[實用新型]一種基片固定裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821603924.0
• 申請日: 2018-09-29
• 公開（公告）號: CN208781877U
• 公開（公告）日: 2019-04-23
• 發(fā)明（設計）人: 宋永明
• 申請（專利權(quán)）人: 東泰高科裝備科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/683;C23C14/56
• 代理公司: 北京維澳專利代理有限公司 11252
• 代理人: 金海;周放

1.一種基片固定裝置，其包括載板、基片、壓緊裝置以及用于固定所述載板與所述壓緊裝置的鎖緊裝置，所述載板的一面上設置有用于容納所述基片的安裝凹槽，其特征在于，所述壓緊裝置包括頂板、壓片以及彈性件，所述頂板的一面上設置有與所述安裝凹槽大小相對應的凸臺，所述彈性件設置在所述凸臺與所述壓片之間；所述壓緊裝置通過所述壓片將所述基片壓緊在所述安裝凹槽內(nèi)；所述安裝凹槽處設置有與所述凸臺的頂面相擋接的限位臺階面。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基片固定裝置，其特征在于，所述凸臺的頂面上設置有安裝盲孔，所述彈性件的一端與所述安裝盲孔的孔底相連，所述彈性件的另一端與所述壓片相連。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基片固定裝置，其特征在于，所述安裝盲孔的個數(shù)至少為一個，各所述安裝盲孔均勻分布在所述凸臺的頂面上；所述彈性件的個數(shù)與所述安裝盲孔的個數(shù)相對應，各所述彈性件與各所述安裝盲孔一一對應配合。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基片固定裝置，其特征在于，所述壓片的一面的中部位置設置有壓片凹槽。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基片固定裝置，其特征在于，所述載板的一面上均布有至少一個所述安裝凹槽，所述頂板的一面上均布的所述凸臺的個數(shù)與所述安裝凹槽的個數(shù)相對應，各所述安裝凹槽與各所述凸臺一一對應配合。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項所述的基片固定裝置，其特征在于，所述鎖緊裝置包括鎖緊軸、鎖緊鉤、扭簧以及固定裝置，所述鎖緊鉤的一端具有鉤狀結(jié)構(gòu)；所述頂板的另一面上設置有頂面凹槽，所述頂板的側(cè)壁上設置有與所述頂面凹槽相連通的容納槽；所述載板的另一面上設置有與所述鉤狀結(jié)構(gòu)相配合的限位槽；所述鎖緊軸的兩端分別通過所述固定裝置與所述容納槽的兩側(cè)相連，所述鎖緊鉤與所述鎖緊軸轉(zhuǎn)動配合；所述扭簧套裝在所述鎖緊軸上，所述扭簧的一端與所述頂面凹槽的槽底相連，所述扭簧的另一端與所述鎖緊鉤上遠離所述鉤狀結(jié)構(gòu)的一端相連。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基片固定裝置，其特征在于，所述鎖緊鉤上設置有與所述鎖緊軸的外圓周面相配合的半圓形槽。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基片固定裝置，其特征在于，所述固定裝置為安裝板，所述安裝板包括第一板和第二板，所述第一板和所述第二板垂直相連并構(gòu)成L型結(jié)構(gòu)；所述第一板上設置有與所述鎖緊軸的外圓周面相配合的第一弧形槽，所述容納槽的側(cè)壁上設置有與所述鎖緊軸的外圓周面相配合的第二弧形槽，所述第一弧形槽與所述第二弧形槽共同圍成與所述鎖緊軸相匹配的圓孔；所述第二板與所述頂板的另一面相連。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基片固定裝置，其特征在于，所述鎖緊裝置的個數(shù)至少為兩個，各所述鎖緊裝置均勻分布在所述頂板的四周。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基片固定裝置，其特征在于，所述彈性件為彈簧。