[實(shí)用新型]一種LED行業(yè)MOCVD設(shè)備用尾氣收集環(huán)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201821568691.5 | 申請日： | 2018-09-25 |
| 公開（公告）號： | CN208799929U | 公開（公告）日： | 2019-04-30 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 馬建軍 | 申請（專利權(quán)）人： | 嵊州市西格瑪科技有限公司 |
| 主分類號： | B01D50/00 | 分類號： | B01D50/00 |
| 代理公司： | 北京久維律師事務(wù)所 11582 | 代理人： | 邢江峰 |
| 地址： | 312400 浙江省*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 氣囊 沉積 廢氣管道 尾氣收集 反應(yīng)釜 支架 尾氣 內(nèi)部固定 連接管 氣管 連通 本實(shí)用新型 堵塞 表面沉積 底部連通 尾氣裝置 半圓塊 真空泵 掉落 放氣 粉塵 清潔 貫穿 外部 延伸 保證 | ||
1.一種LED行業(yè)MOCVD設(shè)備用尾氣收集環(huán)，包括反應(yīng)釜(1)，其特征在于：所述反應(yīng)釜(1)的右側(cè)連通有連接管(2)，所述連接管(2)的右側(cè)連通有廢氣管道(3)，所述廢氣管道(3)的內(nèi)部固定安裝有支架(4)，所述支架(4)的內(nèi)部固定安裝有氣囊(5)，所述氣囊(5)的底部連通有貫穿并延伸至廢氣管道(3)外部的氣管(6)，所述廢氣管道(3)的頂部固定安裝有電機(jī)底座(7)，所述電機(jī)底座(7)的頂部固定安裝有電機(jī)(8)，所述電機(jī)(8)的輸出軸套接有清潔刷(9)，所述廢氣管道(3)的內(nèi)部活動安裝有半圓塊(10)，所述半圓塊(10)的右側(cè)固定安裝有連接桿(11)，所述廢氣管道(3)的頂部插接有與連接桿(11)固定連接的轉(zhuǎn)動軸(12)，所述廢氣管道(3)的右側(cè)與收集箱(13)連通，所述收集箱(13)的內(nèi)部固定安裝有過濾板(14)，所述過濾板(14)的頂部固定安裝有集塵袋(15)所述收集箱(13)的內(nèi)部固定安裝有位于過濾板(14)下方的真空泵(16)，所述真空泵(16)的右側(cè)連通有貫穿并延伸至收集箱(13)外部的出氣管(17)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種LED行業(yè)MOCVD設(shè)備用尾氣收集環(huán)，其特征在于：所述支架(4)的高度與廢氣管道(3)的半徑相等，所述氣囊(5)的形狀與支架(4)的內(nèi)部形狀相適配。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種LED行業(yè)MOCVD設(shè)備用尾氣收集環(huán)，其特征在于：所述半圓塊(10)的外徑與廢氣管道(3)的內(nèi)徑相適配。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種LED行業(yè)MOCVD設(shè)備用尾氣收集環(huán)，其特征在于：所述清潔刷(9)的長度大于廢氣管道(3)的半徑，所述清潔刷(9)的中部向內(nèi)凹陷。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種LED行業(yè)MOCVD設(shè)備用尾氣收集環(huán)，其特征在于：所述轉(zhuǎn)動軸(12)的外壁套接有鑲嵌在廢氣管道(3)內(nèi)部的軸承，所述連接管(2)呈漏斗狀。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種LED行業(yè)MOCVD設(shè)備用尾氣收集環(huán)，其特征在于：所述氣管(6)與廢氣管道(3)的連接處套接有密封圈，所述廢氣管道(3)的底部固定安裝有支撐桿。
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