[實用新型]一種銦錫合金靶材的制作裝置

有效

• 申請號: 201821574771.1
• 申請日: 2018-09-27
• 公開（公告）號: CN208869648U
• 公開（公告）日: 2019-05-17
• 發明（設計）人: 魏明剛
• 申請（專利權）人: 深圳市福耐科技有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C23C14/32
• 代理公司: 北京科家知識產權代理事務所(普通合伙) 11427
• 代理人: 陳娟

1.一種銦錫合金靶材的制作裝置，包括框架(1)，其特征在于：所述框架(1)的內壁底部分別固定連接有清洗室(2)、噴淋室(3)和風干室(4)，所述框架(1)的一側固定連接有固定框(5)，所述固定框(5)的內壁固定連接有電機(6)，所述電機(6)的輸出端固定連接有聯軸器(7)，所述聯軸器(7)遠離電機(6)的一側固定連接有絲桿(8)，所述絲桿(8)的表面螺紋連接有滑塊(9)，所述滑塊(9)的底部兩側等距固定連接有電動伸縮桿(10)，所述電動伸縮桿(10)的底部固定連接有連接板(11)，所述連接板(11)的頂部固定連接有固定裝置(12)，所述固定裝置(12)的內壁滑動連接有銦錫合金靶材(13)，所述清洗室(2)的內壁底部固定連接有超聲波反生器(14)，所述噴淋室(3)的上部兩側均連通有連接管道(15)，所述連接管道(15)靠近噴淋室(3)的一端連通有噴頭(16)，所述風干室(4)的兩側固定連接有風槽(17)，所述框架(1)的底部固定連接有支撐框(18)，所述支撐框(18)的底部固定連接有萬向輪(19)，所述支撐框(18)的底部且靠近萬向輪(19)的位置固定連接有升降裝置(20)。

2.根據權利要求1所述的一種銦錫合金靶材的制作裝置，其特征在于：所述清洗室(2)、噴淋室(3)和風干室(4)的底部均連通有排水管(21)，所述排水管(21)的中心連通有電磁閥(22)，所述排水管(21)的底部連通蓄水槽(23)，所述蓄水槽(23)的底部與支撐框(18)的表面固定連接，所述蓄水槽(23)的一側連通有水閥(24)。

3.根據權利要求1所述的一種銦錫合金靶材的制作裝置，其特征在于：所述固定裝置(12)包括固定板(121)，所述固定板(121)的一側等距固定連接有彈簧(122)，所述彈簧(122)遠離固定板(121)的一側固定連接有活動板(123)。

4.根據權利要求1所述的一種銦錫合金靶材的制作裝置，其特征在于：所述升降裝置(20)包括轉盤(201)，所述轉盤(201)的中心固定連接有螺紋桿(202)，所述螺紋桿(202)的表面螺紋連接有連接塊(204)，所述連接塊(204)的底部與支撐框(18)的表面固定連接，所述螺紋桿(202)位于連接塊(204)上部表面螺紋連接有螺母(203)，所述螺紋桿(202)的底部轉動連接有底座(205)。

5.根據權利要求1所述的一種銦錫合金靶材的制作裝置，其特征在于：所述框架(1)的一側等距固定連接有鉸鏈(25)，所述鉸鏈(25)的轉動端固定連接有玻璃門(26)，所述玻璃門(26)的表面固定連接有把手(27)。

6.根據權利要求1所述的一種銦錫合金靶材的制作裝置，其特征在于：所述連接管道(15)遠離噴頭(16)的一側與框架(1)表面固定連接，所述風槽(17)遠離風干室(4)的一側與框架(1)的表面固定連接。