[實用新型]波長可調諧曝光機對準系統有效
| 申請號： | 201821567135.6 | 申請日： | 2018-09-21 |
| 公開（公告）號： | CN208737223U | 公開（公告）日： | 2019-04-12 |
| 發明（設計）人： | 不公告發明人 | 申請（專利權）人： | 長鑫存儲技術有限公司 |
| 主分類號： | G03F9/00 | 分類號： | G03F9/00 |
| 代理公司： | 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明偉 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市合肥*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 波長可調諧激光器 對準系統 波長可調諧 曝光機 本實用新型 波長信號 光源部件 波長 光源 激光 可調諧激光器 控制器控制 對準圖形 控制器 可調諧 波段 套刻 圖樣 補救 對準 優化 表現 | ||
1.一種波長可調諧曝光機對準系統，其特征在于，包括：
光源部件，所述光源部件包括第一波長可調諧激光器和第二波長可調諧激光器；
第一調制器和第二調制器，分別用于調制所述第一波長可調諧激光器和第二波長可調諧激光器發出的激光；以及
波長信號控制器，其控制所述第一波長可調諧激光器和第二波長可調諧激光器發出指定波段的激光。
2.根據權利要求1所述的波長可調諧曝光機對準系統，其特征在于，所述第一波長可調諧激光器和第二波長可調諧激光器被設計為：其中一個激光器發出高波段的激光，所述高波段為650-950nm；另一個激光器發出低波段的激光，所述低波段為189-650nm。
3.根據權利要求1所述的波長可調諧曝光機對準系統，其特征在于，所述第一波長可調諧激光器和第二波長可調諧激光器均使用全幅波段，所述全幅波段為189-950nm，且所使用的激光器為鈦寶石型激光器。
4.根據權利要求1所述的波長可調諧曝光機對準系統，其特征在于，還包括：
第一反射元件，瞳板，級膜，第二反射元件，成像透鏡，參考光柵，檢測部和偏振分束器，
其中，激光從所述光源部件發出之后被所述第一反射元件反射至所述偏振分束器，之后入射至對準標記，經過所述對準標記衍射的光束通過所述偏振分束器后依次經過所述瞳板，所述級膜，所述第二反射元件，所述成像透鏡，所述參考光柵之后被所述檢測部接收，所述檢測部包含有用于將光信號轉換為電信號的光電轉換板。
5.根據權利要求4所述的波長可調諧曝光機對準系統，其特征在于，還包括：
CCD相機，經過所述瞳板和所述級膜輸出的一部分光通過一反射元件轉換方向，并依次通過會聚透鏡和所述成像透鏡成像在CCD相機上。
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