[實用新型]單晶爐連續投料連續生長的阻隔裝置有效
| 申請號: | 201821584171.3 | 申請日: | 2018-09-28 |
| 公開(公告)號: | CN208869715U | 公開(公告)日: | 2019-05-17 |
| 發明(設計)人: | 趙建;葛文星;惠澤 | 申請(專利權)人: | 江蘇雙良新能源裝備有限公司 |
| 主分類號: | C30B15/02 | 分類號: | C30B15/02;C30B15/10;C30B29/06 |
| 代理公司: | 江陰市揚子專利代理事務所(普通合伙) 32309 | 代理人: | 隋玲玲 |
| 地址: | 214444 江蘇省*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 阻隔器 石英坩堝 本實用新型 連續投料 阻隔裝置 單晶爐 生長 阻隔 薄壁圓筒結構 氮化硅材料 底部連通 吊裝掛鉤 生長位置 液面穩定 固定孔 固體料 硅熔點 硅溶液 形變 硅料 化料 均布 耐溫 熱屏 坩堝 浸潤 懸掛 | ||
1.一種單晶爐連續投料連續生長的阻隔裝置,其特征在于:石英坩堝(5)內設有阻隔器(4),所述阻隔器(4)為薄壁圓筒結構,所述阻隔器(4)內側設有晶體(1),所述阻隔器(4)外側與石英坩堝(5)之間設有硅料(7),所述晶體(1)外設有阻隔器(4),所述阻隔器(4)通過吊裝掛鉤(2)懸掛在熱屏(3)上,所述阻隔器(4)上均布有多個固定孔,所述阻隔器(4)的底部與石英坩堝(5)的底部留有間隙。
2.根據權利要求1所述的一種單晶爐連續投料連續生長的阻隔裝置,其特征在于:所述阻隔器(4)為高純度氮化硅材質。
3.根據權利要求1所述的一種單晶爐連續投料連續生長的阻隔裝置,其特征在于:所述石英坩堝(5)內設有熔體(6),所述阻隔器(4)浸入熔體(6),所述阻隔器(4)的上端面與熔體(6)液面之間的高度為20-100mm。
4.根據權利要求1所述的一種單晶爐連續投料連續生長的阻隔裝置,其特征在于:所述石英坩堝(5)外設有加料裝置(8),所述加料裝置(8)位于硅料(7)所在區域的上方。
5.根據權利要求1所述的一種單晶爐連續投料連續生長的阻隔裝置,其特征在于:所述阻隔器(4)與石英坩堝(5)同心。
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