[實(shí)用新型]一種帶有自鎖夾持機(jī)構(gòu)的掃描電鏡樣品臺(tái)座

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821590834.2
• 申請(qǐng)日: 2018-09-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN209167170U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-07-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 程躍;武倩;鮑晉珍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海恩捷新材料科技有限公司
• 主分類號(hào): G01N23/2204
• 分類號(hào): G01N23/2204;G01N23/2251
• 代理公司: 上海光華專利事務(wù)所(普通合伙) 31219
• 代理人: 余明偉

1.一種帶有自鎖夾持機(jī)構(gòu)的掃描電鏡樣品臺(tái)座，其特征在于，所述掃描電鏡樣品臺(tái)座至少包括：

工作臺(tái)，表面設(shè)有兩個(gè)對(duì)稱分布的固定塊；

夾持機(jī)構(gòu)，包括一對(duì)夾持部件，分別固定在兩個(gè)所述固定塊上，通過(guò)所述夾持部件對(duì)待測(cè)樣品進(jìn)行夾持和松開(kāi)；

驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，設(shè)置于所述工作臺(tái)側(cè)壁上，利用所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)所述夾持部件進(jìn)行伸縮運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)對(duì)所述待測(cè)樣品的夾持和松開(kāi)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶有自鎖夾持機(jī)構(gòu)的掃描電鏡樣品臺(tái)座，其特征在于：所述夾持部件包括：

空腔，開(kāi)設(shè)于所述固定塊中；

移動(dòng)板，設(shè)置于所述空腔中；

彈簧，一端固定于所述空腔內(nèi)壁上，另一端與所述移動(dòng)板固定連接；

移動(dòng)桿，一端與所述移動(dòng)板連接，另一端穿過(guò)所述空腔伸出于所述固定塊外；

夾持板，與所述移動(dòng)桿伸出于所述固定塊外的一端相連。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的帶有自鎖夾持機(jī)構(gòu)的掃描電鏡樣品臺(tái)座，其特征在于：所述夾持部件還包括連接結(jié)構(gòu)，所述夾持板與所述移動(dòng)桿伸出于所述固定塊外的一端通過(guò)所述連接結(jié)構(gòu)相連，所述連接結(jié)構(gòu)包括：

插槽，開(kāi)設(shè)于所述移動(dòng)桿中；

插桿，插設(shè)于所述插槽中，所述插桿的一端伸出于所述插槽并與所述夾持板固定連接；

螺栓，一端貫穿所述移動(dòng)桿至所述插槽內(nèi)并與所述插桿貼合相連，另一端露于所述移動(dòng)桿表面。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的帶有自鎖夾持機(jī)構(gòu)的掃描電鏡樣品臺(tái)座，其特征在于：所述插槽的內(nèi)壁開(kāi)設(shè)有滑槽，所述滑槽中設(shè)有與所述插桿固定連接且用于限制所述插桿及所述夾持板偏轉(zhuǎn)的限位板。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的帶有自鎖夾持機(jī)構(gòu)的掃描電鏡樣品臺(tái)座，其特征在于：所述夾持板用于接觸夾持待測(cè)樣品的表面上固定有橡膠墊。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的帶有自鎖夾持機(jī)構(gòu)的掃描電鏡樣品臺(tái)座，其特征在于：所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括：

環(huán)形槽，開(kāi)設(shè)在所述工作臺(tái)的側(cè)壁上；

環(huán)形板，設(shè)于所述環(huán)形槽中，所述環(huán)形板與所述工作臺(tái)滑動(dòng)相連且所述環(huán)形板的內(nèi)側(cè)壁開(kāi)設(shè)有環(huán)形的凹槽；

兩個(gè)連接繩，一端對(duì)稱固定在所述凹槽內(nèi)側(cè)壁上，另一端分別貫穿所述工作臺(tái)及兩個(gè)所述固定塊與對(duì)應(yīng)的所述移動(dòng)板固定相連。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的帶有自鎖夾持機(jī)構(gòu)的掃描電鏡樣品臺(tái)座，其特征在于：所述工作臺(tái)上滑動(dòng)套接有環(huán)形滑動(dòng)板，所述環(huán)形滑動(dòng)板的內(nèi)側(cè)壁和所述環(huán)形板的外側(cè)壁固定連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的帶有自鎖夾持機(jī)構(gòu)的掃描電鏡樣品臺(tái)座，其特征在于：所述環(huán)形滑動(dòng)板的外側(cè)壁上固定有防滑墊。