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[實用新型]過濾裝置有效

專利信息
申請號: 201821588059.7 申請日: 2018-09-27
公開(公告)號: CN209020031U 公開(公告)日: 2019-06-25
發明(設計)人: 廖昌洋;楊永剛;蔣陽波;顧立勛;徐融 申請(專利權)人: 長江存儲科技有限責任公司
主分類號: B01D35/16 分類號: B01D35/16
代理公司: 上海盈盛知識產權代理事務所(普通合伙) 31294 代理人: 董琳;陳麗麗
地址: 430074 湖北省武漢市洪山區東*** 國省代碼: 湖北;42
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摘要:
搜索關鍵詞: 過濾器 過濾裝置 輸入端 本實用新型 殘留液體 輸出端 排出 半導體制造技術 吹掃氣體 人力成本 吹掃 過濾 傳輸 維護
【權利要求書】:

1.一種過濾裝置,其特征在于,包括:

過濾器,包括輸入端以及與所述輸入端相對的輸出端,用于對自所述輸入端輸入的液體進行過濾;

吹掃部,用于自所述輸入端向所述過濾器傳輸吹掃氣體,以將所述過濾器內的殘留液體自所述輸出端排出。

2.根據權利要求1所述的過濾裝置,其特征在于,所述吹掃部包括:

第一管道,一端用于連通存儲所述吹掃氣體的氣源、另一端連通所述輸入端,用于向所述過濾器傳輸所述吹掃氣體;

第一控制閥,安裝于所述第一管道中,用于控制所述第一管道是否導通。

3.根據權利要求2所述的過濾裝置,其特征在于,還包括:

輸入管道,用于向所述過濾器傳輸待過濾的所述液體;

第二控制閥,安裝于所述輸入管道中,用于控制所述過濾器與存儲待過濾的所述液體的供應源之間是否連通。

4.根據權利要求3所述的過濾裝置,其特征在于,還包括:

輸出管道,用于傳輸過濾后的所述液體;

第三控制閥,安裝于所述輸出管道中,用于控制所述過濾器與用于接收過濾后的所述液體的接收端之間是否連通。

5.根據權利要求4所述的過濾裝置,其特征在于,還包括:

收集部,與位于所述第三控制閥和所述輸出端之間的輸出管道連接,用于收集自所述過濾器中排出的由殘留的所述液體和所述吹掃氣體構成的混合物。

6.根據權利要求5所述的過濾裝置,其特征在于,所述收集部包括:

氣液分離器,連通所述輸出管道,用于自所述混合物中分離所述液體與所述吹掃氣體;

氣體收集端,連接所述氣液分離器,用于收集分離后的所述吹掃氣體;

液體收集端,連接所述氣液分離器,用于收集分離后的所述液體。

7.根據權利要求6所述的過濾裝置,其特征在于,所述收集部還包括:

第二管道,一端連通所述氣液分離器、另一端連通所述液體收集端;

第四控制閥,安裝于所述第二管道中,用于控制所述第二管道是否導通。

8.根據權利要求7所述的過濾裝置,其特征在于,所述收集部還包括:

傳感器,安裝于所述第四控制閥與所述氣液分離器之間的第二管道中,用于檢測所述第二管道是否接收到經所述氣液分離器分離的所述液體;

控制部,連接所述傳感器與所述第一控制閥,用于在確定所述第二管道未接收到經所述氣液分離器分離的所述液體后,關閉所述第一控制閥。

9.根據權利要求1所述的過濾裝置,其特征在于,還包括:

通風管道,一端連通所述過濾器、另一端與外界連通,用于調整所述過濾器內的壓力;

排泄管道,一端連通所述過濾器、另一端與外界連通,用于排除所述過濾器內的殘留的所述液體。

10.根據權利要求1所述的過濾裝置,其特征在于,所述吹掃氣體為氮氣。

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