[實用新型]一種半導體封裝工件自動抓取裝置有效
| 申請號: | 201821591191.3 | 申請日: | 2018-09-28 |
| 公開(公告)號: | CN209000896U | 公開(公告)日: | 2019-06-18 |
| 發明(設計)人: | 柯武生 | 申請(專利權)人: | 廣西桂芯半導體科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/683 | 分類號: | H01L21/683 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 530007 廣西壯族自治區南寧市*** | 國省代碼: | 廣西;45 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 抓取 手臂裝置 臂身 懸臂 底座 自動抓取裝置 半導體封裝 螺栓固定 吸取裝置 真空吸盤 真空吸頭 抓取裝置 控制器 上端 尾臂 本實用新型 自帶控制器 獨立自由 機械臂 可伸縮 旋轉頭 產線 底端 端套 封裝 嵌入 芯片 靈活 | ||
本實用新型提供了一種半導體封裝工件自動抓取裝置,包括吸取裝置、手臂裝置和底座,手臂裝置設置在底座上,吸取裝置設置在手臂裝置一端,手臂裝置包括控制器、臂身、懸臂、尾臂和旋轉頭,臂身底端通過螺栓固定于底座上端,控制器通過螺栓固定于臂身正面,懸臂后端套接于臂身上端一側,尾臂上端嵌入于懸臂前端。該抓取裝置外形為機械臂,自帶控制器,可獨立自由地安裝在封裝產線中,真空吸盤和真空吸頭提供吸取力抓取工件,且真空吸盤位置可在平面上進行調整,而在面對更小的Die時,真空吸頭可伸縮進行單獨吸取,通過CCD傳感器獲取芯片或Die的位置信息,抓取精確使得該抓取裝置抓取類型豐富、抓取靈活、效率高,具有廣泛實用性。
技術領域
本實用新型涉及半導體封裝技術領域,更具體的說,涉及一種抓取裝置。
背景技術
半導體封裝技術即將晶圓切割成一顆一顆Die后,按照功能需求貼裝于基板表面,再通過打金線的方式將Die上的bond pad與基板上設置的焊盤引腳進行連接,構成電路,隨后將Die周圍進行塑封包裹,保護Die及電路,封裝完成的產品即為芯片,能直接應用于各類電子產品的生產,而當今社會對電子產品的需求越來越大,封裝技術則是其中的基礎和關鍵的。
當前半導體封裝具有完整的生產體系,要求封裝過程高效率、高質量且具有一定靈活性,而在現有封裝過程中,各種封裝設備的整體性較高,只抓能夠取切割后的Die進行封裝或只抓取封裝完成后的芯片進行轉移,且抓取芯片大小受限,存在抓取功能單一、抓取類型受限、生產不靈活的問題。
發明內容
本實用新型旨在于解決現有封裝過程中抓取功能單一、抓取類型受限、生產不靈活的問題,提供一種半導體封裝工件自動抓取裝置,該抓取裝置外形為機械臂,自帶控制器,可獨立自由地安裝在封裝產線中,真空吸盤和真空吸頭提供吸取力抓取工件,且真空吸盤位置可在平面上進行調整,而在面對更小的Die時,真空吸頭可伸縮進行單獨吸取,通過CCD傳感器獲取芯片或Die的位置信息,抓取精確使得該抓取裝置抓取類型豐富、抓取靈活、效率高,具有廣泛實用性。
為實現上述目的,本實用新型提供如下技術方案:
一種半導體封裝工件自動抓取裝置,包括吸取裝置、手臂裝置和底座,手臂裝置設置在底座上,吸取裝置設置在手臂裝置一端;
所述手臂裝置包括控制器、臂身、懸臂、尾臂和旋轉頭,所述臂身底端通過螺栓固定于底座上端,所述控制器通過螺栓固定于臂身正面,所述懸臂右端套接于臂身上端左側,所述尾臂上端嵌入于懸臂左端,所述旋轉頭兩側嵌入于尾臂底端中心;
所述吸取裝置包括轉盤、CCD傳感器、真空吸盤、真空吸頭和真空軟管,所述轉盤上端通過轉軸與旋轉頭底端連接,所述CCD傳感器嵌入設置在轉盤側邊,所述轉盤底端面設有“十”字形的軌道,所述真空吸盤上端活動設置在軌道中,所述真空吸頭上端嵌入設置在轉盤底端中心,所述真空吸頭連接端設有電動伸縮桿,所述真空軟管兩端分別嵌入設置于轉盤和尾臂的兩側。
進一步的優選方案:所述臂身、懸臂、尾臂和旋轉頭均通過轉軸活動連接,且臂身、尾臂和旋轉頭內置電機與轉軸連接。
進一步的優選方案:所述尾臂內置真空泵,與真空軟管連接。
進一步的優選方案:所述真空吸盤、真空吸頭與真空軟管空氣連通。
進一步的優選方案:所述底座內置電機與臂身固定端連接。
進一步的優選方案:所述控制器與所有電機、真空泵、電動伸縮桿和CCD傳感器呈電性連接,且與CCD傳感器呈信號連接。
本實用新型提供了一種半導體封裝工件自動抓取裝置,具有以下有益效果:
(1)抓取裝置可獨立使用安裝在封裝生產流水線中,使用靈活。
(2)抓取動作主依靠手臂裝置活動完成,抓取范圍大。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





