[實用新型]過濾裝置

有效

• 申請號: 201821588059.7
• 申請日: 2018-09-27
• 公開（公告）號: CN209020031U
• 公開（公告）日: 2019-06-25
• 發明（設計）人: 廖昌洋;楊永剛;蔣陽波;顧立勛;徐融
• 申請（專利權）人: 長江存儲科技有限責任公司
• 主分類號: B01D35/16
• 分類號: B01D35/16
• 代理公司: 上海盈盛知識產權代理事務所(普通合伙) 31294
• 代理人: 董琳;陳麗麗

本實用新型涉及半導體制造技術領域，尤其涉及一種過濾裝置。所述過濾裝置包括：過濾器，包括輸入端以及與所述輸入端相對的輸出端，用于對自所述輸入端輸入的液體進行過濾；吹掃部，用于自所述輸入端向所述過濾器傳輸吹掃氣體，以將所述過濾器內的殘留液體自所述輸出端排出。本實用新型加速了過濾器內部殘留液體的排出速度，縮短了過濾裝置的維護時間，減少了人力成本。

技術領域

本實用新型涉及半導體制造技術領域，尤其涉及一種過濾裝置。

背景技術

隨著平面型閃存存儲器的發展，半導體的生產工藝取得了巨大的進步。但是最近幾年，平面型閃存的發展遇到了各種挑戰：物理極限、現有顯影技術極限以及存儲電子密度極限等。在此背景下，為解決平面閃存遇到的困難以及追求更低的單位存儲單元的生產成本，各種不同的三維(3D)閃存存儲器結構應運而生，例如3D NOR(3D或非)閃存和3D NAND(3D與非)閃存。

其中，3D NAND存儲器以其小體積、大容量為出發點，將儲存單元采用三維模式層層堆疊的高度集成為設計理念，生產出高單位面積存儲密度、高效存儲單元性能的存儲器，已經成為新興存儲器設計和生產的主流工藝。

在3D NAND存儲器的制造過程中，經常需要使用各種類型的化學藥液來對半導體襯底或者器件結構進行處理。為了避免在采用化學藥液對半導體襯底或是器件結構進行處理的過程中引入雜質，并提高化學藥液處理的效果，通常在將化學藥液傳輸至反應腔室前，需要采用過濾裝置對化學藥液進行過濾。然而，隨著使用時間的延長，過濾裝置內的過濾器性能會降低，此時，則需要對過濾器進行更換。但是，現有的過濾裝置由于其結構的限制，更換過濾器的操作繁瑣、時間較長，而且極易對反應腔室造成污染。

因此，如何對過濾裝置的結構進行改進，以簡化過濾器的更換操作，減少人力成本的浪費，是目前亟待解決的技術問題。

實用新型內容

本實用新型提供一種過濾裝置，用于解決現有的過濾裝置由于其結構的限制導致的維護時間長、人力成本高的問題。

為了解決上述問題，本實用新型提供了一種過濾裝置，包括：

過濾器，包括輸入端以及與所述輸入端相對的輸出端，用于對自所述輸入端輸入的液體進行過濾；

吹掃部，用于自所述輸入端向所述過濾器傳輸吹掃氣體，以將所述過濾器內的殘留液體自所述輸出端排出。

優選的，所述吹掃部包括：

第一管道，一端用于連通存儲所述吹掃氣體的氣源、另一端連通所述輸入端，用于向所述過濾器傳輸所述吹掃氣體；

第一控制閥，安裝于所述第一管道中，用于控制所述第一管道是否導通。

優選的，還包括：

輸入管道，用于向所述過濾器傳輸待過濾的所述液體；

第二控制閥，安裝于所述輸入管道中，用于控制所述過濾器與存儲待過濾的所述液體的供應源之間是否連通。

優選的，還包括：

輸出管道，用于傳輸過濾后的所述液體；

第三控制閥，安裝于所述輸出管道中，用于控制所述過濾器與用于接收過濾后的所述液體的接收端之間是否連通。

優選的，還包括：

收集部，與位于所述第三控制閥和所述輸出端之間的輸出管道連接，用于收集自所述過濾器中排出的由殘留的所述液體和所述吹掃氣體構成的混合物。

優選的，所述收集部包括：

氣液分離器，連通所述輸出管道，用于自所述混合物中分離所述液體與所述吹掃氣體；