[實用新型]一種多晶硅靶材制作裝置

有效

• 申請號: 201821575006.1
• 申請日: 2018-09-27
• 公開（公告）號: CN208869651U
• 公開（公告）日: 2019-05-17
• 發明（設計）人: 魏明剛
• 申請（專利權）人: 深圳市福耐科技有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C23C14/35
• 代理公司: 北京科家知識產權代理事務所(普通合伙) 11427
• 代理人: 陳娟

1.一種多晶硅靶材制作裝置，包括坩堝(1)，其特征在于：所述的坩堝(1)內腔底部且接近其內側表面的位置設置有固定擋板(2)，所述的坩堝(1)外表面頂部一周蓋有第一固定環(3)，所述的第一固定環(3)頂部與底部表面且與坩堝(1)頂部開口相對齊的位置貫穿開設有固定通孔(4)，所述的第一固定環(3)底部表面且與坩堝(1)頂部相對齊的位置開設有第一固定卡槽(5)，所述的固定通孔(4)側表面的中間位置環繞開設有第二固定卡槽(6)，所述的第二固定卡槽(6)表面均勻分布且固定卡設有第一固定塊(7)，所述的第一固定塊(7)接近固定擋板(2)的一側表面固定連接有固定連接桿(8)，所述的固定連接桿(8)遠離第一固定塊(7)的一端固定連接有第二固定環(9)，所述的固定擋板(2)頂部表面一周開設有第三固定卡槽(10)，所述的第二固定環(9)底部表面且與第三固定卡槽(10)相對齊的位置固定連接有第二固定塊(11)，所述的第一固定環(3)頂部表面架設有固定支撐板(12)，所述的固定支撐板(12)頂部表面中間位置固定連接有防護固定框(13)，所述的防護固定框(13)內腔頂部通過固定底座(14)固定連接有伺服電機(15)，所述的伺服電機(15)輸出端固定連接有攪拌輥(16)，所述的攪拌輥(16)遠離伺服電機(15)的一端貫穿固定支撐板(12)且延伸至坩堝(1)內部。

2.根據權利要求1所述的一種多晶硅靶材制作裝置，其特征在于：所述的固定擋板(2)呈圓筒形，且所述的固定擋板(2)遠離攪拌輥(16)的一側表面與坩堝(1)內表面之間形成有塊狀料填充縫隙(17)。

3.根據權利要求1所述的一種多晶硅靶材制作裝置，其特征在于：所述的第一固定塊(7)固定卡設在第二固定卡槽(6)表面并與之滑動連接。

4.根據權利要求1所述的一種多晶硅靶材制作裝置，其特征在于：所述的第二固定環(9)頂部表面與第一固定環(3)頂部表面位于同一水平面上。

5.根據權利要求1所述的一種多晶硅靶材制作裝置，其特征在于：所述的第三固定卡槽(10)圓環形，且所述的第二固定塊(11)固定卡設在第三固定卡槽(10)表面并與之滑動連接，且所述的固定擋板(2)頂部與第二固定環(9)底部之間緊密接觸。

6.根據權利要求2所述的一種多晶硅靶材制作裝置，其特征在于：所述的固定連接桿(8)與第二固定環(9)之間通過一體式焊接成型，所述的固定支撐板(12)頂部表面與防護固定框(13)之間通過一體式焊接成型。