[實用新型]一種銦錫合金靶材的制作裝置

有效

• 申請號: 201821574771.1
• 申請日: 2018-09-27
• 公開（公告）號: CN208869648U
• 公開（公告）日: 2019-05-17
• 發明（設計）人: 魏明剛
• 申請（專利權）人: 深圳市福耐科技有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C23C14/32
• 代理公司: 北京科家知識產權代理事務所(普通合伙) 11427
• 代理人: 陳娟

本實用新型公開了一種銦錫合金靶材的制作裝置，包括框架，框架的內壁底部分別固定連接有清洗室、噴淋室和風干室，所述框架的一側固定連接有固定框，所述固定框的內壁固定連接有電機，所述電機的輸出端固定連接有聯軸器，所述聯軸器遠離電機的一側固定連接有絲桿，所述絲桿的表面螺紋連接有滑塊，所述滑塊的底部兩側等距固定連接有電動伸縮桿，所述電動伸縮桿的底部固定連接有連接板，所述連接板的頂部固定連接有固定裝置，所述固定裝置的內壁滑動連接有銦錫合金靶材，本實用新型涉及靶材加工技術領域。該一種銦錫合金靶材的制作裝置，解決了靶材表面融入灰塵或雜質，防止灰塵或雜質落入芯片中，容易造成芯片損壞的問題。

技術領域

本實用新型涉及靶材加工技術領域，具體為一種銦錫合金靶材的制作裝置。

背景技術

鍍膜靶材是通過磁控濺射、多弧離子鍍或其他類型的鍍膜系統在適當工藝條件下濺射在基板上形成各種功能薄膜的濺射源，簡單說的話，靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同輸出波形、不同波長的激光與不同的靶材相互作用時，會產生不同的殺傷破壞效應。銦錫合金靶材就是眾多靶材中的一種，主要用于電子產品行業，半導體作為精密儀器，芯片的導線非常的細小，如果在生產過程中混入灰塵的話，容易造成芯片損壞，所以需要靶材進行除塵。

實用新型內容

(一)解決的技術問題

針對現有技術的不足，本實用新型提供了一種銦錫合金靶材的制作裝置，解決了靶材表面融入灰塵或雜質，防止灰塵或雜質落入芯片中，容易造成芯片損壞的問題。

(二)技術方案

為實現以上目的，本實用新型通過以下技術方案予以實現：一種銦錫合金靶材的制作裝置，包括框架，所述框架的內壁底部分別固定連接有清洗室、噴淋室和風干室，所述框架的一側固定連接有固定框，所述固定框的內壁固定連接有電機，所述電機的輸出端固定連接有聯軸器，所述聯軸器遠離電機的一側固定連接有絲桿，所述絲桿的表面螺紋連接有滑塊，所述滑塊的底部兩側等距固定連接有電動伸縮桿，所述電動伸縮桿的底部固定連接有連接板，所述連接板的頂部固定連接有固定裝置，所述固定裝置的內壁滑動連接有銦錫合金靶材，所述清洗室的內壁底部固定連接有超聲波反生器，所述噴淋室的上部兩側均連通有連接管道，所述連接管道靠近噴淋室的一端連通有噴頭，所述風干室的兩側固定連接有風槽，所述框架的底部固定連接有支撐框，所述支撐框的底部固定連接有萬向輪，所述支撐框的底部且靠近萬向輪的位置固定連接有升降裝置。

優選的，所述清洗室、噴淋室和風干室的底部均連通有排水管，所述排水管的中心連通有電磁閥，所述排水管的底部連通蓄水槽，所述蓄水槽的底部與支撐框的表面固定連接，所述蓄水槽的一側連通有水閥。

優選的，所述固定裝置包括固定板，所述固定板的一側等距固定連接有彈簧，所述彈簧遠離固定板的一側固定連接有活動板。

優選的，所述升降裝置包括轉盤，所述轉盤的中心固定連接有螺紋桿，所述螺紋桿的表面螺紋連接有連接塊，所述連接塊的底部與支撐框的表面固定連接，所述螺紋桿位于連接塊上部表面螺紋連接有螺母，所述螺紋桿的底部轉動連接有底座。

優選的，所述框架的一側等距固定連接有鉸鏈，所述鉸鏈的轉動端固定連接有玻璃門，所述玻璃門的表面固定連接有把手。

優選的，所述連接管道遠離噴頭的一側與框架表面固定連接，所述風槽遠離風干室的一側與框架的表面固定連接。

(三)有益效果

本實用新型提供了一種銦錫合金靶材的制作裝置。具備了以下有益效果：