，所述頂板的一面上均布的所述凸臺的個數與所述安裝凹槽的個數相對應，各所述安裝凹槽與各所述凸臺一一對應配合。

優選地，所述鎖緊裝置包括鎖緊軸、鎖緊鉤、扭簧以及固定裝置，所述鎖緊鉤的一端具有鉤狀結構；所述頂板的另一面上設置有頂面凹槽，所述頂板的側壁上設置有與所述頂面凹槽相連通的容納槽，所述載板的另一面上設置有與所述鉤狀結構相配合的限位槽；所述鎖緊軸的兩端分別通過所述固定裝置與所述容納槽的兩側相連，所述鎖緊鉤與所述鎖緊軸轉動配合；所述扭簧套裝在所述鎖緊軸上，所述扭簧的一端與所述頂面凹槽的槽底相連，所述扭簧的另一端與所述鎖緊鉤上遠離所述鉤狀結構的一端相連。

優選地，所述鎖緊鉤上設置有與所述鎖緊軸的外圓周面相配合的半圓形槽。