[實(shí)用新型]一種帶有自鎖夾持機(jī)構(gòu)的掃描電鏡樣品臺(tái)座

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821590834.2
• 申請(qǐng)日: 2018-09-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN209167170U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-07-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 程躍;武倩;鮑晉珍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海恩捷新材料科技有限公司
• 主分類號(hào): G01N23/2204
• 分類號(hào): G01N23/2204;G01N23/2251
• 代理公司: 上海光華專利事務(wù)所(普通合伙) 31219
• 代理人: 余明偉

本實(shí)用新型提供一種帶有自鎖夾持機(jī)構(gòu)的掃描電鏡樣品臺(tái)座，所述掃描電鏡樣品臺(tái)座至少包括：工作臺(tái)，所述工作臺(tái)表面設(shè)有兩個(gè)對(duì)稱分布的固定塊；夾持機(jī)構(gòu)，包括一對(duì)夾持部件，分別固定在兩個(gè)固定塊上，通過(guò)所述夾持部件對(duì)待測(cè)樣品進(jìn)行夾持和松開(kāi)；驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，設(shè)置于所述工作臺(tái)側(cè)壁上，利用所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)所述夾持部件進(jìn)行伸縮運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)對(duì)所述待測(cè)樣品的夾持和松開(kāi)。利用本實(shí)用新型的掃描電鏡樣品臺(tái)座來(lái)夾持樣品，操作簡(jiǎn)單方便，夾持效果好，根據(jù)樣品臺(tái)的大小，可以旋轉(zhuǎn)螺栓調(diào)節(jié)插桿伸出插槽的距離，使對(duì)各種大小樣品臺(tái)的夾持效果達(dá)到最佳，根據(jù)樣品的形狀更換夾持板，從而提高夾持效果。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于掃描電鏡技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種帶有自鎖夾持機(jī)構(gòu)的掃描電鏡樣品臺(tái)座。

背景技術(shù)

掃描電鏡(SEM)是介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察手段，可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進(jìn)行微觀成像。掃描電鏡的優(yōu)點(diǎn)是，①有較高的放大倍數(shù)，且連續(xù)可調(diào)；②有很大的景深，視野大，成像富有立體感，可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細(xì)微結(jié)構(gòu)；③試樣制備簡(jiǎn)單。目前的掃描電鏡都配有X射線能譜儀裝置，這樣可以同時(shí)進(jìn)行顯微組織形貌的觀察和微區(qū)成分分析，因此它是當(dāng)今十分有用的科學(xué)研究?jī)x器之一。

現(xiàn)有技術(shù)中在使用掃描電鏡前需要將樣品臺(tái)放置在掃描電鏡樣品臺(tái)座上，現(xiàn)有的技術(shù)夾持速度慢，且?jiàn)A持效果不是很好。

實(shí)用新型內(nèi)容

鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型的目的在于提供一種帶有自鎖夾持機(jī)構(gòu)的掃描電鏡樣品臺(tái)座，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中掃描電鏡樣品臺(tái)座夾持樣品速度慢，且?jiàn)A持效果不佳的問(wèn)題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本實(shí)用新型提供一種帶有自鎖夾持機(jī)構(gòu)的掃描電鏡樣品臺(tái)座，所述掃描電鏡樣品臺(tái)座至少包括：

工作臺(tái)，表面設(shè)有兩個(gè)對(duì)稱分布的固定塊；

夾持機(jī)構(gòu)，包括一對(duì)夾持部件，分別固定在兩個(gè)所述固定塊上，通過(guò)所述夾持部件對(duì)待測(cè)樣品進(jìn)行夾持和松開(kāi)；

驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，設(shè)置于所述工作臺(tái)側(cè)壁上行，利用所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)所述夾持部件進(jìn)行伸縮運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)對(duì)所述待測(cè)樣品的夾持和松開(kāi)。

作為本實(shí)用新型帶有自鎖夾持機(jī)構(gòu)的掃描電鏡樣品臺(tái)座的一種優(yōu)化的結(jié)構(gòu)，所述夾持部件包括：

空腔，開(kāi)設(shè)于所述固定塊中；

移動(dòng)板，設(shè)置于所述空腔中；

彈簧，一端固定于所述空腔內(nèi)壁上，另一端與所述移動(dòng)板固定連接；

移動(dòng)桿，一端與所述移動(dòng)板連接，另一端穿過(guò)所述空腔伸出于所述固定塊外；

夾持板，與所述移動(dòng)桿伸出于所述固定塊外的一端相連。

作為本實(shí)用新型帶有自鎖夾持機(jī)構(gòu)的掃描電鏡樣品臺(tái)座的一種優(yōu)化的結(jié)構(gòu)，所述夾持部件還包括連接結(jié)構(gòu)，所述夾持板與所述移動(dòng)桿伸出于所述固定塊外的一端通過(guò)所述連接結(jié)構(gòu)相連，所述連接結(jié)構(gòu)包括：

插槽，開(kāi)設(shè)于所述移動(dòng)桿中；

插桿，插設(shè)于所述插槽中，所述插桿的一端伸出于所述插槽并與所述夾持板固定連接；

螺栓，一端貫穿所述移動(dòng)桿至所述插槽內(nèi)并與所述插桿貼合相連，另一端露于所述移動(dòng)桿表面。

作為本實(shí)用新型帶有自鎖夾持機(jī)構(gòu)的掃描電鏡樣品臺(tái)座的一種優(yōu)化的結(jié)構(gòu)，所述插槽的內(nèi)壁開(kāi)設(shè)有滑槽，所述滑槽中設(shè)有與所述插桿固定連接且用于限制所述插桿及所述夾持板偏轉(zhuǎn)的限位板。

作為本實(shí)用新型帶有自鎖夾持機(jī)構(gòu)的掃描電鏡樣品臺(tái)座的一種優(yōu)化的結(jié)構(gòu)，所述夾持板用于接觸夾持待測(cè)樣品的表面上固定有橡膠墊。

作為本實(shí)用新型帶有自鎖夾持機(jī)構(gòu)的掃描電鏡樣品臺(tái)座的一種優(yōu)化的結(jié)構(gòu)，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括：