[實(shí)用新型]排氣式矩形工作臺有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201821566707.9 | 申請日： | 2018-09-26 |
| 公開（公告）號： | CN209007492U | 公開（公告）日： | 2019-06-21 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 殷澤安;劉操;曹志彬 | 申請（專利權(quán)）人： | 東莞市譯碼半導(dǎo)體有限公司 |
| 主分類號： | B25H1/00 | 分類號： | B25H1/00;B25B11/00 |
| 代理公司： | 北京易光知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11596 | 代理人： | 李韻 |
| 地址： | 523000 廣東*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 排氣槽 工作臺本體 第二軸 第一軸 通氣孔 放電 連接頭 通孔 排氣孔 排氣式 抽氣裝置連接 本實(shí)用新型 矩形工作臺 抽氣裝置 垂直交叉 二次加工 空氣排空 多晶硅 交叉處 矩形狀 氣壓差 氣道 半導(dǎo)體 貫通 芯片 | ||
1.一種排氣式矩形工作臺，包括工作臺本體，其特征在于：所述工作臺本體的橫截面呈矩形狀，工作臺本體中開有若干第一軸向排氣槽及第二軸向排氣槽，第一軸向排氣槽與第二軸向排氣槽相互垂直交叉，工作臺本體上開有一排氣孔及多個放電通氣孔，排氣孔、多個放電通氣孔均分別設(shè)置于第一軸向排氣槽與第二軸向排氣槽交叉處，工作臺本體的中部設(shè)有連接頭，連接頭上設(shè)有多個通孔，通孔與放電通氣孔相貫通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的排氣式矩形工作臺，其特征在于：所述若干第一軸向排氣槽相互平行且等距排列設(shè)置于工作臺本體上，若干第二軸向排氣槽相互垂直且等距排列設(shè)置于工作臺本體上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的排氣式矩形工作臺，其特征在于：所述工作臺本體上開有一矩形排氣槽，第一軸向排氣槽與第二軸向排氣槽設(shè)置于矩形排氣槽的內(nèi)側(cè)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的排氣式矩形工作臺，其特征在于：所述若干第一軸向排氣槽將矩形排氣槽的兩條相鄰邊槽相互貫通，若干第二軸向排氣槽將矩形排氣槽的兩條相鄰邊相互貫通。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的排氣式矩形工作臺，其特征在于：所述工作臺本體的底沿凹設(shè)有多個定位槽，定位槽內(nèi)開有一銷槽及一連接槽。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的排氣式矩形工作臺，其特征在于：所述銷槽中能設(shè)置定位銷或定位螺絲，所述連接槽中能設(shè)置有磁鐵或連接螺栓。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的排氣式矩形工作臺，其特征在于：所述工作臺本體的底端還凹設(shè)有限位槽，限位槽中能設(shè)置磁鐵。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的排氣式矩形工作臺，其特征在于：所述工作臺本體的尺寸為275MM*275MM。
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