[實用新型]一種可兼容不同尺寸底材的真空涂布臺

有效

• 申請號: 201821576775.3
• 申請日: 2018-09-27
• 公開（公告）號: CN209156294U
• 公開（公告）日: 2019-07-26
• 發明（設計）人: 劉偉明;何汶華
• 申請（專利權）人: 標格達精密儀器（廣州）有限公司
• 主分類號: B05C13/00
• 分類號: B05C13/00
• 代理公司: 廣州三辰專利事務所(普通合伙) 44227
• 代理人: 陳惠珊

1.一種可兼容不同尺寸底材的真空涂布臺，包括真空涂布臺和真空發生裝置，其特征在于：真空涂布臺由上下兩塊板疊合密封而成，上板有上下貫穿的吸附孔，上板的內部氣道有吸附孔、真空腔，吸附孔和真空腔通過采用文丘里原理設計的三級變截面微流道相連接起來，真空腔與真空發生裝置連接。

2.根據權利要求1所述的真空涂布臺，其特征在于：所述吸附孔的直徑上下一致，或是上小下大。

3.根據權利要求1所述的真空涂布臺，其特征在于：相鄰的每兩個吸附孔之間設有第一級微流道，第一級微流道連接第一級變徑流道，第一級變徑流道連接第二級微流道，第二級微流道連接第二級變徑流道，第二級變徑流道連接第三級微流道，第三級微流道連接真空腔。

4.根據權利要求3所述的真空涂布臺，其特征在于：吸附孔在橫向和縱向上均是規則排列，吸附孔形成的行與列相互垂直。

5.根據權利要求4所述的真空涂布臺，其特征在于：橫向相鄰的每兩個吸附孔之間有第一級微流道，與其相連的第一級變徑流道和第二級微流道垂直于第一級微流道，位于同一列的第一級變徑流道和第二級微流道相互連接在一起，其列首和列尾兩端則分別與第二級變徑流道和第三級微流道垂直連接，位于列首和列尾的第二級變徑流道和第三級微流道分別連接在一起，然后分別連接到真空腔的兩端。

6.根據權利要求1所述的真空涂布臺，其特征在于：所述上板的內部氣道周圍設置有密封圈溝槽。

7.根據權利要求1所述的真空涂布臺，其特征在于：真空涂布臺的上下兩塊板大小相同。

8.根據權利要求3所述的真空涂布臺，其特征在于：吸附孔和一、二、三級微流道的長度比等效直徑是5:1以上。