[實用新型]一種氧化鈮靶材制作裝置

有效

• 申請號: 201821574772.6
• 申請日: 2018-09-27
• 公開（公告）號: CN208869649U
• 公開（公告）日: 2019-05-17
• 發明（設計）人: 魏明剛
• 申請（專利權）人: 深圳市福耐科技有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 北京科家知識產權代理事務所(普通合伙) 11427
• 代理人: 陳娟

1.一種氧化鈮靶材制作裝置，包括操作臺(1)，其特征在于：所述操作臺(1)上表面的左右兩端對稱設置有支撐臺(2)，所述支撐臺(2)外壁的底部與操作臺(1)的上表面固定連接，所述支撐臺(2)之間架設有研磨箱(3)，所述研磨箱(3)靠近支撐臺(2)的一側均與支撐臺(2)固定連接，所述研磨箱(3)腔內中部的位置設置有轉軸(4)，所述轉軸(4)外壁的左右兩側中部的位置固定連接有第一固定桿(5)，所述第一固定桿(5)遠離轉軸(4)的一端固定連接有刮板(6)，所述轉軸(4)外壁的左右兩側下端的位置固定連接有第二固定桿(7)，所述第二固定桿(7)遠離轉軸(4)的一端與刮板(6)固定連接，所述轉軸(4)的底端固定連接有第一研磨球(8)，所述研磨箱(3)上表面左端的位置設置有第一進料口(9)，所述研磨箱(3)上表面右端的位置設置有第二進料口(10)。

2.根據權利要求1所述一種氧化鈮靶材制作裝置，其特征在于：所述研磨箱(3)上表面中部的位置安裝有電機(11)，所述轉軸(4)的頂端貫穿研磨箱(3)且與電機(11)轉動連接。

3.根據權利要求1所述一種氧化鈮靶材制作裝置，其特征在于：所述支撐臺(2)的截面呈L型，所述刮板(6)遠離第一固定桿(5)的一側貼近研磨箱(3)的內壁設置。

4.根據權利要求1所述一種氧化鈮靶材制作裝置，其特征在于：所述第一研磨球(8)的左右兩側對稱設置有第二研磨球(12)，所述第二研磨球(12)的上端固定連接有第三固定桿(13)，所述第三固定桿(13)遠離第二研磨球(12)的一端與第二固定桿(7)固定連接。

5.根據權利要求1所述一種氧化鈮靶材制作裝置，其特征在于：所述第一進料口(9)和第二進料口(10)的上端均設置有進料斗(14)，所述進料斗(14)的外壁左側的位置設置有刻度尺(15)，所述進料斗(14)的底部連通有通口(16)，所述通口(16)的底端與研磨箱(3)的內部連通。

6.根據權利要求1所述一種氧化鈮靶材制作裝置，其特征在于：所述研磨箱(3)外壁的底部中部的位置開設有出料口(17)，所述操作臺(1)的上表面且靠近出料口(17)的位置放置有模具(18)。