[實用新型]一種可兼容不同尺寸底材的真空涂布臺

有效

• 申請號: 201821576775.3
• 申請日: 2018-09-27
• 公開（公告）號: CN209156294U
• 公開（公告）日: 2019-07-26
• 發明（設計）人: 劉偉明;何汶華
• 申請（專利權）人: 標格達精密儀器（廣州）有限公司
• 主分類號: B05C13/00
• 分類號: B05C13/00
• 代理公司: 廣州三辰專利事務所(普通合伙) 44227
• 代理人: 陳惠珊

本實用新型涉及一種可兼容不同尺寸底材的真空涂布臺，是涂布機上的真空涂布臺。它公開了真空涂布臺由上下兩塊板疊合密封而成，上板有上下貫穿的吸附孔，上板的內部氣道有吸附孔、真空腔，吸附孔和真空腔通過采用文丘里原理設計的三級變截面微流道相連接起來，真空腔與真空發生裝置連接。本實用新型的優點是真空涂布臺上吸附孔會由于涂布臺內部縫隙的壅塞以及泄漏的吸附孔氣流造成的文丘里低壓，保持對試樣的高真空附著力，是一種經濟便利的真空涂布臺。

技術領域

本實用新型涉及涂布機上的真空涂布臺，具體地說，是一種可兼容不同尺寸底材的真空涂布臺。

背景技術

在涂布臺上涂膜制樣的時候，經常會有制備不同尺寸的樣品的要求。當制備樣品的尺寸比涂布平臺的尺寸小的時候，就需要使用遮蓋物遮擋涂布臺上多余的吸附孔，或者采用更大排量的真空泵來保證涂膜底材能被吸附在真空涂布臺上，在實際應用中，前一方法不便利，后一方法不經濟。因此，有必要設計出一種經濟便利的真空涂布臺。

發明內容

為了克服現有涂布臺在實際使用中的不足之處，本實用新型提供了一種經濟便利的真空涂布臺。

為了實現上述發明目的，本申請采用以下技術方案：

包括真空涂布臺和真空發生裝置，真空涂布臺由上下兩塊板疊合密封而成，上板有上下貫穿的吸附孔，上板的內部氣道有吸附孔、真空腔，吸附孔和真空腔通過采用文丘里原理設計的三級變截面微流道相連接起來，真空腔與真空發生裝置連接。

前述吸附孔是通孔，通孔的直徑可以是上下一致的，也可以考慮加工難度做成上小下大。

在相鄰的兩個吸附孔之間設有第一級微流道，第一級微流道連接第一級變徑流道，第一級變徑流道連接第二級微流道，第二級微流道連接第二級變徑流道，第二級變徑流道連接第三級微流道，第三級微流道連接真空腔。

優選的，吸附孔在橫向和縱向上均是規則排列，吸附孔形成的行與列相互垂直。

優選的，橫向相鄰的每兩個吸附孔之間有第一級微流道，與其相連的第一級變徑流道和第二級微流道垂直于第一級微流道，位于同一列的第一級變徑流道和第二級微流道相互連接在一起，其列首和列尾兩端則分別與第二級變徑流道和第三級微流道垂直連接，位于列首和列尾的第二級變徑流道和第三級微流道分別連接在一起，然后分別連接到真空腔的兩端。每個吸附孔不重復使用。

為保持真空涂布臺內的氣密性，可進一步在上板的內部氣道周圍設置密封圈溝槽。優選的，真空涂布臺的上板和下板大小相同。吸附孔和一、二、三級微流道的長度比等效直徑是5:1以上。

本實用新型利用微孔節流以及文丘里效應，氣流通過微小流道時會有壓力和流量減小，從而達到節流的目的。而氣流通過微流道時，其截面積變小，流速變快，其高速流動的氣體進一步產生吸附力，對上一級的流道進一步吸附。本申請的真空涂布臺工作時，吸附孔會有兩種狀態：一是被涂布底材遮蓋部分，此處的吸附孔作用是吸附涂布底材，與大氣沒有氣體流通；二是沒有被涂布底材遮蓋部分，直通大氣，涂布臺內部真空與大氣相連，此時吸附孔成為泄漏孔，是涂布臺內部空氣流通的來源。真空涂布臺內的吸附孔和真空腔通過微小縫隙連接，降低了吸附孔的泄漏量。縫隙間采用文氏效應變徑界面，泄漏孔進入的氣流可以通過文丘里效應保護或增大吸附孔的真空度。

本實用新型的有益效果是：真空涂布臺通過內部的微流道節流減少涂布臺內部真空度的損失；同時使用文丘里效應的變徑設計，通過泄漏孔造成的真空涂布臺的內部氣流保護吸附孔的真空度，使得真空涂布臺經濟環保，同時也方便實用，不必采用大排量真空泵站和封堵泄漏孔的繁瑣手段。真空涂布臺上吸附孔會由于涂布臺內部縫隙的壅塞以及泄漏的吸附孔氣流造成的文丘里低壓，保持對試樣的高真空附著力。

附圖說明

圖1是本實用新型實施例的構造示意圖。

圖2是本實用新型實施例的真空涂布臺上、下板的構造示意圖。