[實(shí)用新型]一種LED行業(yè)MOCVD設(shè)備用尾氣收集環(huán)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821568691.5
• 申請(qǐng)日: 2018-09-25
• 公開（公告）號(hào): CN208799929U
• 公開（公告）日: 2019-04-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 馬建軍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 嵊州市西格瑪科技有限公司
• 主分類號(hào): B01D50/00
• 分類號(hào): B01D50/00
• 代理公司: 北京久維律師事務(wù)所 11582
• 代理人: 邢江峰

本實(shí)用新型涉及MOCVD技術(shù)領(lǐng)域，且公開了一種LED行業(yè)MOCVD設(shè)備用尾氣收集環(huán)，包括反應(yīng)釜，所述反應(yīng)釜的右側(cè)連通有連接管，所述連接管的右側(cè)連通有廢氣管道，所述廢氣管道的內(nèi)部固定安裝有支架，所述支架的內(nèi)部固定安裝有氣囊，所述氣囊的底部連通有貫穿并延伸至廢氣管道外部的氣管。該LED行業(yè)MOCVD設(shè)備用尾氣收集環(huán)，通過真空泵將反應(yīng)釜中的尾氣進(jìn)行收集，尾氣中的未能進(jìn)行沉積的尾氣在經(jīng)過支架上的氣囊進(jìn)行沉積，減少了半圓塊上過多的沉積進(jìn)而導(dǎo)致堵塞，同時(shí)當(dāng)氣囊的表面沉積到一定的程度時(shí)可以通過氣管對(duì)氣囊進(jìn)行放氣使得在氣囊上沉積的粉塵進(jìn)行掉落，從而對(duì)氣囊進(jìn)行清潔，避免了堵塞情況的發(fā)生，保證了尾氣裝置運(yùn)行的正常運(yùn)行。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及MOCVD技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種LED行業(yè)MOCVD設(shè)備用尾氣收集環(huán)。

背景技術(shù)

MOCVD是金屬有機(jī)物化學(xué)氣相淀積，采用將液態(tài)源送入汽化室得到氣態(tài)源物質(zhì)，再經(jīng)過流量控制送入反應(yīng)室，或者直接向反應(yīng)室注入液態(tài)先體，在反應(yīng)室內(nèi)汽化和沉積，這種方式的優(yōu)點(diǎn)是簡(jiǎn)化了源輸送方式，對(duì)材料的要求降低，便于實(shí)現(xiàn)多種薄膜的交替沉積以獲得超品格結(jié)構(gòu)等。

現(xiàn)有的MOCVD設(shè)備用尾氣收集在防堵塞上還不夠完善，在MOCVD完成沉積之后的廢氣中還存在未進(jìn)行沉積的細(xì)小顆粒，這些細(xì)小顆粒會(huì)在尾氣收集管道中容易導(dǎo)致堵塞，在管道內(nèi)部堵塞也不方便進(jìn)行清理，從而影響尾氣收集裝的使用，故而提出一種LED行業(yè)MOCVD設(shè)備用尾氣收集環(huán)來解決上述所提出的問題。

實(shí)用新型內(nèi)容

(一)解決的技術(shù)問題

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型提供了一種LED行業(yè)MOCVD設(shè)備用尾氣收集環(huán)，具備防堵塞等優(yōu)點(diǎn)，解決了現(xiàn)有的MOCVD設(shè)備用尾氣收集在防堵塞上還不夠完善，在MOCVD完成沉積之后的廢氣中還存在未進(jìn)行沉積的細(xì)小顆粒，這些細(xì)小顆粒會(huì)在尾氣收集管道中容易導(dǎo)致堵塞，在管道內(nèi)部堵塞也不方便進(jìn)行清理，從而影響尾氣收集裝的使用的問題。

(二)技術(shù)方案

為實(shí)現(xiàn)上述防堵塞的目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種LED行業(yè)MOCVD設(shè)備用尾氣收集環(huán)，包括反應(yīng)釜，所述反應(yīng)釜的右側(cè)連通有連接管，所述連接管的右側(cè)連通有廢氣管道，所述廢氣管道的內(nèi)部固定安裝有支架，所述支架的內(nèi)部固定安裝有氣囊，所述氣囊的底部連通有貫穿并延伸至廢氣管道外部的氣管，所述廢氣管道的頂部固定安裝有電機(jī)底座，所述電機(jī)底座的頂部固定安裝有電機(jī)，所述電機(jī)的輸出軸套接有清潔刷，所述廢氣管道的內(nèi)部活動(dòng)安裝有半圓塊，所述半圓塊的右側(cè)固定安裝有連接桿，所述廢氣管道的頂部插接有與連接桿固定連接的轉(zhuǎn)動(dòng)軸，所述廢氣管道的右側(cè)與收集箱連通，所述收集箱的內(nèi)部固定安裝有過濾板，所述過濾板的頂部固定安裝有集塵袋所述收集箱的內(nèi)部固定安裝有位于過濾板下方的真空泵，所述真空泵的右側(cè)連通有貫穿并延伸至收集箱外部的出氣管。

優(yōu)選的，所述支架的高度與廢氣管道的半徑相等，所述氣囊的形狀與支架的內(nèi)部形狀相適配。

優(yōu)選的，所述半圓塊的外徑與廢氣管道的內(nèi)徑相適配。

優(yōu)選的，所述清潔刷的長(zhǎng)度大于廢氣管道的半徑，所述清潔刷的中部向內(nèi)凹陷。

優(yōu)選的，所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸的外壁套接有鑲嵌在廢氣管道內(nèi)部的軸承，所述連接管呈漏斗狀。

優(yōu)選的，所述氣管與廢氣管道的連接處套接有密封圈，所述廢氣管道的底部固定安裝有支撐桿。

(三)有益效果

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型提供了一種LED行業(yè)MOCVD設(shè)備用尾氣收集環(huán)，具備以下有益效果：